Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано при производстве газовых CO2-лазеров с высокой эффективностью накачки.
Известен CO2- лазер с поперечным высокочастотным (ВЧ) разрядом, содержащий разрядную структуру, состоящую из двух протяженных электродов, расположенных на незначительном расстоянии друг от друга [1] Для возбуждения лазера ВЧ-полем используются два ввода энергии (по одному на каждом электроде). Для эффективной передачи энергии от ВЧ-источника накачки в активную среду лазера необходимо совпадение импедансов нагрузки в режиме горения разряда с выходным импедансом генератора накачки. Для этого между подводящим коаксиальным кабелем и ВЧ-вводами энергии разрядной структуры включают цепь согласования, состоящую из нескольких реактивных сопротивлений, осуществляющую трансформацию комплексного импеданса разряда в импеданс ВЧ-генератора.
Недостатком лазера является то, что в разрядной структуре, обладающей свойствами линии передачи, формируется стоячая волна поля накачки с неоднородным в продольном направлении распределением напряжения. Эта неоднородность обуславливает продольную неоднородность энерговклада в разряд и, как следствие этого, неоднородность коэффициента усиления активной среды лазера, что снижает эффективность накачки.
Известен также CO2-лазер с поперечным ВЧ-разрядом [2] в котором для уменьшения продольной неоднородности коэффициента усиления активной среды используются шунтирующие индуктивности, подключенные между электродами и расположенные вдоль разрядной структуры. Величина индуктивностей выбирается из условия получения резонанса по частоте ВЧ-накачки. Таким образом, в этой конструкции шунтирующие индуктивности не только уменьшают продольную неоднородность напряжения, но и являются частью цепи согласования, преобразующей импеданс разряда лазера в выходное сопротивление источника ВЧ-накачки.
Недостатком лазера являются существенные ВЧ-потери в цепи согласования, в том числе на шунтирующих индуктивностях, которые складываются из потерь на излучение, потерь на межвитковых емкостях, потерь на омическом сопротивлении токам ВЧ.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению является CO2-лазер с поперечной ВЧ-накачкой [3] содержащий разрядную структуру с двумя протяженными электродами и источник питания, соединенный с разрядной структурой кабелями через несколько пар вводов, расположенных на электродах. В таком лазере достигается более равномерное распределение энергии накачки вдоль разрядной структуры, а следовательно, более высокая эффективность накачки, чем в известных лазерах при подаче энергии через одну пару вводов энергии.
Недостатком данной конструкции является высокие суммарные потери ВЧ-энергии на омическом сопротивлении цепей согласования, которые включаются между каждым подводящим кабелем и вводами ВЧ-энергии разрядной структуры, что существенно снижает эффективность накачки.
Изобретение решает задачу создания ВЧ CO2-лазера с повышенной эффективностью накачки.
Осуществление изобретения позволит создать конструкцию CO2-лазера с поперечным ВЧ-возбуждением, обеспечивающую минимальные электрические потери при согласовании импеданса разряда с выходным сопротивлением источника питания. При этом одновременно будет обеспечиваться минимальная величина продольной неоднородности усиления.
Это достигается тем, что в известном CO2-лазере, содержащем разрядную структуру, состоящую из двух протяженных электродов с одной или несколькими парами вводов ВЧ-энергии, возбуждаемую поперечным ВЧ-разрядом от источника питания с регулируемой выходной мощностью, соединенного с разрядной структурой N (N 1, 2, 3,) отрезками кабелей с волновым сопротивлением R, площадь сечения S рабочей поверхности каждого электрода, межэлектродный зазор d и давление газовой смеси p выбираются из условия
S(pd)-1 CNR-1,
где S, мм2;
d, мм;
p, мм рт.ст.
R, Ом
C 6±1•102 Ом•мм/мм рт.ст.
Совпадение импеданса нагрузки с выходным импедансом ВЧ-генератора, соединенного с излучателем лазера несколькими кабелями, обеспечивается достижением сопротивления разрядной структуры, равного R/N. Учитывая, что соединяющие кабели имеют определенное стандартное значение волнового сопротивления (как правило, 50 Ом), в предложенной конструкции осуществляется выбор сопротивления разрядной структуры путем подбора ее геометрии (площадь рабочей поверхности каждого электрода и межэлектродный зазор) и давления газовой смеси. Эти параметры определяются из вышеуказанного соотношения. Эффективность накачки предложенного лазера возрастает благодаря отсутствию специальных цепей согласования, а следовательно, из-за малых электрических потерь.
На чертеже показан предложенный CO2-лазер с поперечным ВЧ-возбуждением.
Лазер содержит источник питания 1, излучатель 2. Энергия электрического поля подводится к разрядному промежутку с помощью отрезков кабелей 3. Разрядная структура излучателя образована протяженными электродами 4 площадью S ab, расстояние между которыми составляет d.
Принцип действия предлагаемого устройства состоит в следующем.
От ВЧ-генератора с помощью нескольких (N) отрезков кабелей с волновым сопротивлением R подается напряжение на разрядную структуру, вследствие чего в разрядном канале возбуждается поперечный разряд и возникает состояние с инверсной заселенностью. Согласование импеданса разряда с выходным сопротивлением источника питания осуществляется достижением сопротивления разряда, равного R/N. Поскольку сопротивление разряда зависит от объема и давления возбуждаемой активной среды, точное его значение можно выбрать при проектировании лазера, задавая геометрию разрядной структуры (величина рабочей поверхности S каждого электрода, межэлектродный зазор d) и давление газовой среды p. Между указанными параметрами и волновым сопротивлением R соединяющих кабелей установлено следующее соотношение:
S(pd)-1 CNR-1,
где S, мм2;
d, мм;
p, мм рт.ст.
R, Ом;
C (6±1)•102 Ом•мм/мм рт.ст.
Коэффициент пропорциональности C (6±1)•102 Ом•мм/мм рт. ст. входящий в вышеуказанное соотношение, определен экспериментально для нескольких (не менее 10) совокупностей параметров S, p и d как усредненное значение.
В соответствии с данным предложением создан CO2- лазер, возбуждаемый поперечным ВЧ-разрядом со следующими техническими характеристиками:
Размеры рабочей поверхности электрода (ширина•длина), мм2 - 40•280
Межэлектродный зазор, мм 2,5
Давление рабочей смеси, мм рт.ст. 50
Частота ВЧ-поля, МГц 81,36
Мощность ВЧ-генератора, Вт 600
Мощность излучения лазера в диапазоне длин волн 9-11 мкм, Вт 60
Количество соединяющих кабелей 4
Таким образом, изобретение позволяет обеспечить согласование импедансов разряда с выходным сопротивлением ВЧ-генератора без использования внешних цепей согласования и тем самым создать CO2-лазер с поперечным ВЧ-разрядом с повышенной эффективностью накачки.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
УСТРОЙСТВО НАКАЧКИ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНОГО ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА | 2009 |
|
RU2410808C2 |
ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР | 1999 |
|
RU2144723C1 |
ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР (ВАРИАНТЫ) | 1996 |
|
RU2107366C1 |
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕНЕРАЦИИ В НЕМ | 2005 |
|
RU2321119C2 |
ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР | 1996 |
|
RU2124255C1 |
ГАЗОВЫЙ ЛАЗЕР | 1997 |
|
RU2148882C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕНЕРАЦИИ В НЕПРЕРЫВНОМ ЭЛЕКТРОИОНИЗАЦИОННОМ CO-ЛАЗЕРЕ | 1991 |
|
RU2012966C1 |
ГАЗОВЫЙ ЛАЗЕР | 1994 |
|
RU2089983C1 |
ГАЗОВЫЙ ЛАЗЕР | 1992 |
|
RU2056683C1 |
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИНВЕРСИИ В АКТИВНОМ ЭЛЕМЕНТЕ ТВЕРДОТЕЛЬНОГО ЛАЗЕРА | 1994 |
|
RU2086058C1 |
Использование: изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано при производстве газовых CO2-лазеров с высокой эффективностью накачки. Сущность: газовый CO2-лазер содержит разрядную структуру, состоящую из двух протяженных электродов с несколькими парами вводов ВЧ-энергии. ВЧ-энергия подводится к разряду от источника питания с регулируемой мощностью отрезками кабелей с волновым сопротивлением R. Количество отрезков кабелей равно N /N = 1, 2, 3,...,/. Площадь сечения рабочей поверхности электродов S, межэлектродный зазор d и давление газовой смеси р выбираются из соотношения: S(pd)-1 = CNR-1, где C - коэффициент пропорциональности. 1 ил.
Газовый СО2 лазер с поперечным высокочастотном разрядом, содержащий разрядную структуру, состоящую из двух протяженных электродов с несколькими парами вводов ВЧ энергии, возбуждаемый поперечным ВЧ разрядом от источника питания с регулируемой выходной мощностью, соединенного с разрядной структурой N (N=1,2,3.) отрезками кабелей с волновым сопротивлением R, Ом, отличающийся тем, что площадь сечения S, мм2, рабочей поверхности каждого электрода, межэлектродный зазор d, мм, и давление Р, мм рт.ст. газовой смеси выбраны из соотношения
S(pd)-1 CNR-1,
где С (6 ± 1) х 102 Ом х мм/мм рт.ст.
S | |||
Lovold et al | |||
Appl | |||
Phys | |||
Lett | |||
Устройство для видения на расстоянии | 1915 |
|
SU1982A1 |
R | |||
inclair et al | |||
ournal of Appl | |||
Phys, 1984, v | |||
Приспособление для разматывания лент с семенами при укладке их в почву | 1922 |
|
SU56A1 |
Вертикальный эксцентриковый пресс для изготовления чертежных кнопок | 1925 |
|
SU2997A1 |
Минеев А.И | |||
и др | |||
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
- М | |||
, 1993. |
Авторы
Даты
1997-08-10—Публикация
1995-11-15—Подача