Устройство для регистрации энергетических спектров заряженных частиц Советский патент 1983 года по МПК H01J49/44 

Описание патента на изобретение SU1055796A1

сл ел vl

со

О5

Похожие патенты SU1055796A1

название год авторы номер документа
УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА ГАЗОВОЙ СМЕСИ 2004
  • Курнаев Валерий Александрович
  • Гриднева Елена Алексеевна
RU2272334C1
Энергетический анализатор заряженных частиц 1988
  • Ашимбаева Багила Умарбаевна
  • Горелик Виктор Абрамович
  • Жуков Андрей Константинович
  • Зашквара Владимир Васильевич
  • Зверева Татьяна Ивановна
  • Трубицин Андрей Афанасьевич
SU1597968A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ИОННОГО ПОТОКА ПЛАЗМЫ, СОЗДАВАЕМОЙ ИМПУЛЬСНЫМ ИСТОЧНИКОМ, В ЧАСТНОСТИ COЛАЗЕРОМ 2017
  • Сатов Юрий Алексеевич
  • Шумшуров Александр Викторович
  • Лосев Антон Андреевич
  • Васильев Андрей Алексеевич
RU2649914C1
Способ анализа поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий 1983
  • Амелина Елена Анатольевна
  • Аристархова Алевтина Анатольевна
  • Волков Степан Степанович
  • Гутенко Виктор Тарасович
SU1205208A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО СПЕКТРА ИОНОВ ПЛАЗМЫ 2020
  • Сатов Юрий Алексеевич
RU2726954C1
Спектрометр обратно рассеянных ионов низких энергий 1984
  • Аристархова Алевтина Анатольевна
  • Волков Степан Степанович
  • Толстогузов Александр Борисович
SU1215144A1
Детектор ионов 1989
  • Коненков Николай Витальевич
  • Кратенко Владимир Иванович
  • Могильченко Георгий Алексеевич
  • Черняк Евгений Яковлевич
  • Коновалов Василий Александрович
SU1644255A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЗАРЯДОВОГО СОСТОЯНИЯ АТОМОВ В СУБНАНОСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ 2012
  • Волков Степан Степанович
  • Аристархова Алевтина Анатольевна
  • Гололобов Геннадий Петрович
  • Китаева Татьяна Ивановна
  • Николин Сергей Васильевич
  • Суворов Дмитрий Владимирович
  • Тимашев Михаил Юрьевич
RU2509299C1
Устройство для регистрации энергетических спектров электронов 1973
  • Сорокин Олег Михайлович
SU475686A1
Способ анализа ионов по энергиям, массам и зарядам и устройство для его осуществления 2019
  • Строкин Николай Александрович
  • Нгуен Тхе Тханг
  • Казанцев Александр Владимирович
  • Бардаков Владимир Михайлович
RU2708637C1

Иллюстрации к изобретению SU 1 055 796 A1

Реферат патента 1983 года Устройство для регистрации энергетических спектров заряженных частиц

УСТРОЙСТВО ДПЯ РЕГИСТРАЦИИ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ СПЕКТРОВ ЗАЖЕННЫХ ЧАСТИЦ -, включающее дисперсионный энергетический анализатору вторично-электронный умнолмтель, расположенньтй на входе энергетического анализатора, систему регистрации, подключенную к вторично-электронному умножителю, и источник линейно-изменяющегося напряжения, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности регистрации заряженных частиц во всем диапазоне их энергий, устройство снабжено источником постоянного напрялсения и делителем напряже.ния , вход которого подключен к выходу источника линейно-изменяющегося напряжения, а выход подключен к энергетическому анализатору, -при этом источник постоянного напряжения подключен между выходом источника лиi нейно-изменяющегося напряжения и входом вторичного электронного умно(Л жителя . .

Формула изобретения SU 1 055 796 A1

1/е. / 1 Изобретение относится к устройет вам для регистрации энергети геских спектров заряженньгх частиц и может быть использовано, например, в ожеэлектронной спектроскопии или спект роскопии ионного рассеяния при исследовании поверхностного слоя вещества в устройствах, содержащих ди рерсионный энергетический анализатор. Известно устройство,в котором с хода энергетического анализатора заряженные частицы попадают па вход вторично-электронного умножителя (ВЭУ) , выход которого подключен к системе регистрации J. Недостатком устройства является зависимость амплитуды выходного си нала от энергии заряжешшх частиц. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для регистрации энергети ческих спектров заряхсенных частиц, включающее дисперсионный энергетиче ский анализатор , вторично-электрон ный умножитель,расположенный на выходе энергетического анализатора, систему регистрации, подключенную к вторично-электронному умножителю, и .источник линейно-изменяющегосяна ряженияС2 , . Недостаток известного устройства заключается в следующем: на вход ВЭУ поступают заряженные частицы с разны ми энергиями, коэффициент у иления ВЭУ является нелинейной функцией их энергии, выходной сигнал зависит от энергии попадающих на вход ВЭУ заряженных частиц, что может привести к потере информации о частицах с малой энергией. Целью изобретения является повышение эффективности регистрации заряженных частиц во всем диапазоне их энергий. Цель достигается тем, что устройство для регистрации энергетических спектров заряженных частиц, содерх ащее дисперсионный энергетический анализатор, вторично-электронный умножитель, расположенный на выходе энергетического анализатора, сист му регистрации, подключенную к втори но-электронному умножителю, и источник линейно-изменяющегося напряжения, дополнительно снабжепо источником -постоянного напряжения и делителем напряжения, вход которого подключен к выходу источника линейно96изменяющегося напряжения, а выход подключен к энергетическому анализатору , при этом источник постоянного напряжения подключен между выходом источника линейно-изменяющегося напряжения и входом вторичного электронного умнохоителя. На фиг. I представлена функциональная схема устройства; на фиг.2 выходной сигнал устройства при иссле.до;ании пленки FeN i Устройство включает ди.сперсионный энергетический анализатор 1, вторично-электронный умножитель (ВЭУ) 2, расположенный на выходе энергетического ан шизатора,источ1шк 3 питания ВЭУ, нагрузочное сопротивление 4, разделитбшькый конденсатор 5, за)л;ищаюшйй систему 6 регистрации по постоянной составляющей , источник 7, линейно-изменяющегося нзпряжени - , сетку 8, расположенную между выходной диафрагмой анализатора и входом ВЭУ и гальванически соединенную с выходной диафрагмой анализатора , делитель 9 напряжения с коэффициентом деления Кд, равным коэффициенту анализатора ,e Upa, , где Upcf36 напряжение па отклоняющем электроде анализатора; кинетическая энергия регистрируемых частиц, е - ааряд электрона, источник 10 постоянного напряжения. Вход делителя 9 напряжения подсоединен к выходу источника 7 линейно-изменяющегося напряжения, а выход - к анализатору 1. Выходные клеммь: источ1Ж ка 10 постоянного напряжения подю1ючены к выходу источника 7 линейно-изменяющего напряжения и входу ВЭУ 2, а полярность.клеммы, родсоединенной .к входу ВЭУ 2 противоположна знак-у заряда регистриру.е-мых частиц. Сетка 8 предназначена для экранировки выходной диафрагмы анализатора от изменяющегося электрического поля, создаваемого источни.- ками 10 и 7,./что предотвращает влияние электрического поля на разрешение анализатора. В предлагаемом устройстве может ыть использован любой энергетичесий анализатор дисперсионного типа, епарация заряженных частиц в котоом производится линейно-изменяюимся напряжением одноименной полярости с регистри руемыми частицами, то обычно имеет место в реальных онструкциях (анализаторы типа цилинд-- г ического и сферического дефлекторов. плоское и цилиндрическое зеркалах, Коэффициент таких анализаторов определяется их геометрией и составляе . При подаче симметричного линейноизменяющегося напряжения (положител ного и отрицательного) на оба электрода анализатора включение делителя 9 и источника 10 постоянного -напряже ния предполагается в цепь электрода анализатора, на который подается ли нейно-изменяющееся напряжение с полярностью, соответствующей полярности заряженных частиц. Устройство работает следующим образом. Из потока заряженных частиц с раз личными энергиями , поступающих на вход анализатора 1, через выходную диафрагму вьшетают частицы только с определенной энергией, которые попадают на вход ВЭУ 2, возбуждают элект рический сигнал, который с сопротин ления 4 снимается на систему 6 регис 7 линейно-изменярации. С источника шщееся напряжеже . подается -через делитель 9 на анализатор I, что приводит к изменению энергии частиц, пр ходящих через анализатор. Таким образом, за период развертки линейно изменяющегося напряжения на вход ВЭУ 2 поступают заряженнЬте частицы во всем диапазоне энергий. Энергия заряженных частиц на входе ВЭУ 2 Т будет оцределяться кинетической энер гией частиц на выходе анализатора лн ( ВД q - заряд час тицы,,и потенциалом на входе ВЭУ 2 Ъх о I Д® напряжение на входе ВЭУ 2; Ug - напряжение на вы (ходе Источника 10, т.е. Евх разб АТ -( Кд pc(г&-iГ o раъъ при равенстве коэффициентов делит ля и анализатора Кд У. const для любых значений энергий частиц Е(„. Следовательно, предла1гаемое устройство обеспечивает посто янную энергию частиц на входе ВЭУ, а соответственно, и постоянную эффективность счета регистрации) заря. женных частиц, имеющих разную чёскую энергию на выходе анализатора Причем , если , происходит ус корение частиц до энергии от qUjj; если о происходит их то можение до Е qUt). Величина U выбирается, исходя из характеристик ВЭУ и сорта заряженных частиц, такой, чтобы обеспечить мак симальную эффективность регистрации поступающих частиц и минимальный фон. Для используемых ВЭУ-6 величина и выбирается в пределах 1-4 кВ. Дпя опробования предлагаемого устройства берут тест-образец в виде пленки FeNii, который подвергают электронной бомбардировке. Поток вторичных электронов, возбужденных при этом, регистрируют при помощи пред- . лагаемого и известного устройств. Регистрируют энергетические спектры вторичных электронов, характеризующие элементный состав тест-образца, в известном и предлагаемом устройствах, В устройстве в качествеанализатора 1 использ тот анализатор цилиндрическое зеркало -с коэффициентом Kj.jj-0,61 с вторичным электронным умножителем ВЭУ-б. Делитель напряжения 9 состоит из двух сопротивлешш R 610 кОм и R 390 кОм, обеспе-сшвающих коэффициент-деления R) - 0,61. Кд KC, R,/ (R.-b .Напряжение на выходе источника постоянного напряжения составляет 1 кВ, поэтому все электроны после выхода из анализатора приобретают энергию 1 кэВ, т.е. если условия эксперимента идентичны(исследуется один и тот же тест-образец), то азличия в спектрах обуславливаются различиями известного и предлагаемого устройств. Из сравнетия спектров электронов, возбужденных с поверхнос ти исследуемого образца, видно, что при использовании предлагаемого устройства относительная величина амплитуд пиков в низкоанергетичес.кой области возрастает. Если , например, амплитуда пика, обусловленная электронами с энергией 848 ЭВ (правый крайний пик) ,практически не изменяется, так как эти электроны / оускоряются всего на 151 эВ; Vo ямплитуда пика с энергией 61 эВ (левый крайний пик) существенно возрастает, так как электроны ускоряются дополнительно на 939-эВ. . Наблюдается также увеличение пика углерода и появление нового пика с энергией 102 эБ, обусловленного ожеэлектронами из атомов.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1983 года SU1055796A1

Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Способ одновременного получения алкилфосфитов и триалкилфосфатов 1976
  • Ханс-Альберт Леманн
  • Херберт Шадов
  • Херфрид Рихтер
  • Рольф Курце
  • Манфред Ортель
SU715584A1
Пишущая машина 1922
  • Блок-Блох Г.К.
SU37A1
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1

SU 1 055 796 A1

Авторы

Волков Степан Степанович

Гутенко Виктор Тарасович

Полонский Борис Александрович

Протопопов Олег Дмитриевич

Шанин Станислав Васильевич

Даты

1983-11-23Публикация

1982-05-03Подача