УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН Российский патент 1997 года по МПК H01L21/68 

Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении.

Известно устройство (заявка 61-218142 от 27.09.86, Япония), содержащее столик с двумя ограничителями, колонку, которая вращается вокруг своей оси. Пластина перемешается вдоль оси столика под воздействием воздушных струй до контакта с краем колонки, которая увлекает пластину во вращение. Пластина останавливается, когда ее базовый срез будет перпендикулярен оси транспортирования, при этом пластина будет контактировать с ограничителями, не касаясь колонки. Недостатком данного устройства является трение и износ боковой поверхности пластины и, как следствие этого, загрязнение рабочей поверхности пластины и уменьшение процента выхода годных изделий.2 Известно устройство (заявка 1-58658 от 27.03.86, Япония), по которому пластину с базовым срезом транспортируют по наклонному столику, снабженному воздушными соплами, механизмом поворота, эталонной пластиной и эталонными штифтами. Механизм поворота вращает пластину до совмещения ее базового среза с эталонной пластиной. Здесь также возникает износ и загрязнение пластины.

Наиболее близким является устройство (заявка 61-270843 от 1.12.86, Япония), содержащее столик с соплами, по которому подаются полупроводниковые пластины, ограничительные штырьки и упоры по обе стороны столика. Пластина перемещается за счет воздействия струй воздуха, упирается в штырьки, струи продолжают действовать, пластина начинает поворачиваться, скользя краем вдоль штырьков. Когда пластина поворачивается к ним своим базовым срезом, вращение прекращается, пластина оказывается прижатой к упорам. Износ и загрязнение пластины, возникающие при этом, приводят к снижению процента выхода годных изделий.

Техническая задача повышение процента выхода годных изделий.

Поставленная задача достигается тем, что в устройстве для ориентации пластин, содержащем столик с наклонными и одним вертикальным соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, ограничители выполнены в виде усеченной многогранной пирамиды, основанием которой является меньший из многоугольников, все грани усеченной пирамиды, за исключением последней, образуют правильную пирамиду, а последняя грань параллельно смещена так, что соответствующая сторона многоугольника нижнего основания перемещена к центру многоугольника на величину, равную стреле хорды базового среза, наклонные сопла равномерно расположены по окружности, а вертикальное расположено в плоскости симметрии смещенной грани и находится от центра устройства на расстоянии, равном радиусу пластины за вычетом половины величины стрелы хорды базового среза.

На фиг. 1 и 2 показано предложенное устройство.

Устройство содержит столик 1 с воздушными соплами 2, равномерно расположенными по окружности и наклоненными к поверхности столика 1. В столике 1 выполнено гнездо 3 в виде усеченной многогранной пирамиды, основанием которой является меньший из многоугольников, все грани пирамиды, за исключением грани 4, образуют правильную пирамиду, а грань 4 параллельно смещена так, что соответствующая сторона многоугольника нижнего основания перемещена к центру многоугольника на величину, равную стреле хорды базового среза. Также в столике 1 выполнено вертикальное сопло 5, лежащее в плоскости симметрии смещенной грани 4 и отстоящее от центра устройства на расстоянии, равном радиусу пластины за вычетом половины величины стрелы хорды базового среза. Кроме того, имеются два датчика 6 и 7, фиксирующих окончание процесса ориентации, например фотоэлектрических.

Устройство работает следующим образом. Пластина 8 по пневмотранспортеру (не показан) поступает в устройство. В это время сопла 2 и 5 подключены к пневмомагистрали. Сжатый воздух из сопел создает воздушную прослойку между гнездом 3 и пластиной 8, увлекая ее во вращение, а струя воздуха из сопла 5 приподнимает край пластины, находящейся в неориентированном положении, над гранью 4, чтобы избежать трения края пластины об эту грань. Расход воздуха подобран таким образом, что за счет разрежения, создаваемого под пластиной в центре вихревого потока струй воздуха, пластина удерживается при вращении в этом положении. Так пластина вращается до тех пор, пока ее базовый срез не окажется расположенным над гранью 4. В этом случае струя 5 не будет воздействовать на пластину и она будет находится под воздействием сил динамического давления струй воздуха из сопел 2. Т.к. давление воздуха под приподнятым краем пластины меньше, чем под опущенным, то пластина стремится занять горизонтальное положение. При одновременном срабатывании датчиков 6 и 7 и сигнала о том, что пластина заняла ориентированное положение, сопла 2 и 5 отключаются от пневмомагистрали и пластина опускается, касаясь базовым срезом грани 4 и точками остальных граней, при этом происходит окончательная ориентация пластин.

Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность изобретения заключается в следующем. Устройство для ориентации пластин содержит столик с наклонными и одним вертикальным соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, причем ограничители выполнены в виде усеченной многогранной пирамиды, нижним основанием которой является меньший из многоугольников, все грани усеченной пирамиды, за исключением последней, образуют правильную пирамиду, а последняя грань смещена так, что соответствующая сторона многоугольника нижнего основания перемещена к центру многоугольника на величину, равную стреле хорды базового среза, наклонные сопла равномерно расположены по окружности, а вертикальное расположено в плоскости симметрии смещенной грани на расстоянии от центра устройства, равном радиусу пластины за вычетом половины величины стрелы хорды базового среза, дополнительно в столике установлены датчики конечного положения. 2 ил.

Устройство для ориентации пластин, содержащее столик с наклонными и одним вертикальным соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, отличающееся тем, что ограничители выполнены в виде усеченной многогранной пирамиды, основанием которой является меньший из многоугольников, все грани усеченной пирамиды, за исключением последней, образуют правильную пирамиду, а последняя грань параллельно смещена так, что соответствующая сторона многоугольника нижнего основания перемещена к центру многоугольника на величину, равную стреле хорды базового среза, наклонные сопла равномерно расположены по окружности, а вертикальное выполнено в столике в плоскости симметрии смещенной грани на расстоянии от центра устройства, равном радиусу пластины за вычетом половины величины стрелы хорды базового среза, дополнительно в столике установлены датчики конечного положения.