ИБЛИОТЕНА I Советский патент 1972 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к нанесению ва куумных иоК|рытий.

Известно шлюзовое устройство для вакуумной камеры, содержащее ряд камер со стуиенчатым понижеиием давления и загрузочный механизм.

Однако в известном устройстве сложно пропускать крупногабаритные изделия.

Цель данного изобретения - создание устройства с высокой нрои31водительностью, в котором можно пропускать крупногабаритные изделия.

Предлагаемое устройство отличается тем, что загрузочный механизм выполнен в внде кассеты, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образуюи.1ие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.

На чертеже представлен общий вид устройства.

Устройство состоит из камеры 1 со ступенчатым понижепием давления и загрузочного механизма, выполненного в виде кассеты 2, по торцам которой установлены подпружиненные унлотнительные элементы 3, образующие вместе с KacceTajMn отдельные подвижные вакуулифуемые отсеки.

шлюзового устройства выполнены несколько патрубков, подключенных к вакуумным насоса М:

Кассета 2 с закрепленны м в ней изделием 4, предназначенным для металлизации, помещается в камеру /. С помощью зацепок 6 к первой кассете присоединяется следующая и т. д., тем самым образуя непрерывную цепь. Представляя собой отдельную подвижную камеру, каждая из кассет, по мере продвижения в сторону высоковакуумной камеры, посредством роликов 5 .нроходит ряд патрубков, где происходит откачка полости кассет.

Натеканию воздуха (остаточных газов) из области низкого вакуума в область с более высоким ва-куу.мом препятствуют уплотнительные элементы по торцам .кассет.

Таким образом изделие, предназначенное для металлизации переносится из атмосферы в область с высоким вакуумом.

Выход кассет с изделиями -из высоковакуумной камеры происходит в обратном порядке, т. е. в сторону со ступен1чато повыщающимся давлением.

25

Предмет изобретения

низм, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и обеспечения нанесения покрытия на крупногабаритные изделия, загрузочный механизм вьшолнен в виде

кассеты, по торцам установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образующие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.