УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ Российский патент 1995 года по МПК C23C14/50 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках, содержащее камеру, внутри которой расположены испаритель и подложкодержатель с подложкой [1]
Недостатком этого устройства является невозможность получения слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы, а также значительное газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки, приводящее к ухудшению состава остаточной газовой среды.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках [2] содержащее камеру, внутри которой расположен испаритель и механизм вращения подложкодержателя с подложкой, выполненный в виде электродвигателя с закрепленным на валу подложкодержателем.

Недостатком прототипа является невозможность получения слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы, а также одновременного и независимого вращения подложки по трем координатным осям. Кроме того, значительное газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки приводит к ухудшению состава остаточной газовой среды.

Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также утолщение состава остаточной газовой среды.

Для этого механизм вращения подложкодержателя выполнен в виде двух подвижным рам, установленных одна в другую в опорах с возможностью от двух электродвигателей, один из которых установлен на внешней подвижной раме, а другой закреплен неподвижно в камере. Электродвигатель с закрепленным на валу подложкодержателем установлен во внутренней подвижной раме, а поверхности камеры и механизма вращения, обращенные в вакуумный объем, обработаны пескоструйным методом.

Введение в устройство механизма вращения подложкодержателя, выполненного в виде двух подвижных рам, установленных одна в другую в опорах с возможностью вращения от двух электродвигателей, а также установка электродвигателя с закрепленным на валу подложкодержателем во внутренней подвижной раме позволяет получить слои покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при возможности одновременного и независимого вращения подложки по трем координатным осям. Обработка поверхностей камеры и механизма вращения, обращенных в вакуумный объем, пескоструйным методом позволяет значительно (в 2,5 3 раза) уменьшить их газовыделение и улучшить состав остаточной газовой среды. При этом повышает качество изделий электронной техники.

На чертеже представлено предложенное устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках.

Устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках содержит камеру 1, внутри которой расположен испаритель 2 и механизм вращения подложкодержателя 3 с подложкой 4, выполненный в виде двух подвижных рам 5 и 6, установленных одна в другую в опорах 7 с возможностью вращения от двух электродвигателей 8 и 9. Двигатель 9 установлен на внешней подвижной раме 6, а двигатель 9 неподвижно в камере 1. Подложкодержатель 3 с подложкой 4 закреплен на валу электродвигателя 10, установленного во внутренней подвижной раме 5. Поверхности камеры и механизма вращения, обращенные в вакуумный объем, обработаны пескоструйным методом.

Устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках работает следующим образом.

При включении электродвигателей 8-10 подложка 4, выполненная например, в форме шара, начинает вращаться в рамках 5 и 6 относительно трех координатных осей. При этом происходит напыление всех поверхностей подложки. Выбранный закон распределения толщин реализуется за счет различных частот вращения электродвигателей 8-10.

При эксплуатации устройства значительно (в 2,5-3 раза) уменьшается газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки по отношению к устройству, не обработанному пескоструйным методом.

Применение предлагаемого устройства для нанесения покрытий в вакуумных установках позволяет получать слои покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы, при этом подложка может одновременно и независимо вращаться по трем координатным осям. Кроме того, при работе устройства уменьшается газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки, улучшается состав остаточной газовой среды, что оказывает влияние на повышение качества изделий электронной техники.

Устройство целесообразно использовать при разработке экологически чистого вакуумного технологического оборудования производства электронной техники.

Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках. Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также улучшение состава остаточной газовой среды. Для этого механизм вращения подложкодержателя выполнен в виде двух подвижных рам, установленных одна в другую в опорах с возможностью вращения от двух электродвигателей, один из которых установлен на внешней подвижной раме, а другой закреплен неподвижно в камере. Электродвигатель с закрепленным на валу подложкодержателем установлен во внутренней подвижной раме, а поверхности камеры и механизма вращения, обращенные в вакуумный объем, обработаны пескоструйным методом. 1 ил.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ, содержащее камеру, внутри которой размещены испаритель и механизм вращения подложкодержателя с подложкой, включающий электродвигатель с установленным на валу подложкодержателем, отличающееся тем, что механизм вращения подложкодержателя дополнительно снабжен двумя рамками, закрепленными в опорах, неподвижно размещенных в камере, вставленных одна в другую с возможностью независимого вращения, каждая от своего электродвигателя, причем электродвигатель внешней рамки неподвижно закреплен на корпусе камеры, а на внутренней рамке закреплены второй дополнительный электродвигатель и электродвигатель с установленным на валу подложкодержателем.