Устройство для измерения перемещений поверхности объекта Советский патент 1983 года по МПК G01B11/16 

Изобретение относится к иэмерешпо деформаций объектов гопографическим метоаом.

Известно устройство для измерений деформаивй поверхности объекта, содержащее последовательно расположенные вдоль оптической оси лазер, затвор, светоделитель, зеркало, расширитель излучения и регистратор С13Недостатком этого устройства является то, что в нем нельзя устанавливать требуемую поляризацию в опорном и объектном пучках из-оа тогх, что в нем отсутствуют поляризационные элементы.

Наиболее близким к изобретению является устройство для измерений перемещений поверхности объекта, содержащее последовательно расположенные вдоль оптической оси лазер, расщирит ль излучения, выполненный в виде оптической системы, светоделитель, первый и второй плоские отражатели, светофильтр, первый поляризационный элемент, третий плоский отражатель, регистратор, второй поляризационный элемент и четвертый плоский отражатель 2.

Недостатком известного устройства является то, что оно не обеспечивает / высокой точности измерения перемеще иий 1юверхности объектов из-за малой чувствительйости, вызванной большой длиной волны используемого излучения.

Цель изобретения - повышение точности .измерений.

Указанная цель достигается тем, что устройство для измерения перемш1ений поверхности объекта, содержащее последовательно расположенные вдоль оптической оси лазер, расширитель излучения, светоделитель, первый и второй плоские отражатели, свето шштр, первый поляризационный элемент, третий плоский отражатель, регистратор, второй поляризацио ный элемент и четвертый плоский отражате)ь, снабжено оптическим диффузором, сферическим отражателем и фокусирую

щей линзой, расположенными последоваятёпьно между регистраторов и поляризационным элементом.

На чертеже изображена схема пред5 лагаемого устройства.

Устройство содержит последовательно расположенные вдоль оптической оси ла зер 1, расширитель 2 излучения, светоделитель 3, первый плоский отражатель

10 4, второй плоский отражатель 5, светофильтр 6, первый поляризационный элемент 7, третий плоский отражатель 8, регистратор 9, оптический диффузор 10, сферический отражатель 11, фокусирующу

15 ливзу 12, второй поляризационный элемент 13 и четвертый плоский отражатель 14. Между сферическим отражателем 11 и фокусирующей линзой 12 помещен исследуемый объект 15.

20 Устройство работает следующим образом..

На регистраторе 9 методом двойной экспозиции регистрируется голографическая интерферограмма исследуемого

25 объекта 15. Для этого на регистраторе

9 ()жксируются две голограммы объекта в двух состояниях - в исходном и де- форм1фованном. При этом повышение чувствительности в предложенном устройстве

30 достигается путем фокусировки объектной волны излучения фокусирующей линзой 12 и последовательным переотражением ее контролируемым объектом 15 и сферическзам отражателем 11 на регистратор 9;

2J При этом пространственное смещение объектной волны, переотраженной исследуемым объектом 15, усиливается при переотражении сферический отражателем 11 и это усиление тем больше, чем

ди больше кривизна поверхности сферического отрг1жатэля 11 .

Изобретение 1юзвол;яет повысить точность определения перемещений поверхностей зеркально отражающих объектов

45 за счет гфименения более совершенной схемы измерения.

УСТРОЙОТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЦ НИЙ повЕрхнсх:ти ОБЪЕКТА, содерясащее посяедователыю расположенные вдоль сштической оси лазер, расширитель {сэлучения, светодел тель, первый и второй плоские отражатели, светофильтр, пе1шый 11оля1жза1шонный элемент, третий плоский отражатель, регистратсф, второй поляризационный элемент и четвертый плоский отражатель, о т л и ч а ю ш е е с я ем, что, с целью Еювышения точюсти взмерений, оню снабжено оптичеокям диффуэорсм, сферическим отражателем и фокусирующей линзой, располкикеннымн 1юследователыю между регистратсфом и BTopiitM поляризационным элементом. О1 о СП