Способ наблюдения акустических волн в пьезоэлектриках Советский патент 1983 года по МПК G10L1/14 H03H9/145 

Способ реализуется следующим об-, разом. С помощью электронно-оптической систекяЫ микроскопа на поверхность исследуемого пьезоэлектрического звукопровода 1 направляют зондирующий электронный луч, который выби- . вает с поверхности пьезоэлектрическо го звукопровода 1 вторичные электро,ны. Распространякадиеся в пьезоэлектрическом звукопроводе 1 акустически :ВОЛНЫ сопровождаются поверхностными электрическими зарядами, влияющими на величину коэффициента электронной эмиссии вторичных электронов. Поэтому при воспроизведении видеосигнала, .снимаемого с коллектора 5, на экране вид оконтрольного устройства 7 наряду с контуром звукопровода воспроизводится яркостная картина распределения амплитуд колебаний. Яркость , участков картины распределения колебаний зависит не только от аглплитуды но и от фазы колебаний. Благода)я стробйрованию, осущест.вляемому посредством амплитудной модуляции зондирующего (сканирующего) элёкт)онного луча с частотой акустически х коле .баний, бегущие акустические волны наблюдаются на экране в виде чередук щихся темных и светлых полос, разделенных промежутками, равными длине волны. Изменение с помощью фазовращателя 9 фазы электрического сигнала в цепи модулятора 11 вызывает фазо.вую модуляцию зондирующего (сканирую щего) луча. При положительном приращении фазы каждая полоса на изобра жении картины колебаний, соответствующее точкам с одинаковой фазой колебаний, т.е. фронту волны, перемеща ется в направлении распространения акустической волны, т.е. в направлейии волнового вектора, очерчивая новое геометрическое место точек, фаза колебаний которых отличается от исходной на величину приращения фазы Данный способ обеспечивает повы шение информативности наблюдения и визуальной оценки таких параметров бегущей акустической волны, как конФигурация фронта, направление волнового вектора, длина волны. Способ позволяет также различать стоячую и бегущую составляющие волн на поверхности пьезоэлектрического звукопровода в зависимости от того, перемещаются ли я:ркостные полосы вдоль изображения поверхности звукопровода при изменении фазы зондирующего (в случае бегущей волны) или остаются неподвижными (в случае стоячей волны). степень яркости полос, соответствукядих стоячей и бегущей составляющих волн, свидетельствует о соотношении амплитуд этих составляющих. Применение данного способа позволяетсущественно облегчить и ускорить разработку и совершенствование акустоэлектронных устройств. Формула изобретения Способ наблюденид акустических волн в пьезоэлектриках с помощью растрового электронного микроскопа, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности путем индикации направления распространения и конфигурации фронта бегущих акустических волн, осуществляют амплитудную модуляцию зондирувдего электронного луча сигналом с чаетотой акустических . крлебанийт модулированным -по фазе. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. R.e. Wiltiamson, IEEE Trans. Sonics Ultrasonics, SU-19,4, 1972, c. 436-441.. -2. Электронная техника. Сер.IX, Радиокомпоненты, 1969, вып. 2, с.104