Полупроводниковый преобразователь давления Советский патент 1984 года по МПК C01G9/06 

Изобретение относянтся к приборостроению и предназначено для измерения давления жидких и газообразных сред. Известны преобразователи давления, содержащие корпус, с закрепленной в нем полупроводниковой мембраной с тензорезисторами 1. Действие известных преобразовате лей давления основано на преобразовании давления, приложенного к мембране, в изменение сопротивления тензорезисторов, Недостатком такой конструкции является значительная температурная погрешность вследствие различия тем пературных коэффициентов линейного расширения материалов мембраны и ко пуса. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является преобразователь давления, в который с целью повыиения точности преобразова ния давления путем уменьшения температурной погрешности,связанной с за- делкой полупроводниковой мембраны в корпус, введен по крайней мере один промежуточный опорный элемент, который закреплен на торце цилиндрического корпуса, и на котором, в свою очередь, герметично закреплена мембрана с тенэсрезисторами 2. Недостатком такого преобразователя давления является ниькая надежность соединения опорного элемента с торцом трубчатого корпуса. Целью изобретения является повышение надежности преобразователя .давления. Поставленная цель достигается тем что в полупроводниковом преобразователе давления, содержащем цилиндрический трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, выполненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, опорный элемент выполнен в виде отрезка цилиндрической трубки, который наружной поверхностью прикреплен к внутренней поверхности корпуса, а 1 юмбрана закреплена на торце отрезка трубки. На чертеже изображена предложенная конструкция преобразователя давления с двухтрубчатым опорным .элементом. Преобразователь давления содержит трубчатый корпус 1, опорный элемент, выполненный из двух отрезков трубок 2 и 3, и кремниевую мембрану 4 с тензорезисторами 5. Трубки 2 и 3 своими наружными поверхностями прикреплены к внутренним поверхностям трубки 3 и корпуса 1,. соответственно. Мембрана 4 по периметру герметично закреплена на торце трубки 2. Трубки 2 и 3 опорного элемента выполнены из стекла типа Пирекс и из стекла типа С48-1 соответственно. Для уменьшения температурной погрешности подобраны температурные коэффициенты линейного расширения материалов трубок 2 и 3 и корпуса 1. При подаче измеряемого давления в корпус 1 преобразователя мембрана 4 деформируется, вследствие чего тензорезисторы изменяют свои сопротивления. Закрепление трубчатого опорного, элемента на внутренней поверхности корпуса обеспечивает повышение надежности их соединения друг с другом.

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий цилиндрический трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, выполненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, о т ли ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения надежности, в нем опорный элемент выполнен в виде по крайней мере одного отрезка цилиндрической трубки, который наружной поверхностью прикреплен к внутренней поверх;ности корпуса, а мембрана закреплена на торце отрезка трубки. О) сх 00 СХ) 00