Фокусирующе-отклоняющая система для электронных пушек Российский патент 2017 года по МПК H01J37/147 

Описание патента на изобретение RU2614046C1

Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам, а именно к конструкции электронных магнитных линз для фокусировки и отклонения электронного пучка, например, в технологических электронных пушках, применяемых для электронно-лучевой обработки материалов.

Известна система для фокусировки и отклонения электронного пучка в электронных сварочных пушках, содержащая фокусирующую магнитную линзу и расположенную за ней по ходу электронного пучка отклоняющую систему [Патент РФ №2518502, МПК H01J 37/06, Опубликовано: 10.06.2014].

Последовательное расположение фокусирующей линзы и отклоняющей системы увеличивает габариты электронной пушки и тем самым уменьшает рабочий объем вакуумной камеры в установках с внутрикамерным расположением пушки. В результате уменьшаются допустимые размеры обрабатываемого изделия и допустимая область обработки.

Наиболее близкой по технической сущности к изобретению является фокусирующе-отклоняющая система устройства для электронно-лучевой литографии [см. Авторское свидетельство SU №1127023, МПК H01J 37/147, Опубликовано: 30.11.1984], содержащая соосно установленные магнитную фокусирующую линзу с внутренним каналом в виде набора чередующихся магнитных и немагнитных колец, лучепровод и размещенную в канале линзы систему отклонения электронного пучка, при этом, обмотки системы отклонения магнитного типа нанесены по винтовым линиям на участок лучепровода, выполненного из немагнитного материала.

Однако, при такой конструкции системы магнитного отклонения использование магнитного сердечника, увеличивающего индукцию поля, невозможно, так как он исказит или замкнет магнитное поле фокусирующей линзы. Таким образом, отклонение электронного пучка возможно на малые углы (не более 0,2°), что недостаточно для применения в технологических электронных пушках, используемых в обработке материалов (сварка, термическая обработка, перфорация др.), где углы отклонения электронного пучка составляют 5-10°.

Техническое решение изобретения заключается в расширении области применения системы для реализации различных технологических процессов обработки материалов электронным пучком.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является уменьшение габаритных размеров фокусирующе-отклоняющей системы электронной сварочной пушки при сохранении функциональных возможностей по величине угла отклонения электронного пучка.

Это достигается тем, что в фокусирующе-отклоняющей системе для электронных пушек, содержащей магнитную фокусирующую линзу, включающую обмотку и магнитопровод магнитной линзы, который выполнен из корпуса и колец из магнитного материала, установленных с немагнитными промежутками, отклоняющую систему и лучепровод из немагнитного материала, установленные соосно с линзой, согласно изобретению отклоняющая система установлена внутри магнитной линзы и выполнена из тороидальных обмоток, намотанных на кольца из магнитного материала, а кольца из магнитного материала образованы намоткой ленты из магнитомягкого аморфного сплава.

Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведен общий вид фокусирующе-отклоняющей системы; на фиг. 2 показана расчетная схема электронной пушки с многощелевой фокусирующе-отклоняющей системой; на фиг. 3 представлена расчетная схема магнитопровода и обмотки возбуждения многощелевой линзы в компьютерной программе, предназначенной для расчета распределения индукции магнитного поля; на фиг. 4 показано распределение индукции магнитного поля в магнитопроводе линзы; на фиг. 5 показано распределение индукции фокусирующего магнитного поля на оси многощелевой линзы.

Фокусирующе-отклоняющая система для электронных пушек содержит магнитную фокусирующую линзу 1, состоящую из обмотки возбуждения 2, магнитопровода 3, колец 4 из магнитного аморфного сплава из тонкой ленты (не более 50 мкм) с индукцией насыщения не хуже индукции насыщения материала магнитопровода 3 и немагнитных промежутков 5, двухполюсную отклоняющую систему 6 тороидального типа, электронно-оптическую ось пушки 7, лучепровод 8, плоскость 9 кроссовера электронного пучка, плоскость 10 фокусировки электронного пучка.

Фокусирующе-отклоняющая система работает следующим образом.

Электронный пучок, сформированный электронной пушкой и системой формирования, поступает по лучепроводу 8 в фокусирующе-отклоняющую систему вдоль электронно-оптической оси 7. При подаче тока на обмотку возбуждения 2 магнитная фокусирующая линза 1 переносит кроссовер электронного пучка в плоскости 9, расположенного в районе ускоряющего промежутка, в плоскость фокусировки 10 на обрабатываемом объекте. Отклоняющая система тороидального типа 6 при подаче тока в ее обмотки отклоняет электронный пучок в пределах поля обработки в соответствии с заданной программой, при этом центр отклонения расположен в центре магнитной линзы.

Кольца 4 из магнитомягкого материала экранируют магнитное поле внешних по отношению к оси витков обмоток отклоняющей системы и увеличивают величину индукции отклоняющего поля на оси системы, создаваемого внутренними витками обмотки. При этом, чередующиеся кольца из магнитомягкого материала 4 и промежутки 5 создают концентрацию магнитного поля фокусирующей системы на электронно-оптической оси пушки 7, такую конструкцию магнитной линзы принято называть многощелевой.

Расположение двухполюсной отклоняющей системы 6 тороидального типа внутри фокусирующей магнитной линзы 1 позволяет уменьшить размер (высоту) технологической (сварочной) электронной пушки и увеличить расстояние от торца пушки до плоскости обработки l, что позволяет увеличить полезный объем технологической вакуумной камеры и соответственно увеличить габаритные размеры помещаемых внутрь камеры обрабатываемых изделий. Увеличение расстояния от торца пушки до плоскости обработки l позволяет уменьшить разогрев сварочной пушки излучением из области взаимодействия электронного пучка и мишени.

Для уменьшения паразитных токов Фуко, возникающих при работе двухполюсной отклоняющей системы 6 тороидального типа с высокими скоростями развертки пучка, кольца из магнитного материала 4 намотаны из тонкой ленты (не более 50 мкм) из магнитомягкого аморфного сплава с индукцией насыщения не хуже индукции насыщения материала магнитопровода 3. По своим характеристикам кольцевые сердечники из тонкой ленты из аморфного сплава значительно превосходят ферритовые и сохраняют магнитные характеристики в сильных магнитных полях, создаваемых обмотками фокусирующей и отклоняющей систем.

Центр отклонения отклоняющей системы совпадает с центром магнитной линзы, что позволяет отодвинуть плоскость сварки дальше от нижнего торца сварочной пушки.

В ФГБОУ ВО «НИУ «МЭИ» проведен расчет и моделирование фокусирующей многощелевой магнитной линзы согласно расчетной схеме (фиг. 2, 3). Анализ распределения индукции магнитного поля в магнитопроводе линзы (фиг. 4) показывает, что максимальное значение индукции в материале сердечника не превышает 0,153 Тл при допустимой индукции насыщения материала сердечника из аморфного сплава в 1 Тл. Таким образом, сердечник магнитной линзы обеспечивает с большим запасом необходимый режим фокусировки и отклонения электронного пучка.

Изменение геометрии колец 4 из магнитного материала позволяет в широких пределах изменять распределение индукции фокусирующего поля на оси многощелевой линзы (фиг. 5) и тем самым оптимизировать свойства линзы.

Расстояние от кроссовера пучка, расположенного в отверстии анода до нижней плоскости линзы в расчетная схеме сварочной пушки с многощелевой фокусирующе-отклоняющей линзой (фиг. 2), принято L=195 мм, ускоряющее напряжение - 60 кВ.

Проведен расчет положения плоскости фокусировки пучка в пушке и коэффициентов сферической и хроматической аберраций в плоскости фокусировки. Результаты расчета величины рабочего отрезка 1, линейного уменьшения и коэффициентов сферической Ссф и хроматической Схр аберраций приведены в Таблице 1. Расчетные значения диаметра пучка в линейном приближении, диаметров кружков сферической Ссф и хроматической Схр аберраций приведены в Таблице 2. В этих таблицах ω - половина апертурного угла пучка в кроссовере.

Анализ результатов показывает, что диаметры кружков хроматической аберрации пренебрежимо малы по сравнению с диаметром кружка сферической аберрации. Это показывает, что пульсации высокого напряжения мало влияют на увеличение диаметра электронного пучка в плоскости сварки.

Расчетная плотность тока возбуждения линзы I [А/см2] задается при расчете распределения индукции магнитного поля. Возбуждение линзы определяется путем умножения плотности тока на площадь сечения обмотки линзы.

Так, возможности фокусировки позволяют проводить сварку сходящимся электронным пучком. Суммарный диаметр пучка на расстоянии 260 мм от торца пушки равен:

Диаметр пучка на таком расстоянии до плоскости фокусировки существенно меньше, чем в электронной пушке традиционной конструкции.

Использование изобретения в электронных технологических пушках улучшает эксплуатационные характеристики, уменьшает размер (высоту) технологической (сварочной) электронной пушки и увеличивает расстояние от торца пушки до плоскости сварки, что приводит к увеличению полезного объема технологической вакуумной камеры и соответственно увеличивает габаритные размеры обрабатываемых изделий, кроме того, уменьшается разогрев торцевой поверхности пушки излучением из области обработки.

Похожие патенты RU2614046C1

название год авторы номер документа
Фокусирующе-отклоняющая система устройства для электронно-лучевой литографии 1983
  • Васичев Борис Никитович
  • Гайдукова Инна Семеновна
SU1127023A1
ИНЖЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ С ВЫВОДОМ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА В СРЕДУ С ПОВЫШЕННЫМ ДАВЛЕНИЕМ И ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА НА ЕГО ОСНОВЕ 2007
  • Завьялов Михаил Александрович
  • Мартынов Владимир Филиппович
  • Тюрюканов Павел Михайлович
  • Казаков Алексей Иванович
RU2348086C1
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ПУШКА С ПОВЫШЕННЫМ РЕСУРСОМ ЭКСПЛУАТАЦИИ 2018
  • Константинов Виктор Вениаминович
  • Константинов Андрей Викторович
  • Дьяков Валерий Вячеславович
  • Чупятов Николай Николаевич
  • Гусев Сергей Альбертович
  • Павлушин Николай Викторович
  • Иванов Валерий Николаевич
RU2709793C1
Фокусирующе-отклоняющая система 1976
  • Фишкова Татьяна Яковлевна
SU658623A1
МНОГОПОЛЮСНАЯ МАГНИТНАЯ ЛИНЗА 1993
  • Алексеев М.А.
  • Канунников В.Н.
  • Логачев И.И.
  • Шаповалов А.И.
RU2063108C1
МНОГОЛУЧЕВАЯ МИНИАТЮРНАЯ "ПРОЗРАЧНАЯ" ЛАМПА БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ 2007
  • Голеницкий Иван Иванович
  • Духина Наталья Германовна
  • Сазонов Борис Викторович
RU2337425C1
СПОСОБ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ФОКУСИРОВКИ ИОННОГО ПУЧКА В УСКОРИТЕЛЕ ПЛАЗМЫ С АЗИМУТАЛЬНЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ 2010
  • Духопельников Дмитрий Владимирович
  • Марахтанов Михаил Константинович
RU2465749C2
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ПРИБОР 1990
  • Данилов В.Г.
  • Еремина А.Ф.
RU2010385C1
Способ формирования электронных пучков 1976
  • Назаренко Олег Кузьмич
  • Локшин Виктор Ефимович
  • Пацьора Степан Карпович
  • Акопьянц Карп Сергеевич
  • Зубченко Юрий Васильевич
  • Металлов Олег Алексеевич
  • Кулешов Михаил Павлович
  • Гольдфарб Лев Нухимович
SU622183A1
Времяанализирующий электронно-оптический преобразователь изображения 1985
  • Дашевский Борис Ефимович
  • Куликов Юрий Викторович
  • Мечетин Анатолий Матвеевич
  • Монастырский Михаил Анатольевич
  • Щелев Михаил Яковлевич
  • Прохоров Александр Михайлович
SU1272376A1

Иллюстрации к изобретению RU 2 614 046 C1

Реферат патента 2017 года Фокусирующе-отклоняющая система для электронных пушек

Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам. Технический результат - расширение области применения фокусируще-отклоняющей системы для реализации различных технологических процессов обработки материалов электронным пучком. Система содержит магнитную фокусирующую линзу [1], состоящую из обмотки возбуждения [2], магнитопровода [3], колец [4] из магнитного аморфного сплава из тонкой ленты с индукцией насыщения не хуже индукции насыщения материала магнитопровода [3] и немагнитных промежутков [5], двухполюсную отклоняющую систему тороидального типа [6], электронно-оптическую ось пушки [7], лучепровод [8], плоскость [9] кроссовера электронного пучка, плоскость [10] фокусировки электронного пучка. Электронный пучок, сформированный электронной пушкой и системой формирования, поступает по лучепроводу [8] в фокусирующе-отклоняющую систему вдоль электронно-оптической оси [7]. При подаче тока на обмотку возбуждения [2] магнитная фокусирующая линза [1] переносит кроссовер электронного пучка в плоскости [9], расположенного в районе ускоряющего промежутка, в плоскость фокусировки [10] на обрабатываемом объекте. Отклоняющая система [6] тороидального типа при подаче тока в ее обмотки отклоняет электронный пучок в пределах поля обработки в соответствии с заданной программой, при этом центр отклонения расположен в центре магнитной линзы. Кольца [4] из магнитомягкого материала экранируют магнитное поле внешних по отношению к оси витков обмоток отклоняющей системы [6] и увеличивают величину индукции отклоняющего поля на оси системы, создаваемого внутренними витками обмотки. При этом чередующиеся кольца [4] из магнитомягкого материала и промежутки [5] создают концентрацию магнитного поля фокусирующей системы на электронно-оптической оси пушки [7]. 5 ил., 2 табл.

Формула изобретения RU 2 614 046 C1

Фокусирующе-отклоняющая система для электронных пушек, содержащая магнитную фокусирующую линзу, включающую обмотку и магнитопровод магнитной линзы, который выполнен из корпуса и колец из магнитного материала, установленных с немагнитными промежутками, отклоняющую систему и лучепровод из немагнитного материала, установленные соосно с линзой, отличающаяся тем, что отклоняющая система установлена внутри магнитной линзы и выполнена из тороидальных обмоток, намотанных на кольца из магнитного материала, а кольца из магнитного материала образованы намоткой ленты из магнитомягкого аморфного сплава.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2017 года RU2614046C1

Фокусирующе-отклоняющая система устройства для электронно-лучевой литографии 1983
  • Васичев Борис Никитович
  • Гайдукова Инна Семеновна
SU1127023A1
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ПУШКА 2012
  • Могилевский Павел Евгеньевич
RU2518502C1
US 3984687A1, 05.10.1976
EP 2827356A1, 21.01.2015
US 5847399A1, 08.12.1998.

RU 2 614 046 C1

Авторы

Балашов Владимир Николаевич

Слива Андрей Петрович

Драгунов Виктор Карпович

Гончаров Алексей Леонидович

Даты

2017-03-22Публикация

2015-10-27Подача