СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК Российский патент 1996 года по МПК H01F10/08 H01F41/14 

Описание патента на изобретение RU2060567C1

Изобретение относится к области технологии изготовления тонких магнитных пленок с заданными свойствами и может быть использовано при построении запоминающих устройств.

Известны способы повышения коэрцитивной силы магнитомягкого слоя. Один из способов основан на селективном химическом травлении нанесенного на диэлектрическую подложку слоя магнитного материала, сопровождающимся ростом пористости материала, что приводит к увеличению коэрцитивной силы [1]
Недостаток этого способа разрушение поверхности рабочего магнитного слоя.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ [2] заключающийся в нанесении на диэлектрическую подложку магнитомягкого и магнитожесткого слоев с формированием в магнитожестком слое магнитных неоднородностей. Магнитостатическое взаимодействие магнитных полей рассеяния от магнитных неоднородностей с магнитомягким слоем приводит к повышению коэрцитивной силы магнитомягкого слоя.

Недостатки этого способа ограниченная возможность контроля за ростом коэрцитивной силы и обязательное использование в качестве одного из слоев высококоэрцитивного материала.

Цель изобретения контролируемое увеличение коэрцитивной силы магнитомягкой пленки.

Способ поясняется чертежом.

Поставленная цель достигается следующим образом. На диэлектрическую подложку 1 последовательно напыляют два магнитных слоя 2, разделенных немагнитным слоем 3. Магнитные слои могут быть получены осаждением одного и того же материала, либо магнитных материалов с различными значениями коэрцитивной силы. Полученная система подвергается химическому травлению, в процессе которого осуществляется контроль за величиной коэрцитивной силы нижнего слоя пленки. При достижении ее необходимого значения травление прекращают.

П р и м е р 1. На диэлектрическую подложку осаждают магнитомягкий слой Fe-Ni-Co, затем немагнитный слой SiO2 и на него наносят слой Fe-Ni-Co распылением той же мишени. Поверхностный слой подвергают селективному химическому травлению, в результате которого одновременно увеличивается коэрцитивная сила этого слоя и появляются магнитные неоднородности. Магнитостатическое взаимодействие полей рассеяния от неоднородностей с намагниченностью нижнего слоя ведет к увеличению его коэрцитивной силы.

П р и м е р 2. На стеклянную подложку ионно-плазменным напылением наносят магнитомягкий слой, содержащий, мас. Fe 15; Ni 64, Со 21, толщиной 70 мм, немагнитный слой Ti толщиной 10 нм, затем магнитожесткий слой СоW толщиной 80 нм и фоторезист. Методом фотолитографии и последующего травления из CoW слоя формируют магнитные неоднородности в виде системы полосок шириной 8 мкм и периодом 30 мкм. Для приведенного конкретного примера увеличение коэрцитивной силы Fe-Ni-Co слоя составляет 8,5 Э (2,5-11 Э).

Использование предлагаемого способа позволяет контролировать величину коэрцитивной силы и при достижении необходимого значения прекратить процесс травления. При изготовлении пленочной системы можно использовать для осаждения слоев один и тот же магнитный материал.

Похожие патенты RU2060567C1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГНИТОМЯГКИХ ТЕРМОСТОЙКИХ АМОРФНЫХ КОНДЕНСАТОВ 3D-МЕТАЛЛОВ 1996
  • Литвинцев В.В.
  • Анашко А.А.
RU2122243C1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МАГНИТОРЕЗИСТИВНОГО ЭЛЕМЕНТА ПАМЯТИ НА ОСНОВЕ ТУННЕЛЬНОГО ПЕРЕХОДА И ЕГО СТРУКТУРА 2012
  • Гусев Сергей Александрович
  • Качемцев Александр Николаевич
  • Киселев Владимир Константинович
  • Климов Александр Юрьевич
  • Рогов Владимир Всеволодович
  • Фраерман Андрей Александрович
RU2522714C2
МАГНИТНЫЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ РАБОЧЕГО СЛОЯ НОСИТЕЛЯ МАГНИТНОЙ ЗАПИСИ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РАБОЧЕГО СЛОЯ НОСИТЕЛЯ МАГНИТНОЙ ЗАПИСИ НА ОСНОВЕ ТАКОГО МАТЕРИАЛА 1995
  • Снегирев Ю.И.
  • Кротова Н.И.
RU2084022C1
Способ изготовления магниторезистивных наноструктур 2021
  • Горохов Сергей Викторович
RU2767593C1
Способ изготовления тонких ферромагнитных пленок с низкокоэрцитивными каналами продвижения плоских магнитных доменов 1983
  • Васильева Наталья Петровна
  • Гал Феликс Аронович
  • Касаткин Сергей Иванович
  • Кузнецова Елена Михайловна
  • Малютин Вячеслав Иванович
  • Седых Ольга Алексеевна
  • Бухштаб Адольф Игоревич
  • Тимофеев Георгий Джамалович
  • Куликов Юрий Сергеевич
SU1109800A1
Способ получения аморфных пленок Со-Р на диэлектрической подложке 2016
  • Подорожняк Сергей Александрович
  • Чжан Анатолий Владимирович
  • Патрин Геннадий Семенович
RU2630162C1
МНОГОСЛОЙНАЯ МАГНИТОРЕЗИСТИВНАЯ НАНОСТРУКТУРА 2006
  • Пудонин Федор Алексеевич
  • Болтаев Анатолий Петрович
  • Касаткин Сергей Иванович
RU2318255C1
СПОСОБ, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК И МНОГОСЛОЙНАЯ СТРУКТУРА, ПОЛУЧЕННАЯ С ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ 2009
  • Васьковский Владимир Олегович
  • Савин Петр Алексеевич
  • Курляндская Галина Владимировна
  • Свалов Андрей Владимирович
  • Сорокин Александр Николаевич
RU2451769C2
ВСТРАИВАЕМАЯ С СБИС ТЕХНОЛОГИИ КМОП/КНИ ПАМЯТЬ "MRAM" И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) 2012
  • Качемцев Александр Николаевич
  • Киселев Владимир Константинович
  • Фраерман Андрей Александрович
  • Ятманов Александр Павлович
RU2532589C2
СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ПРОДВИЖЕНИЕМ ПЛОСКИХ МАГНИТНЫХ ДОМЕНОВ 1994
  • Гаврилюк А.В.
  • Семиров А.В.
RU2084971C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 060 567 C1

Реферат патента 1996 года СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

Использование: для изготовления тонких магнитных пленок с заданными свойствами для запоминающих устройств. Сущность изобретения: на диэлектрическую подложку наносят два магнитных слоя, разделенных немагнитным слоем, и подвергают селективному химическому травлению верхнего слоя, в результате которого одновременно повышается коэрцитивная сила этого слоя и образуются магнитные неоднородности. Магнитостатическое взаимодействие магнитных полей рассеяния от неоднородностей с намагниченностью нижнего слоя ведет к контролируемому увеличению его коэрцитивной силы. 1 ил.

Формула изобретения RU 2 060 567 C1

Способ изготовления магнитных пленок, включающий нанесение на диэлектрическую подложку двух магнитных слоев и формирование магнитных неоднородностей, отличающийся тем, что между магнитными слоями дополнительно наносят немагнитный слой, а формирование магнитных неоднородностей в одном из магнитных слоев осуществляют после их осаждения методом селективного травления.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1996 года RU2060567C1

Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Malytin V.J
et al
Structure and Magnetic Properties of Ni-Fe-Co
- Phys
stat
sol
(a), 1981, 65, 45, с.45-52
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
Авторское свидетельство СССР N 1822504, кл
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

RU 2 060 567 C1

Авторы

Гаврилюк А.В.

Ковалева Н.П.

Даты

1996-05-20Публикация

1994-03-09Подача