Раствор для химического меднения диэлектриков Советский патент 1983 года по МПК C23C3/02 

Изобретение относится к химическому осаждению металлических, в частности медных покрытий на диэлектрики. Известен раствор для химического меднения диэлектриков, содержащий сернокислую медь, хлористый никель, сегнетову соль, едкий натр углекислый натрий, формсшин и тиамин в качестве стабилизатора 1. Известный раствор недостаточно стабилен, что не позволяет использовать егов полуавтоматических линиях химико-гальванического нане сения покрытий. . Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигае мому резуль та ту является раствор для химического меднения диэлектриков , содержащий сернокислую медь сегнетову соль, едкий натр, фор-малин и диэтилдитиокарбамат натрия в качестве стабилизатора Однако этот раствор также не обладает достаточной стабильностью Целью изобретения явлйёtGя повьшёние стабильности раствора для химического меднения диэлектриков. Поставленная цель достигается тем, что раствор для химического меднения диэлектриков содеркащий сернокислую медь, сегнетову соль, едкий натр, формалин и диэтилдитио карбамат натрия, дополнительно ссд дит тиокарбамидсодержащий диоксими кобальта (III) состава CGOtOxim} ТЫ о{1 X, где О ,(4 m - депротонированный диок , син; ThtO - координированная моле, кула тиокарба в1да; X - кислотный остаток, при следующем соотисшений компонен тов, г/лг Мед сернокислая Сегнетова сОль 40-200 Едкий натр15-75 Диэтилдитиокарбамат натрия .-0,05-0,1 Тиокарбамидсодер- , жащий диоксимин кобальта (III) ССо( )7 ТЫ ,001-0,05 Формалин (40%-ный раствор)15-25 Раствор готовят следующим обра зом. Приготовленный отдельно раствор сернокислой меди вводят при перемешивании в раствор сегнетовой соли . с едким натром, после чего раствор фильтруют и добавляют в него формалин и растворы стабилизаторы. Растворы стабилизаторов готовят путем растворения 1 г диэтилдитиокарбамата натрия в 100 мл водщ и 1 г тиокарбамидсодержащего диоксимина кобальта (ill) в 100 мл воды. Совместное присутствие в растворе двух стабилизирующих добавок позволяет значительно повысить его стабильность по сравнению с раздельным использованит ем каждой из стабилизирующих добаВОК. :..., . В качестве дополнительно вводимой в раствор стабилизирующей добавки тиокарбамидсодержащего диоксимина кобальта (III) могут быть использованы, например, нитрат бис(диметилглиоксимато) дитиокарбамид кобальта (III), хлорид бис(метилглиоксимато)литиокарбаи1д кобальта (Iii),. нитрат бис метилпропилглиоксимато)дитиокарбамид кобгшьта (ill). Использование предлагаемого раствора может быть проиллюстрировано примерами, представленными:в таблице. Диэлектрики после активации и про мывки обраба.тывают в растворах ука- занного в таблице состава при 20-80с, плотности загрузки 2 я покачивании изделий. Как видно из данных таблицы, осадки меди, получаекие из предлагаемого раствора, плотные, свётлОрозовые, имеют мелкокристаллическую структуру. Представленные в примерах конкретные диоксимины, вводимые в раствор, оказывают идентичное влияние на стабильность раствора, которая повылается до 12 мес. по сравнению с прототипом (пример 9), а также по сравнению с раздельным введением в раствор применяемых стабилизирующих добавок, (примеры 7 и 8). Применяемае в качестве стабилизаторов диоксимины стойки при хранении ив процессе эксплуатации рартвора их необходимо добавлять раз .в сутки в количестве от 0,25 до 0,5 от их исходной концентрации. Диэтилдитиокарба0,05 0,05 0,05 0, мат натрия Нитрат бйс(диметилглиоксимато)дитиокарбамид кобальта (III).0,02 0,02 0,02 Хлорид бис(метилглиоксимато)дитиокарбамид кобальта (in) Нитрат бис(метилпропилглиоксимато) дитиокарбамид кобальта (in) . . 35 . 20 50 Температура, С СкО1юсть осажде кия, мкм/ч 9-11 6-7 3-4 9-1 ,05 - 0,001-0,01 7 7-8

РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО МЕДНЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКОВ, содержащий сернокислую медь, сегметову соль, едкий натр, формалин и диэтилдитиокарбамат натрия, отличающийся TeMj что, с целью повымения стабильности раствора, он дополнительно содержит тиокарбгшидсодержащий диоксимин/кобальта (ill) состава. tCo(Oxi«1,ThiOilx, где О, - депротонированный диоксину hi Oj - координированная молекула тиокарбамида7 X - кислотный остаток, при следующем соотношении компоненTOfB, г/л; 10-60 Медь сернокислая Сегнетова соль .40-200 Едкий натр 15-75 Диэ тилдитио0,05-0,1 карбамат натрия Тиокарбамидбодержащий диоксимин кобальта (ill) Со