Комбинированный вакуумный насос Советский патент 1983 года по МПК H01J41/12 

относится к вакуумно технике, в частности к средствам получения высокого и . сверхвысокого вакуума и может найти применение в производстве электровакуумных при /боров,:в ускорителях элементарных частиц, в технике физического эксперимента в металлургии, .в напылитёльной тахнике. Известен комбинированный вакуумный насос, содержащий герметичный Корпус, испаритель геттера, магнито раэрядную ступень откачки и сорбцио ную поверхность, выполненную в виде двух профилированных 1щлиндров, размещенных вокруг испарителя гетте ра внутри магниторазрядной ступени откачки. Испаритель и известном насосе выполнен в виде прямонакального проволочного устройства 1). Такие насосы имеют недостаточный запас геттера, который к тому же используется всего лишь на 30-40%. Ресурс работы таких насосов не превышает сотен часов. Значительным недостатком является чувствительнос к случайному прорыву атмосферы внут насоса, приводящему к перегоранию , испарителей и отказу в работе. Известен также вакуумный насос, содержащий герметичныйохлаждаемый корпус с размещенным в нем электродуговым испарителем геттера и магни торазрядным блоком. Анодом дугового испарителя являются катоды магниторазрядной ступени откачки, выполнен ные в,виде герметичных охлаждаемых, карманов. Магниторазрядная ступень откачки в известном насосе размещена симметрично вокруг испарителя геттера С 2. В таком насосе испаряемый геттер напыляется на внутреннюю поверхност магниторазрядной ступени, откачки, : В ТОМ числе на ячеистые аноды. Изве но, что при горении дуги с поверхности испарителя -вырываются, нейтрал ные частицы геттера в , брызг, капель, которые попадают в межэлектродные зазоры магниторазряд ной ступени откачки и вызывают короткое замыкание электродов блока и, как правило, отказ в работе. Кр ме того, превышающая требуемую величину скорость испарения геттера с дугового испарителя приводит к тому, что на поверхности ячеистых :анодов магниторазрадной ступени образуется значительной толщины пденка, которая может отслаиваться и также вызывать короткое замыкани электродов. . Следует отметить также, что в и вестном насосе неэффективно исцоль зуется охлаждаемый корпус наСоса в качестве поверхности конденсации пленки геттера, так как он частично экранирован магнитора.зрядной ступенью откачки. Это не позволяет повысить быстроту откачки насоса. Цель изобретения - увеличение скорости откачки и повышение надежности насоса. Указанная цель достигается тем, что в насосе. Содержащем герметичный охлаждаемый корпус с размещенными в нем электродуговым испарителем геттера и магниторазрядным блоком, испаритель геттера выполнен в виде кольца, осесимметрично охватывающего магниторазрядный блок и окруженного защитным экраном. На фиг. 1 изображен предлагаемый насос, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху. Внутри герметичного охлаждаемого корпуса 1 размещены магниторазрядная ступень откачки, состоящая из охлаждаемых карманов 2, соединенных с корпусом, ячеистых анодов 3, плос- ких катодов 4 и геттерного материала, постоянных магнитов 5, испаритель б геттера, поджигающих электрод 7, токопровод 8 и экран 9. Электродуговой испаритель б геттера выполнен кольцеобразным и расположен осесимметрично вокруг магниторазрядной ступени откачки. Устройство работает следующим образом. После предварительной откачки до давления порядка 10 Па с помощью поджигающего электрода 7 обеспечивается возбуждение низковольтного дугового разряда между испарителем б геттера и карманами 2, а также корпуса 1, являющимся анодом дугового испарителя. Одновременно или несколько позже подается высокое напряжение на ячеистые аноды 3 магниторазрядной ступени откачки. Между анодами 3 и катодами 4 зажигается тлеющий высоковольтный разряд в магнитном поле. Распыляемый одновременно с дугового испарителя и с катодом магниторазрядной ступени геттерный материал осаждается на доступных для напыления поверхностях насоса.и поглощает молекулы активных газов путем химосорбдии и адсорбции. Инертные газы, подвергаясь мощной ионизации в зоне высоковольтного разряда, откачиваются путем.ухода из зоны разряда на катоды магниторазрядной ступени откачки или корпус насоса и там замуровываются интенсивно распыляемым геттером. , В предлагаемом насосе образуется мощный поток электродов с испарителя 6, которые попадают в зону высоковольтного разряда магниторазрядной ступени откачки и стимулируют в ней этот разряд. В отличие от известного в предлагаемом насосе испаряемый геттер не может

КОМБИНИРОВАННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий герметичный охлаждаемый корпус с размещёнными в нем электродуговьот испарителем геттера и магниторазрядным блоком, о тличающийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки и повышения его надежности, испаритель геттера выполнен в виде кольца, осесимметрично охватывающего магниторазрядный блок и окруженного защитный экраном. (Л с со 4 О СО со