УСТРОЙСТВО ЭКСПОНИРУЮЩЕГО ОСВЕЩЕНИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ ПЕЧАТИ Российский патент 1997 года по МПК G03B27/16 

Устройство экспонирующего освещения для фотолитографической печати, содержащее лампу, отражатель, светофильтр, отрезающий нерабочие участки спектра излучения системы лампа - отражатель, и коллимирующий элемент с заданным диапазоном выходных апертурных углов, расположенные в кожухе с системой искусственного охлаждения, отличающееся тем, что отражатель выполнен цилиндрическим симметричным и содержит продольно-щелевое отверстие, лампа имеет прямую трубчатую горелку с длиной светящейся части, по меньшей мере равной длине указанного продольно-щелевого отверстия, причем угловой размер последнего относительно продольной оси лампы в меридиональных плоскостях отражателя составляет 10-120^o, устройство содержит дополнительно механизм двустороннего линейного перемещения системы лампа - отражатель - светофильтр - коллимирующий элемент - кожух в направлении, перпендикулярном оси симметрии отражателя, и механизм углового перемещения последней системы относительно оси симметрии отражателя.