КАТОДНЫЙ УЗЕЛ Российский патент 1997 года по МПК C23C14/42 H01J17/02 

Изобретение касается нанесения тонких пленок в вакууме, более конкретно катодных узлов.

Известен катодный узел [1] содержащий катод, мишень, анод, магнитную систему, нагреватель, расположенный со стороны анода, противолежащей рабочей поверхности катода.

Недостатком аналога является то, что не представляется возможным осуществлять процесс травления и нанесения тонких пленок за один технологический цикл.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является катодный узел [2] содержащий электрод-мишень, конструктивно с ним взаимосвязанную систему, экраны, элементы охлаждения и напуска газа.

Недостатком прототипа является также отсутствие возможности осуществлять процесс травления и нанесения тонких пленок с заданной топографией за один технологический цикл.

В основу изобретения положена задача обеспечить возможность осуществления процесса травления и нанесения тонких пленок за один технологический цикл.

Эта задача решается тем, что элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, совмещенного с подложкой, блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы, магнитная система выполнена с возможностью регулирования индукцией магнитного поля от нуля до максимальной эксплутационной величины, на подложке установлен трафарет с возможностью перемещения относительно подложки
Введение в катодный узел элементов напуска газа, выполненных в виде двух блоков с возможностью последовательной подачи через них инертных активных газов и трафарета, установленного на подложке с возможностью перемещения относительно нее, позволяет обеспечить эффективность нанесения тонких пленок любого рисунка на крупногабаритные изделия при сохранении высокой экологии технологического процесса.

Сопоставительный анализ катодного узла и прототипа показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию "новизна". Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники позволило выявить в них совокупность признаков, отличающих заявляемое техническое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 показан общий вид катодного узла с блоками напуска газа и подложкой; на фиг. 2 вид сверху катодного узла; на фиг. 3 общий вид катодного узла с блоками напуска газа и трафаретом, расположенным над подложкой; на фиг. 4 -вид сверху катодного узла с трафаретом.

Катодный узел содержит электрод-мишень 1, магнитную систему 2, экраны 3, элементы охлаждения 4 и напуска газа 5. Элементы напуска газа 5 выполнены в виде двух блоков 6, 7, расположенных по периферии электрода-мишени 1, совмещенного с подложкой 8. Блоки 6, 7 выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы (на фиг. 1 4 условно не показано).

Магнитная система 2 выполнена с возможностью регулирования индукцией магнитного поля от нуля до максимальной эксплутационной величины.

Трафарет 9 установлен на подложке 8 с возможностью перемещения относительно нее с помощью ручки 10 управления трафаретом 9. Катодный узел расположен в вакуумной камере 11.

Катодный узел работает следующим образом. При подаче в вакуумную камеру 11 инертных газов происходит их ионизация и бомбардировка подложки 8, поверхность которой очищается. При подаче активных газов в вакуумную камеру 11 происходит их нанесение на подложку. При установлении трафарета 9 на подложку 8 появляется возможность нанесения на нее рисунка любой конфигурации.

Применение предлагаемого катодного узла обеспечивает возможность нанесения тонких пленок любого рисунка в вакууме на крупногабаритные изделия при сохранении высокой экологии технологического процесса.

Сущностью изобретения является катодный узел, в котором элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, совмещенного с подложкой. Блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы, магнитная система выполнена с возможностью регулирования индукции магнитного поля от нуля до максимальной эксплутационной величины. Подложка имеет трафарет, установленный с возможностью перемещения относительно подложки. 1 з.п. ф-лы 4 ил.

1. Катодный узел, содержащий подложкодержатель, электрод-мишень, магнитную систему, экраны, элементы охлаждения и напуска газа, отличающийся тем, что подложкодержатель расположен над электродом-мишенью и совмещен с ней, элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы, а магнитная система выполнена с возможностью регулирования индукции магнитного поля от нуля до максимальной эксплуатационной величины. 2. Узел по п.1, отличающийся тем, что он снабжен трафаретом для установления на подложке с возможностью перемещения относительно последней.