Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1990 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий статор и ротор со спиральными пазами.

Недостатками известного насоса являются невысокие степень сжатия и быстрота действия вследствие значительных перетечек откачиваемого газа со стороны нагнетания на сторону всасывания через зазоры между статором и ротором.

Известен также молекулярный вакуумный насос, содержащий статор, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами переменной

глубины, и размещенный по оси статоел ел о 1C ра барабанный ротор.

Данный насос является наиболее близким техническим решением по своей сущности и достигаемому результату к описываемому, однако также имеет невысокие откачные характеристики, обусловленные обратными перетечками откачиваемого газа через зазоры между статором и ротором.

Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса.

Указанная цель достигается тем, что в молекулярном вакуумном насосе, содержащем статор, имекнций со стороны нагнетания участок со спиральными пазами переменной глубины.

и размещенный по оси статора барабанньш ротор, ротор и статор со стороны всасывания эквидистантные конические участки, сужающиеся по ходу газа и состоящие каждый из двух сопряженных между собой конических поверхностей, первая из которых со стороны всасывания имеет конусность меньшую, чем вторая, причем на коническом участке ротора выполнены спиральные- пазы, а участок со спиральными пазами статора имеет дополнительную коническую поверхность, су|жающуюся по ходу газа. При этом конические участки pOTxipa и статора имеют длину, составляющую 0,2-0,25 от длины ротора, а дополнительная коническая поверхность имеет конусность 10 - .

На фиг,1 изображен насос общий вид; на фиг.2 и 3 - участки ротора и статора .(соответственно) со стороны всасывания насоса.

Молекулярный вакуумный насос содержит статор 1, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами 2 переменной глубины, и размещенный по оси статора I барабанньй ротор 3, причем статор 1 и ротор 3 имеют со стороны всасывания эквидис|тантные конические участки, сужающиеся по ходу газа и состоящие каждый из сопряженных между.собой конических поверхностей 4 и 5, 6 и 7. Поверхности 6 и 7 имеют конусность меньшую, чем поверхности 5 и 7. На коническом участке ротора 3 выполнены спиральные пазы 8, а участок со спиральными пазами 2 статора 1

имеет дополнительную коническую поверкность 9, сужающуюся по ходу газа. При этом конические участки ротора 3 и статора 1 имеют длину 1, составляющую 0,2-0,25 от длины L ротора 3, а дополнительная коническая поверхность 9 имеет конусность 10-30.

Насос работает следующим образом. После создания в полости насоса предварительного разрежения ротор 3 приводится во вращение. Молекулы откачиваемого газа со стороны всасывания попадают в спиральные пззы 8 ротора 3 и увлекаются в сторону дополнительной конической поверхности 9, Там одна часть молекул попадает непосредственно в спиральные пазы 2 статора 1, а другая часть после столкновения с поверхностью ротора 3 попадает в те же пазы 2, на выходе из которых молекулы откачиваются внешним форвакуумным насосом.

Описанная конструкция молекулярного вакуумного насоса позволяет улучшить откачные характеристики быстроту действия и степень сжатия без увеличения его габаритов, т.к. наличие конических участков ротора и статора на стороне всасывания насоса значительно снижает перетечки откачиваемого газа со стороны нагнетания на сторону всасывания вследствие невозможности прямого пролета молекул газа в направлении, обратном направлению откачки, без соударения со стенками пазов ротора, которое ведет к получению молекулами импульса в направлении откачки.

1. МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий статор, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами переменной глубины, и размещенный по оси статора барабанный ротор, отличающийс я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статор и ротор имеют со стороны всасывания эквидистантные конические участки, сужающиеся по ходу газа и состоящие каждый из двух сопряженных между собой конических поверхностей, первая из которых со стороны всасывания имеет конусность меньшую, чем вторая, причем на коническом участке ротора выполнены спиральные пазы, а участок со спиральными пазами статора имеет дополнительную коническую поверхность, сужающуюся по ходу газа. . 2.Насос ПОП.1, отличающийся тем, что конические участки ротора и статора имеют длину, составляющую 0,2-0,25 от длины ротора. I 3.Насос по п. 1 , о т л и ч а ю -. щ и и с я тем, что дополнительная W коническая поверхность имеет конусс ность 10-30.

W-JO