Устройство возбуждения дугового разряда в вакууме Советский патент 1988 года по МПК C23C14/36 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, а также к технике и физике газового разряда.

Известно устройство возбуждения дугового разряда в вакууме, содержащее катод, поджигающий электрод и привод поджигающего электрода.

Недостатком известного устройства является низкая надежность его работы вследствие залипания поджигающего электрода к катоду

Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство возбуждения дугового разряда в вакууме, содержащее последователыго расположенные катод изолятор подукигающий электрод,

У этого устройства короткий срок службы и невысокая надежность вследствие непостоянства электрического сопротивления пленки, обновляемой в процессе работы на поверхности изолятора, отделяющего катод от поджигающего электрода.

Цель изобретения продление срока службы и повьппение надежности устройства.

Указанная цель достигается тем, что устройство возбулсдения дугового разряда в вакууме, содержащее поагедовательно расположенные катод, изолятор и поджигающий электродз снабжено размещенным мелсду катодом и изолятором прикатодным электродом из немагнитного материалаа

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство для торцового катода; на фиг. 2 - то же дляцилиндрического катода.

Устройство содержит расходуемьп4 катод 1 с испаряемой пове|5хностью 2 ,. поджигающий электрод Sj соединенный с импульсным источником питания 4э изолятор 5, размещенный вне зоны испарения j и прикатодный электрод 6.

Устройство возбуждения дугового разряда работает следующим образом.

При включении источника питания 4 происходит пробой по поверхности изолятора 5 между поджигающим 3 и прикатодным 6 электродами. Образующаяся при пробое плазма инициирует возникновение дугового разряда между катодом и заземленным анодом (на черте ке не показан); катодные пятна которого быстро ( 10 с) перемещаются от прикатодного электрода 6 на испаряемую часть катода 1. За время перемещения катодных пятен до испаряемой поверхности катода поверхность изолятора запьшяется продуктами эрозии прикатодного электрода, при этом сопротивление по поверхности изолятора от поджига к поджигу постоянно по величине и не превышает З-Ю Ом. Опыт эксплуатации устройства с прикатодньпч электродом из стали 12 X 18 И 10 Т показал, что изменение сопротивления пленки в течение всего срока службы не превьшает tl-JO Ом,

Указанное конструктивное выполнение устройства позволяет продлить срок службы и повысить надежность работы за счет стабильности параметров поверхностного сопротивления пленки на изоляторе Указанная стабильность паралчетров достигается также тем,что изолятор размещен вне прямой видимости с испаряющейся поверхности катода т.е. сопротивление пленки определяется только количеством эродируемого материала прикатодного электрода. Кроме того, вьтолнение прикатодного электрода из немагнитного материала обеспечивает свободное прохождение катодных пятен дуги без каких-либо задержек на его поверхности, что также способствует получению стабильных характеристик пленки на изолятор е „

Cpvi.2

1. УСТРОЙСТВО ВОЗБУЛЩЕНИЯ ДУГОВОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ, содержащее последовательно расположенные катод, изолятор и поджигающий электрод, отлича-ющееся тем, что, с целью продления срока службы и повышения надежности работы, оно снабжеHd прикатодным электродом, размещенным между kaтoдoм и изолятором, 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что.прикатодный электрод выполнен из немагнитного материала.. сриг.