СТУПЕНЬ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА Российский патент 1994 года по МПК F04D19/04 

Описание патента на изобретение RU2016256C1

Изобретение относится к вакуумной технике.

Молекулярные вакуумные насосы представляют собой разновидность кинетических вакуумных насосов. Известны конструкции молекулярных насосов: цилиндрического типа со спиральными канавками вдоль поверхности ротора (насос Геде), цилиндрического типа со спиральными канавками вдоль поверхности ротора (насос Хольвека), дискового типа со спиральным каналом от внешнего диаметра к центру диска (насос Зигбана).

Недостатком известных конструкций является точность сборки насоса и большие перетечки в проточных полостях.

Известен молекулярный насос, имеющий в статоре набор цилиндрических каналов, входные и выходные отверстия в которых разделены перегородкой, а ротор вращается с большой скоростью, близкой к тепловой скорости молекул.

Недостатком известной конструкции являются большие перетечки газа между ступенями через зазор между ротором и статором.

Цель изобретения - уменьшение перетечек газа со стороны нагнетания на сторону всасывания.

Это достигается тем, что в ступени молекулярного насоса, содержащей участок герметичного цилиндрического корпуса с установленным в нем ротором и статорными дисками, на поверхности статорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности диска.

На фиг. 1 изображена предлагаемая ступень; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.

Ступень состоит из статорных дисков 1 и 2, установленных в корпусе 3, и роторного диска 4 между ними. Диск 4 установлен на валу 5. Окно 6 всасывания расположено в диске 2, а нагнетательное окно 7 - в диске 1 на равном расстоянии от отсекателя 8.

Молекулярная ступень работает следующим образом.

Молекулы, попавшие в молекулярный канал через всасывающее окно 6 на статором диске 2, при взаимодействии с вращающимся диском 4 увлекаются по направлению к нагнетательному окну 7. При этом возможно перетекание газа через зазор между вращающимся диском и статорным диском (фиг. 1). Молекулы газа, попавшие в зазор, получают импульс от вращающегося диска (соударяясь с его торцовой поверхностью) и преимущественное направление движения в соответствии с нарезанными каналами 9 обратно в рабочий канал 10.

Таким образом, уменьшается вероятность перехода молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания.

Похожие патенты RU2016256C1

название год авторы номер документа
ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ 2014
  • Сергеев Владимир Павлович
  • Воронин Александр Геннадьевич
RU2543917C1
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС 1991
  • Харламов Борис Васильевич
RU2014510C1
ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС 2014
  • Воронин Александр Геннадьевич
  • Сергеев Владимир Павлович
RU2560133C1
Вакуумный молекулярный насос 1991
  • Гарбуз Галина Александровна
  • Заозерский Юрий Петрович
  • Иванов Вадим Павлович
  • Шмелев Герман Михайлович
  • Христачев Валерий Николаевич
  • Юрченко Петр Иванович
SU1810604A1
Молекулярный вакуумный насос 1983
  • Шолохов В.Б.
  • Демихов К.Е.
  • Сергеев В.П.
SU1155027A1
Молекулярный вакуумный насос 1986
  • Фролов Евгений Сергеевич
  • Никулин Николай Константинович
  • Попов Михаил Тимофеевич
SU1344950A1
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС С ОДНОПОТОЧНОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТЬЮ 2012
  • Сергеев Владимир Павлович
  • Козлов Николай Иванович
RU2490519C1
Сборный турбомолекулярный вакуумный насос 1990
  • Клод Сольжо
SU1776333A3
Турбомолекулярный вакуумный насос 1987
  • Сергеев В.П.
  • Шолохов В.Б.
  • Вихрев В.И.
  • Шаршин С.Н.
SU1459352A1
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС 1998
  • Вихрев В.И.
  • Увин В.И.
  • Николаичев В.И.
  • Ухватов А.И.
  • Яковлев И.В.
  • Чирков О.А.
RU2168070C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 016 256 C1

Реферат патента 1994 года СТУПЕНЬ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА

Использование: в вакуумной технике. Сущность изобретения: в участке герметичного цилиндрического корпуса установлен ротор. На поверхности стопорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности относительно продольной оси ступени. 3 ил.

Формула изобретения RU 2 016 256 C1

СТУПЕНЬ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА, содержащая участок герметичного цилиндрического корпуса с установленным ротором и статорными дисками, отличающаяся тем, что на поверхности статорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности относительно продольной оси ступени.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1994 года RU2016256C1

Розанов Л.Н
Вакуумная техника
М.: Высшая школа, 1990.

RU 2 016 256 C1

Авторы

Демихов Р.К.

Демихова О.А.

Даты

1994-07-15Публикация

1991-06-28Подача