ГАЗОВАЯ РАЗВЯЗКА Российский патент 2024 года по МПК H05H1/54 F03H1/00 

Изобретение относится к плазменной технике и может использоваться в технологических источниках плазмы, применяемых для ионно-плазменной обработки поверхностей различных материалов в вакууме.

Известен аналог - газоэлектрическая развязка тракта подачи рабочего тела плазменного ускорителя (патент на изобретение, Российская Федерация, RU 2410742 С1, опубл. 27.01.2011 г.).

Газоэлектрическая развязка тракта подачи рабочего тела плазменного ускорителя, содержащая изолятор со спиралеобразным каналом прохода рабочего тела, герметично размещенный в разрыве тракта подачи рабочего тела, где вход и выход спиралеобразного канала на торцевых стенках изолятора выполнены по образующей спиралеобразного канала.

Недостатком данного технического решения является то, что в конструкции газоэлектрической развязки присутствует один канал подачи рабочего тела, что в свою очередь не в полной мере гарантирует отсутствие электрического пробоя.

Известен прототип - высоковольтная газоэлектрическая развязка тракта подачи рабочего тела плазменного ускорителя (варианты), (патент на изобретение, Российская Федерация, RU 2444867 С2, опубл. 10.03.2012 г.).

Высоковольтная газоэлектрическая развязка тракта подачи рабочего тела плазменного ускорителя, содержащая по меньшей мере два изолятора с каналами прохода рабочего тела, размещенные в разрыве тракта подачи рабочего тела и соединенные между собой проставкой, где последующим по потоку рабочего тела размещен изолятор с меньшей площадью поперечного сечения канала для прохода рабочего тела в сравнении с предшествующим.

Недостатком данного технического решения является то, что в конструкции высоковольтной газоэлектрической развязки присутствует соединительная электропроводящая деталь, которая повышает вероятность электрического пробоя, а также увеличивает общие габаритные характеристики устройства.

Техническим результатом изобретения является снижение габаритных размеров устройства и уменьшение вероятности электрического пробоя.

На фиг. 1 изображена газовая развязка.

Газовая развязка состоит из диэлектрической входной пластины 1, в которой выполнено сквозное входное отверстие 2, и диэлектрической выходной пластиной 3, в которых на сторонах сопряжения выполнены проточки, образующие перпендикулярные входному отверстию 2 каналы 4, а в выходной пластине 3 на конце проточек выполнены сквозные отверстия 5.

Газовая развязка работает следующим образом.

Рабочее тело поступает через входное отверстие диаметром D во внутрь газовой развязки, где равномерно распределяется по каналам, после прохождения которых поступает на выход из газовой развязки через выходные отверстия диаметром d, при этом D>>d.

Технический результат изобретения достигается за счет отсутствия электропроводящей соединительной проставки между диэлектрическими пластинами, которые в свою очередь размещаются в непосредственном контакте. Предложенная конструкция, где в пластинах выполнены проточки, образующие перпендикулярные входному отверстию каналы, соединенные с выходными отверстиями, позволяет объединить функции газовой развязки источника плазмы и эффективного газораспределителя в одном устройстве.

Изобретение относится к плазменной технике и может использоваться в технологических источниках плазмы, применяемых для ионно-плазменной обработки поверхностей различных материалов в вакууме. Технический результат - снижение габаритных размеров устройства и уменьшение вероятности электрического пробоя. Газовая развязка содержит диэлектрическую входную пластину с входным отверстием и диэлектрическую выходную пластину с выходным отверстием, соединенные между собой электропроводящей соединительной проставкой. Пластины между собой находятся в непосредственном контакте без электропроводящей соединительной проставки, а в месте контакта на пластинах выполнены проточки, образующие перпендикулярные входному отверстию каналы, соединенные с выходными отверстиями. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

1. Газовая развязка, содержащая диэлектрическую входную пластину с входным отверстием и диэлектрическую выходную пластину с выходным отверстием, соединенные между собой, отличающаяся тем, что в месте контакта на пластинах выполнены проточки, образующие перпендикулярные входному отверстию каналы, соединенные с выходными отверстиями.

2. Газовая развязка по п. 1, отличающаяся тем, что диэлектрические входная и выходная пластины выполнены в виде диэлектрической монолитной детали.