ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ Российский патент 1996 года по МПК H01L21/306 

Описание патента на изобретение RU2063095C1

Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано для создания матированной (шероховатой) поверхности арсенида галлия, позволяющей увеличить внешнюю квантовую эффективность излучения светодиодов и адгезию металлических контактных слоев. Известные травители для GaAs на основе перекиси водорода и смеси кислот (1 2) являются полирующими и не дают матированной (шероховатой) поверхности.

Наиболее близким техническим решением является травитель для арсенида галлия на основе азотной кислоты, в состав которого введена перекись водорода (3).

Данный травитель пригоден для получения зеркально гладкой плоско-параллельной поверхности GaAs, но не дает матированной (шероховатой) поверхности. Технический результат изобретения получение матированной (шероховатой) поверхности.

Технический результат достигается тем, что травитель для арсенида галлия на основе азотной кислоты содержит нитрид натрия или нитрит калия и воду при следующем соотношение компонентов, г/л:
азотная кислота 712-1000
нитрит натрия или нитрит калия 1 20
вода до 1 л
Сопоставительный анализ заявляемого решения с прототипом показывает, что заявляемый травитель отличается от известного тем, что к азотной кислоте добавляется нитрид щелочного металла. Решение со сходным признаком нам неизвестно, что позволяет судить о соответствии нашего решения критерию "существенного отличия".

Примеры составов травителя приведены в таблице
В качестве исходных растворов рекомендуется использовать 10%-ный раствор нитрида щелочного металла и концентрированную (68-72%-ную) азотную кислоту, выдерживать травитель перед использованием не менее 5 мин, время травления 0,5 1 мин.

Травление проводили при комнатной температуре, без перемешивания. Время травления 1 мин. Образующийся в некоторых составах осадок на поверхности растворяли в растворе NH4OH:H2O(1:10).

Во всех травителях поверхность получается матовая серая. Шероховатость образуется за счет микровыступов. Высота образующихся микровыступов указана в таблице.

Проводилось матирование поверхности GaAs при изготовлении кристаллов светоизлучающих диодов. Получено увеличение на 30% внешней квантовой эффективности излучения по сравнению с полированной поверхностью.

В настоящее время для травления кристаллов светодиодов используют смесь H2O2+H2SO4, которая дает полированную поверхность.

Применение заявленного травителя позволяет повысить квантовую эффективность излучения светодиодов.

Источники информации, использованные при составлении описания.

1. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников. /Под ред. Б.Д.Луфт. 1982.

2. Известия АН СССР. Сер. Неорганические материалы, 1988, N 7, с 1206-1207.

3. Сборник "Арсенид галлия", Томск 1970, вып. N 3 с.210-216. ТТТ1

Похожие патенты RU2063095C1

название год авторы номер документа
Способ обработки пластин С @ А @ 1991
  • Василенко Николай Дмитриевич
  • Зеленин Юрий Александрович
  • Краснов Василий Александрович
  • Ковтун Геннадий Прокофьевич
  • Малышев Валерий Дмитриевич
SU1783594A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА 1992
  • Айзенштат Г.И.
  • Содатенко К.В.
  • Шамова Г.И.
RU2031483C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ С САМОСОВМЕЩЕННЫМ ЗАТВОРОМ СУБМИКРОННОЙ ДЛИНЫ 2010
  • Арыков Вадим Станиславович
  • Гаврилова Анастасия Михайловна
  • Дедкова Ольга Анатольевна
  • Лиленко Юрий Викторович
RU2436186C2
СВЕТОИЗЛУЧАЮЩИЙ ДИОД 1992
  • Днепровский С.Н.
  • Сергеева А.А.
  • Вишняков А.С.
RU2054210C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АТОМНО-ГЛАДКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ 2006
  • Безрядин Николай Николаевич
  • Котов Геннадий Иванович
  • Стародубцев Александр Александрович
  • Стрыгин Владимир Дмитриевич
  • Арсентьев Иван Никитич
RU2319798C1
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ ПЛЕНКИ НИТРИДА ГАЛЛИЯ 2014
  • Томашпольский Юрий Яковлевич
  • Матюк Владимир Михайлович
  • Садовская Наталия Владимировна
RU2578870C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИОДА С ВИСКЕРОМ ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА 2016
  • Торхов Николай Анатольевич
RU2635853C2
СПОСОБ КОНСЕРВАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК ИЗ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ 2012
  • Безрядин Николай Николаевич
  • Арсентьев Иван Никитич
  • Котов Геннадий Иванович
  • Кузубов Сергей Вячеславович
  • Власов Юрий Николаевич
  • Кортунов Артур Вадимович
RU2494493C1
Способ изготовления полевых транзисторов на арсениде галлия 1990
  • Ваксенбург Владимир Янович
  • Иноземцев Геннадий Маркович
  • Кораблик Александр Семенович
  • Поляков Александр Беркович
SU1831731A3
СПОСОБ СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ИЗЛУЧАЮЩИХ ДИОДОВ 1981
  • Цимберова И.С.
  • Ковалев И.К.
  • Пантелеев Ю.К.
RU2034277C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 063 095 C1

Реферат патента 1996 года ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ

Использование: микроэлектроника, для создания матированной поверхности арсенида галлия, позволяющей увеличить внешнюю квантовую эффективность излучения светодиодов и адгезию металлических контактных слоев. Сущность изобретения: травитель для арсенида галлия содержит азотную кислоту 712 - 1000 г/л, нитрит натрия или нитрит калия 1 - 20 г/л и воду. 1 табл.

Формула изобретения RU 2 063 095 C1

Травитель для арсенида галлия на основе азотной кислоты и воды, отличающийся тем, что травитель дополнительно содержит нитрид натрия или нитрид калия при следующем соотношении компонентов, г/л:
Азотная кислота 712 1000
Нитрид натрия или нитрид калия 1 20
Вода До 1 л

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1996 года RU2063095C1

Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников/ Под ред
Луфт В.Д., 1982, c
Приспособление в пере для письма с целью увеличения на нем запаса чернил и уменьшения скорости их высыхания 1917
  • Латышев И.И.
SU96A1
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
Известия АН СССР
Сер
Неорганические материалы, 1988, N7, с
Устройство для получения рентгеновских изображений 1925
  • Г. Букки
SU1206A1
Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. 1921
  • Богач Б.И.
SU3A1
Сборник "Арсенид галлия".- Томск, 1970 г., вып
Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. 1921
  • Богач Б.И.
SU3A1
Стиральная машина для войлоков 1922
  • Вязовов В.А.
SU210A1

RU 2 063 095 C1

Авторы

Возмилова Л.Н.

Малярова В.Г.

Даты

1996-06-27Публикация

1993-05-07Подача