ДАТЧИК МОНООКСИДА УГЛЕРОДА Российский патент 2003 года по МПК G01N27/12 

Описание патента на изобретение RU2206083C1

Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для регистрации и измерения содержания оксида углерода в различных газах.

Известен датчик (детектор) по теплопроводности, действие которого основано на различии теплопроводностей паров вещества и газа-носителя [1]. Однако такой датчик (детектор) чувствителен только к веществам с теплопроводностью, близкой к теплопроводности газа-носителя.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является полупроводниковый газовый датчик на основе оксида индия (Jn2O3), легированного оксидами щелочных металлов [2]. Он позволяет детектировать 6,7-0,05 Па СО во влажном воздухе при 300oС.

Недостатком известного устройства является недостаточная чувствительность для контроля содержания оксида углерода, высокая рабочая температура - 300oС и трудоемкость его изготовления, предусматривающего легирование оксида индия оксидами щелочных металлов.

Задачей изобретения является создание датчика, характеризующегося повышенной чувствительностью и технологичностью его изготовления и позволяющего определять содержание микропримесей монооксида углерода в газовых смесях при комнатной температуре.

Поставленная задача решена за счет того, что в известном полупроводниковом газовом датчике, содержащем полупроводниковое основание с нанесенными на его поверхность металлическими электродами, основание выполнено из поликристаллической пленки антимонида индия, легированного селенидом цинка.

Повышение чувствительности и снижение рабочей температуры заявляемого датчика по сравнению с известным датчиком [2] иллюстрируется чертежом, где на фиг. 1 представлена конструкция датчика, на фиг. 2 приведена кривая зависимости величины адсорбции монооксида углерода от температуры, на фиг.3 - градуировочная кривая зависимости изменения электропроводности датчика в условиях адсорбции (Δσs) от начального давления СО (РСО)
Датчик состоит из полупроводникового основания 1, выполненного в виде поликристаллической пленки антимонида индия, легированного селенидом цинка, металлических электродов 2 и непроводящей подложки 3 (фиг. 1).

Принцип работы датчика основан на одновременном изменении массы (пропорциональном изменению частоты собственного колебания пьезокварцевого резонатора Δf) и электропроводности полупроводниковой пленки при адсорбции СО.

Работа датчика базируется на определении изменения электропроводности полупроводниковой пленки (Δσs) при адсорбции СО. По величине изменения электропроводности с помощью градуировочных кривых можно определить содержание монооксида углерода в исследуемой среде.

Как следует из анализа кривых, представленных на фиг. 2, 3, заявляемый объект позволяет определять содержание монооксида углерода (в газовых средах) с более высокой (~ в 4 раза) чувствительностью. Так, предельная чувствительность устройства прототипа при 300oС составляет 6,7-0,05 Па, а чувствительность заявляемого датчика уже при комнатной температуре составляет 0,005 Па, т. е. отпадает необходимость нагревать датчик и работать при высоких температурах.

Таким образом, применение поликристаллической пленки антимонида индия, легированного селенидом цинка, позволило повысить чувствительность датчика, понизить его рабочую температуру.

Источники информации
1. Вяхирев Д.А., Шушукова А.Ф. Руководство по газовой хроматографии. М.: Высш. школа, 1987.

2. Yam aura Hiroyuki, Tarn aki, Jun, Moriya Koji, Miura Norio, Yamazoe Noboru//J.E. Electrochem Soc. -1996. - 143, N 2, p. 36-37.

Похожие патенты RU2206083C1

название год авторы номер документа
ДАТЧИК ОКСИДА УГЛЕРОДА 2001
  • Кировская И.А.
  • Азарова О.П.
RU2209423C2
ДАТЧИК УГАРНОГО ГАЗА 2000
  • Кировская И.А.
  • Азарова О.П.
  • Скворцова Н.Г.
RU2185615C2
ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК 2000
  • Кировская И.А.
  • Азарова О.П.
RU2178558C1
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК МИКРОПРИМЕСЕЙ АММИАКА 2015
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Миронова Елена Валерьевна
RU2607733C1
ГАЗОАНАЛИЗАТОР УГАРНОГО ГАЗА 2009
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Новгородцева Любовь Владимировна
  • Васина Марина Владимировна
RU2395799C1
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ГАЗОАНАЛИЗАТОР 2011
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Дубина Оксана Николаевна
RU2469300C1
ДАТЧИК УГАРНОГО ГАЗА 2006
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Тимошенко Оксана Тарасовна
RU2326371C1
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК МИКРОПРИМЕСЕЙ АММИАКА 2016
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Новгородцева Любовь Владимировна
RU2641016C2
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ГАЗОАНАЛИЗАТОР 2009
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Шубенкова Екатерина Гаррьевна
RU2398219C1
Датчик угарного газа 2015
  • Кировская Ираида Алексеевна
  • Нор Полина Евгеньевна
RU2649654C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 206 083 C1

Реферат патента 2003 года ДАТЧИК МОНООКСИДА УГЛЕРОДА

Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам для регистрации и измерения содержания монооксида углерода. Технический результат изобретения - повышение чувствительности датчика, снижение его рабочей температуры. Сущность: в полупроводниковом газовом датчике, содержащем полупроводниковое основание с нанесенными на его поверхность металлическими электродами, основание выполнено из поликристаллической пленки антимонида индия, легированного селенидом цинка. 3 ил.

Формула изобретения RU 2 206 083 C1

Газовый датчик, содержащий полупроводниковое основание с нанесенными на его поверхность металлическими электродами, отличающийся тем, что основание выполнено в виде поликристаллической пленки антимонида индия, легированного селенидом цинка.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2003 года RU2206083C1

ПРИСПОСОБЛЕНИЕ, ПРЕДУПРЕЖДАЮЩЕЕ ОТВИНЧИВАНИЕ ГАЕК 1926
  • Васильев В.Н.
SU5652A1
RU 99125143 A1, 10.09.2001
Устройство для отображения информацииНА эКРАНЕ элЕКТРОННОлучЕВОй ТРубКи 1979
  • Голубчик Владимир Яковлевич
  • Голубчик Григорий Яковлевич
  • Климентович Валентин Александрович
  • Фишман Борис Ентильевич
SU834738A1
US 5629474 A, 13.05.1997.

RU 2 206 083 C1

Авторы

Кировская И.А.

Азарова О.П.

Даты

2003-06-10Публикация

2002-01-11Подача