УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1995 года по МПК C23C14/34 

Изобретение относится к области вакуумного напыления и может быть использовано при создании технологического оборудования для производства изделий электронной техники, радиотехники, приборостроения, в частности установок вакуумного напыления с использованием дугового разряда.

Известен плазменный ускоритель для получения покрытий в вакууме, содержащий разрядный электрод, эродирующий электрод, электромагнитную катушку и узел поджига, состоящий из покрытого инициирующей пленкой изолятора, закрепленного между эродирующим электродом и поджигающим электродом. Эродирующий и поджигающий электроды имеют электрический контакт с инициирующей пленкой.

Недостатком этого ускорителя является непосредственный контакт изолятора и эродирующего электрода, поэтому изолятор находится в зоне интенсивного тепловыделения. Край изолятора, примыкающий к эродирующему электроду, быстро разрушается. Это загрязняет плазменный поток напыляемого материала продуктами эрозии изолятора, что в ряде случаев приводит к получению покрытий неудовлетворительного качества и снижает тем самым область применения плазменных ускорителей. Кроме того, заметная эрозия изолятора ограничивает срок службы ускорителя и снижает надежность его работы.

Из известных технических решений наиболее близким по технической сущности является устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее анод, катод и поджигающий электрод, выполненный с возможностью взаимодействия его рабочей поверхности с катодом.

Недостатком известного устройства является низкая надежность работы.

Цель изобретения повышение надежности работы достигается благодаря тому, что в устройстве для нанесения покрытий в вакууме, содержащем анод, катод и поджигающий электрод, выполненный с возможностью взаимодействия его рабочей поверхности с катодом, рабочая часть поджигающего электрода выполнена из диэлектрика, покрытого проводящей пленкой.

На чертеже представлен общий вид устройства.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме содержит анод 1, катод 2, электромагнитную катушку 3 и узел поджига 4. Узел поджига 4 состоит из подвижного поджигающего электрода 5, соединенного с рычажной системой поворота 6 для взаимодействия его рабочей поверхности с катодом 2. Рабочая часть поджигающего электрода 5 выполнена из диэлектрика, покрытого проводящей пленкой.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме работает следующим образом.

Поджигающий электрод 5 подводят к поверхности катода 2 с помощью системы поворота 6. Импульс тока между анодом 1 и поджигающим электродом 5 испаряет проводящую пленку и создает первоначальный сгусток плазмы. Этот сгусток плазмы формирует проводящий канал между катодом 2 и анодом 1, по которому развивается основной дуговой разряд. Затем, в результате электродугового испарения катода 2, формирующего действия анода 1 и фокусирующего действия электромагнитной катушки 3, генерируется плазменный поток напыляемого материала.

Испытание устройства для нанесения покрытий в вакууме показало практически безотказную его работу, что позволяет значительно повысить производительность процесса нанесения тонких пленок и покрытий в вакууме.

Предлагаемое устройство может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании, предназначенном для нанесения покрытий, как надежный элемент автоматизированных установок.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее анод, катод и поджигающий электрод, выполненный с возможностью взаимодействия его рабочей поверхности с катодом, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, рабочая часть поджигающего электрода выполнена из диэлектрика, покрытого проводящей пленкой.