СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНООБЪЕКТОВ НА ПОДЛОЖКЕ Российский патент 2004 года по МПК B82B3/00 

Описание патента на изобретение RU2242421C2

Изобретение относится к области электроники, а более конкретно к способам получения нанообъектов на подложке.

Известен способ получения нанообъектов на подложке, включающий ионизацию рабочего газа вблизи подложки [Моряков О.С. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн. Кн. 7. Электронная обработка. Учебное пособие для ПТУ - М.: Высшая школа, 1990 - 128 с., ил. - стр.35-36].

Недостатком аналога является низкая точность воспроизведения нанообъектов на подложке.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ получения нанообъектов на подложке, включающий ионизацию рабочего газа между зондом и подложкой. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие - М.: МИЭТ, 2000 - 69 с., ил. - стр.4-5].

Недостатком прототипа является низкая точность воспроизведения нанообъектов на подложке из-за интенсивной электроэрозии самого зонда.

В основу изобретения положена техническая задача обеспечить высокую точность воспроизведения нанообъектов на подложке.

Поставленная задача решается тем, что в способе получения нанообъектов на подложке, включающий ионизацию рабочего газа между зондом и подложкой, согласно изобретению в качестве зонда используют луч лазера, которым ионизируют рабочий газ, причем лазер устанавливают на многокоординатном пьезоприводе, а на подложку подают отрицательный потенциал.

Введением в способ получения нанообъектов на подложке вместо твердого зонда - луча лазера создается ионизация рабочего газа только внутри луча, и осаждение на подложку происходит в нанообласти взаимодействия лазерного луча с подложкой, чем и обеспечивается высокая точность воспроизведения нанообъектов на подложке.

Сущность изобретения поясняется чертежом 1, где показано устройство, реализующее способ получения нанообъектов на подложке.

Устройство, реализующее способ получения нанообъектов на подложке, содержит вакуумную камеру 1, внутри которой находится рабочий газ 2. В вакуумной камере 2 на многокоординатном приводе 5 находится лазер 3 с лучом 4. Подложка 6 связана с блоком питания 7.

Способ получения нанообъектов на подложке реализуется следующим образом. Луч 4 лазера 3 направляют на подложку 6, которую заряжают отрицательным потенциалом от блока питания 7. Лучом 4 лазера 3 ионизируют рабочий газ 2 и создают узконаправленный поток ионов рабочего газа 2 в сторону подложки 6.

Применение предложенного способа получения нанообъектов на подложке обеспечивает высокую точность воспроизведения на подложке ввиду узкой направленности потока ионов рабочего газа при работе лазера в импульсном режиме.

Похожие патенты RU2242421C2

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТРУКТУР 2006
  • Микушкин Валерий Михайлович
  • Гордеев Юрий Сергеевич
  • Шнитов Владимир Викторович
  • Нащекин Алексей Викторович
  • Неведомский Владимир Николаевич
RU2319663C1
СПОСОБ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ЗОНДОВ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ 2002
  • Ивашов Е.Н.
  • Степочкин А.А.
RU2241066C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННОГО ЛУЧА 2001
  • Ивашов Е.Н.
  • Львов Б.Г.
  • Степанчиков С.В.
RU2219618C2
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАНОРЕЛЬЕФА ПОДЛОЖКИ 2003
  • Ивашов Евгений Николаевич
  • Степочкин Андрей Андреевич
  • Кузькин Владимир Иванович
RU2280853C2
СИСТЕМА ДЛЯ БЕСПРОВОДНОГО ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ УДАЛЕННЫХ ПОТРЕБИТЕЛЕЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ ПО ЛАЗЕРНОМУ ЛУЧУ 2013
  • Стребков Дмитрий Семенович
  • Звонов Александр Александрович
  • Моисеев Михаил Викторович
RU2548571C2
СПОСОБ СОЗДАНИЯ ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ 2007
  • Горохов Евгений Борисович
  • Володин Владимир Алексеевич
  • Астанкова Ксения Николаевна
  • Щеглов Дмитрий Владимирович
  • Латышев Александр Васильевич
  • Асеев Александр Леонидович
RU2336593C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ 2011
  • Гольдштейн Роберт Вениаминович
  • Козинцев Виктор Михайлович
  • Подлесных Алексей Викторович
  • Попов Александр Леонидович
  • Самохвалов Геннадий Васильевич
  • Солодовников Сергей Иванович
  • Челюбеев Дмитрий Анатольевич
RU2479063C1
СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ПРЕДЫМПУЛЬСНОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ В АКТИВНОЙ СРЕДЕ ЛАЗЕРА НА ПАРАХ ГАЛОГЕНИДА МЕТАЛЛА И АКТИВНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ЛАЗЕРА НА ПАРАХ ГАЛОГЕНИДА МЕТАЛЛА 2002
  • Евтушенко Г.С.
  • Жданеев О.В.
RU2229188C1
СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ 2006
  • Шустин Евгений Германович
  • Исаев Николай Васильевич
  • Федоров Юрий Владимирович
RU2316845C1
ВАКУУМНЫЙ ИСКРОВОЙ РАЗРЯДНИК 2017
  • Давыдов Сергей Геннадьевич
  • Долгов Александр Николаевич
  • Якубов Рустам Халимович
RU2654494C1

Реферат патента 2004 года СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНООБЪЕКТОВ НА ПОДЛОЖКЕ

Использование: в области электроники, для получения нанообъектов на подложке. Техническим результатом изобретения является обеспечение высокой точности воспроизведения нанообъектов на подложке. Сущность изобретения: в способе получения нанообъектов на подложке, включающем ионизацию рабочего газа между зондом и подложкой, в качестве зонда используют луч лазера, которым ионизируют рабочий газ, причем лазер устанавливают на многокоординатном пьезоприводе, а на подложку подают отрицательный потенциал. 1 ил.

Формула изобретения RU 2 242 421 C2

Способ получения нанообъектов на подложке, включающий ионизацию рабочего газа между зондом и подложкой, отличающийся тем, что в качестве зонда используют луч лазера, которым ионизируют рабочий газ, причем лазер устанавливают на многокоординатном пьезоприводе, а на подложку подают отрицательный потенциал.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2004 года RU2242421C2

НЕВОЛИН В.К
Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии
Учебное пособие
- М.: МИЭТ, 2000, с.4-5
СПОСОБ СОЗДАНИЯ НАНОСТРУКТУР 1991
  • Овчинников Борис Михайлович
  • Овчинников Юрий Борисович
RU2007783C1
СПОСОБ ОБРАЗОВАНИЯ КРЕМНИЕВОЙ НАНОСТРУКТУРЫ, РЕШЕТКИ КРЕМНИЕВЫХ КВАНТОВЫХ ПРОВОДКОВ И ОСНОВАННЫХ НА НИХ УСТРОЙСТВ 1999
  • Смирнов В.К.
  • Кибалов Д.С.
RU2173003C2
US 6183817 В1, 06.02.2001
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

RU 2 242 421 C2

Авторы

Ивашов Е.Н.

Самухов И.В.

Даты

2004-12-20Публикация

2002-12-19Подача