Штатив к микроинтерферометрам и подобным им приборам Советский патент 1956 года по МПК G01J3/02 G01B9/02 

Микроинтерферометры или подобные им приборы выполнялись обычно на штативах типа штативов биологического микроскопа. Выполненные таким образом приборы чувствительны ); внешним вибрациям, требуют сложных механизмов n;ii наводки, не допускают работу с окулярмикрометром т фотографирование. Установка микроинтерферометров иа штатив металл-микроскопа не вполне устраняет эти недостатки, хотя заметно удорожает конструкцию и уменьшает универсальность приборов.

Предлагаемый иггатив устраняет чувствительность прибора к внедшим вибрациям и другие его иедостатки, а так;ке упрощает эксплуатацию прибора. Это достигается тем, что в непосредственной близости от оитической оси объектива устанавливается пята, которая опирается на испытуемую поверхность, совпадающую с илоскостью наилучпюн наводки, чти часто обеспечивает при контакте появление пнтерф01)енционны ; иолос в поле зреНИ5Г. При этом держатель оптической части П1)ибора выполнен в виде длинной иггангп, с соединенной упругим шарниром с иеремещаемыми при помощи кpe aльepы салавками.

На чсртел;е иокааана ком1гон1Шичная схема иредлагаемого 1птатпва.

Чувствительный прибор (микропнтерферометр) (1) в неиосредственной близости от оптпческой оси объектпва имеет пяту (2), которая может быть выполнена в виде сферы, цилиндра, тора и т. д. Опорная поверхность пяты приблизптельпо сор,1 ад;|{:т с .ю наилучше

паводки микроскопа или микроинтерферометра. Благодаря этому в ряде случаев при контакте пяты с испытуемой поверхностью автоматически обеспечивается наводка п в поле зреппя появляются интерф еренционные полосы. Держатель (3) прибора (или сам прибор) выполняется в виде достаточно длинной штапгп, связанной с основанием ииатива пружпнпым шарниром (4). При перемещении держателя (3), например, с помощью кремальеры, пли при перемещении столика (о) возникает контакт опорной пяты (2) с поверхностью образца (6). При этом микронаводка нрибора обеспечивается той же кремальерой (7) благодаря тому, что ее перемещения уменьп аютс 1 на оптпческой оси микропнтерL I

ферометра в отношении , , т. е. -л- а это соотношенне

конструктнвно может о1)Ггь выорано очень оольпшм (50-1000). Между интерферометром и испытуемым образцом на опорной няте возникает контакт с необходимым натягом, обеснечивающим жесткую связь между нпмп, которая практически исключает влияние внешних вибраций, так как величипа оследних ири иередаче со штаттп а па оптическую оп, -.рибора

L умен1,ша1ТС}1 так л; к --, - pa;i.

Предлагаемая компоновка иикроинтерферометров нозволяет так;ке наиболее удачным образом решить вопрос о разраооткс мпкроинтерферометров для отверсП1Й.

Предмет изобретения

Штатив к микроинтерферометрам и нодобным им приборам, отличающийся тем, что, с целью устранения влияния вибраций на резкость изображения рассматриваемого предмета, держатель оитическои части прибора выполнен в виде штанги, соединенной унругим шарниром с иеремеш;асмы5Ш при помощи кремальеры салазками, а измерительная головка снабжена оиориой нятой, расположенной около оси объектива.