Устройство ввода движения в герметизированную камеру Советский патент 1983 года по МПК H01J9/48 

Изобретение относится к приборостроению, например ic э ектровакуумнок промыиигениости, и может быть использовано л-пя иергдачи движения в герметизированную камеру. Известно устройство ввода дви;|;ения в герметизированную камеру, сод жащее органы перемещения в виде тру бок Бурдона, в полость которых пода ется сжатый воздух 1 . Недостатками известного устройст являются сложность конструкции и его эксплуатации,значительные габариты, неавтономность при использова нии промышленной сети сжатого возду ха, имеющей ограниченное давление (0,4-0,5 МПа). Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство ввода движения в гермет1-гзированную камеру, содержащее орган перемещения в виде заполненного газ образным рабочим веще-.ством и сообщенного с приводом упругого трубчато го криволинейного элемента, гермети но соединенного со стенкой камерыC2 Известное устройство не обла,цает достаточной надежностью, характери.зуется невысокой точностью движения при позиционировании перемещаемого объекта.и сложностью конструкции при его автоматизации и управлении для передачи движения по заданному закону, что обусловливает необходимость применения электромагнитных и автоматических дросселирукщих устpoiicTB . Цель ихобретепия - пoвьшJeниe надежности при одновременном упрощении конструкции. С этой целью в устройстве ввода движения в герметизированную камер содержащем орган перемещения в виде заполненного газообразным рабочим веществом и сообщенного с приводом упругого трубчатого криволинейного элемента,- герметично соединенного со стенкой камеры, полость упругого трубчатого элемента дополнительно заполнена жидкой или твердой фазой рабочего вещества и выполнена герме тичной, а привод выполнен в виде источника тепла. Упругий трубчатый элемент снабже сообщенным с ним сосудом, располо :енным вне герметизированной камеры а источник тепла расположен с внешней стороны сосуда. Источник теплл может быть paar-ieщен в полости ynpyi oro трубчатого элемента. Предлагаемое выполнение устройства позволяет получать плавное в широ ких пределах регулированное давление в полости упругого трубчатого криволинейного элемента с большой точностью, равной точности регулирования температуры нагревателя. На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство ввода движения в герметизированную камеру с источником тепла, расположенным вне сосуда; на фиг. 2 - устройство ввода движения с источником тепла, размещенным в полости трубчатого элемента; на фиг, 3 - сечение А-А на фиг. 2. стройство ввода движения содержит трубчатый криволинейный элемент 1 с некруглой формой поперечного сечения, герметично соединенный со стенкой 2 камерк, полость 3 которого соединена с сосудом 4 И заполнена жидкой или твердой фазой рабочего вещества 5. В качестве рабочего вещества используются легкокипящие жидкости (спирт, вода, диэтиловый эфир) или легкоплавкие вещества. На внешней стороне сосуда 4 расположен источник тепла, например нагреватель, доединенный с источником 7 электропитания. Источник б тепла может быть размещен в полости упругого трубчатого элемента 3. Устройство работает следугацим обра 3 ом. Для ввода движения в герметизированный объем к нагревателю б подводится электроэнергия. Нагреватель и рабочее вещество 5 изменяют свой объем при фазовом переходе, что в большинстве случаев, увеличивает давление в полости 3 упругого трубчатого элемента 1, заставляя перемещаться его свободный конец, который соединен с различными исполнительными органами. Для увеличения передаваемых усилий и перемещений повышают температуру нагрева рабочего вещества, получая необходимое давление в полости 3 упругого трубчатого элемента 1. Из.обретение позволит повысить надежность работы и увеличить точность позиционирования до 0,010,005 мм при одновременном упродении конструкции и увеличит перемещения и усилия в 5-10 раз.

1. УСТРОЙСТВО ВВОДА ДВИЖЕНИЯ В ГЕРМЕТИЗИРОВАННУЮ КАМЕРУ, содержащее орган перемещения в виде заполненного газообразным рабочим веществом и сообщенного с приводом упругого трубчатого криволинейного элемента, герметично соединенного со стенкой камеры, отличающееся тем, что, с целью повьпиения надежности при одновременном упрощении конструкции, полость упругого трубчатого элемента дополнительно заполнена жидкой или твердой фазой рабочего вещества и выполнена герметичной, а привод выполнен в виде источника тепла. 2.Устройство по п. 1, о т л ичающеес я тем, что упругий трубчатый элемент снабжен сообщенным с ним сосудом, расположенным вне герметизированной камеры, а источник тепла расположен с внешней стороны сосуда. ю 3.Устройство по п. 2, о т л н(Л чающеес я Тем, что источник тепла размещен в полости упругого трубчатого элемента. о: ю 00