Комбинированный магниторазрядный насос Советский патент 1980 года по МПК H01J41/12 

1

Изобретение относится к технике получения высокого и сверхвысокого вакуума, в частности к магниторазрядным насосам, и может быть использовано в производстве электровакуумных приборов.

Известен комбинированный магниторазрядный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки, внутрь которой вставлен сублиматор геттерного материала 1,

В известном насосе распыление геттерного материала происходит в результате разогрева до температуры испарения источника геттера, выполненного в виде спирали ,

Известен также комбинированный магниторазрядный насос, содержаний герметичный охлаждаемый корпус, испаритель геттера и магниторазрядную ступень откачки 2 .

В этом насосе сорбционная поверхность выполнена в виде двух профилированных охлаждаемых цилиндров, размещенных вокруг испарителя геттера внутри магниторазрядной ступени откачки. Испаритель представляет собой прямоканальное проволочног устройство.

В описанном насосе недостаточен запас геттерного материала, следовательно, очень ма.пый ресурс работы. Насосы с такими испарителями выходят из строя при случайных прорывах атмосферы, срок службы их мал и сильно зависит от давления, при котором работает насос.

Цель изобретения - повышение эф10фективности откачки насоса, его надежности и ресурса работы.

Указанная цель достигается тем, что испаритель геттера выполнен в виде дугового разрядного устройства.

15 АНОДОМ дугового разрядного устройства являются катоды магниторазрядноЯ ступени откачки, представляющие собой герметичные охлаждаемые карманы. Магниторазрядная ступень разме20щена симметрично вокруг испарителя геттера.

На фиг. 1 изображён насос в разрезе; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Внутри герметичного охлаждаемогю

25 корпуса 1-(фиг. 1, 2) находятся полые катоды 2 из геттерного материала, ячеистые аноды 3, постоянные магниты 4, размещенные в полости герметичных охлаждаеких катодов.Ис30