УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН Российский патент 1997 года по МПК H01L21/68 

Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении.

Известно устройство (заявка 61-218142 от 27.09.86 г. Япония), содержащее столик с двумя ограничителями, колонку, которая вращается вокруг своей оси. Пластина перемещается вдоль оси столика под воздействием воздушных струй до контакта с краем колонки, которая увлекает пластину во вращение. Пластина останавливается, когда ее базовый срез будет перпендикулярен оси транспортирования, при этом пластина будет контактировать с ограничителями, не касаясь колонки. Недостатком данного устройства является трение и износ боковой поверхности пластины и, как следствие этого, загрязнение рабочей поверхности пластины и уменьшение процента выхода годных изделий.

Известно устройство (заявка 1-58658 от 27.03.86 г. Япония), по которому пластину с базовым срезом транспортируют по наклонному столику, снабженному воздушными соплами, механизмом поворота, эталонной пластиной и эталонными штифтами. Механизм поворота вращает пластину до совмещения ее базового среза с эталонной пластиной. Здесь также возникает износ и загрязнение пластины.

Наиболее близким является устройство (заявка 61-270843 от 1.12.86 г. Япония), содержащее столик с соплами, по которому подаются полупроводниковые пластины, ограничительные штырьки и упоры по обе стороны столика. Пластина перемещается за счет воздействия струй воздуха, упирается в штырьки, струи продолжают действовать, пластина начинает поворачиваться, скользя краем вдоль штырьков. Когда пластина поворачивается к ним своим базовым срезом, вращение прекращается, пластина оказывается прижатой к упорам. Износ и загрязнение пластины, возникающие при этом, приводят к снижению процента выхода годных изделий.

Цель изобретения повышение процента выхода годных изделий.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для ориентации пластин, содержащем столик с наклонными соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, датчики конечного положения, ограничители выполнены в форме конического гнезда, а наклонные отверстия равномерно расположены по окружности.

На фиг. 1 и фиг. 2 показано предложенное устройство.

Устройство состоит из основания 1, столика 2, в котором выполнено коническое гнездо 3 и наклонные сопла 4 и 5, равномерно расположенные по окружности, меньшей, чем диаметр основания конического гнезда, причем сопла 4 наклонены по направлению часовой стрелки, а сопла 5 против часовой стрелки. Наклонные сопла 4 и 5 соединены соответственно с пневмокамерами 6 и 7, которые имеются в основании 1. Устройство также содержит две пары датчиков 8 и 9, например, фотоэлектрических, работающих в отраженном свете, связанных с устройством управления 10, и штыри 11 с приводом от линейного двигателя 12.

Устройство работает следующим образом.

Пластина 13 по пневмотранспортеру (не показан) перемещается в коническое гнездо 3. В это время пневмокамера 6 соединена с воздушной магистралью и сжатый воздух поступает в наклонные сопла 4, создавая между пластиной и коническим гнездом воздушную прослойку и увлекая ее во вращение по направлению часовой стрелки. Распределение давления в воздушной прослойке под пластиной, центр которой расположен на оси конического гнезда, показано на фиг. 3 (положение А). Если центр пластины сместится относительно оси конического гнезда и пластина займет положение Б, то давление воздуха в прослойке под приподнятым краем пластины уменьшится, а под опущенным, наоборот, увеличится. Поэтому пластина стремится занять положение А. Расход воздуха подобран таким образом, что через промежуток времени t₀ пластина начинает вращаться с постоянной угловой скоростью w₀ (фиг. 4). После засветки хотя бы одного из датчиков (сигнала о том, что пластина находится в коническом гнезде) устройство управления отсчитывает промежуток времени t₀. После одновременного затемнения датчиков базовым срезом пластины (момент времени t₁) устройство управления дает команду на подключение пневмокамеры 7 к магистрали. Сжатый воздух начинает поступать в наклонные сопла 5, вызывая уменьшение скорости вращения пластины. Устройство управления отсчитывает промежуток времени, в течение которого скорость падает почти до нуля, и после одновременного затемнения датчиков базовым срезом выдает команду линейному двигателю 12 на перемещение штырей 11, приподнимающих пластину на дальнейшую технологическую операцию. Остальные элементы устройства приводятся в исходное положение.

Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность: устройство для ориентации пластин содержит столик с наклонными соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, датчики конечного положения, причем ограничители выполнены в форме конического гнезда, а наклонные сопла равномерно расположены по окружности и поочередно наклонены в противоположные стороны. 4 ил.

Устройство для ориентации пластин, содержащее столик с наклонными соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, датчики конечного положения, отличающееся тем, что ограничители выполнены в форме конического гнезда, а наклонные сопла равномерно расположены по окружности, причем они поочередно наклонены в противоположные стороны.