Устройство для создания ультрафиолетового излучения Советский патент 1984 года по МПК H01J61/56 

Фиг.Г 11 KjOpt TiiiH относится к газоразрядизлучсния низкого давления , исгочнилал может быть 1ь использовано в спектроскоiiiiii и фитохимии. Известны газоразрядные источники ультра1|1иолетового (УФ) излучения с горячим Катодом и холодным катодом. В этих источниках УФ-из;|ученис генерируется в газ()1)азрядиой илазме (в среде инертного газа) в отчаянной колбе и выходит наружу через окно. из1отовленное из нрозрачного для излучения материала. При попадании продуктов расиы.чения электродов на окно его П1)озрачность со временем ухуд1пается, что нриводит к изменению интенсивности выходного УФ-из;1учения . Наиболее близким к изобретению по технической супшости является устройство для создания ультрафиолетового излучения, содержан1ее колбу с выходным окном из оптически прозрачного материала, гермегично установленные внутри нее полый катод, экран и анод, и кольцевой вспомогател1 ньп1 электрод, расположенный перед окном и подключенный к источнику питания, унравление которого осуществляется оптической обратной связью 4. В связи с тем. что вспомогательный электрод распо.южен вне колбы, эффективность этой очистки мала, светопропускайие в процесе работы восстанав/швается не полностью, что ухудп1ает етабпльность выхода ультрафполегово го излучения. Цел1)1о изобрете1пт является стабилизация ипгенсивности выходного ультрафиолетового излучения в процессе работы лампы. Для достижения указанной цели в устройет е для создания ультрафиолетового излучеиия, содержаи1ем колбу с выходным окном из оптически нрозрачного материала, герметично установленные внутри нее полый катод, экран и анод и кольцевой вспомогательный электрод, расположенный перед окном, нодключенный к источнику нитания, управление которого осуществляется оптической обратной связью, вспомогательный электрод, вынолнен в виде сетки и расположен внутри колбы, а в качестве источника нитания использован В1лсоковольтный источник постоянного напряжения. В устройстве для создания УФ-излучепия сетка вспомо1ательного электрода изготовлена из материала с низким коэффипие1ггом расныленпя. На фиг. 1 изображено устройство для создания УФ-излучения, общий вид; на фиг. 2 - вспомогательный электрод. Устройство для создания УФ-излучения включает в себя стеклянную колбу 1 (фиг. 1), полый катод 2, анод 3, экран 4, вспомогательный электрод 5, выходное окно из оптически нрозрачного материала 6. В схему управления питанием вспомогательного электрода входят нлаетинка 7, блок 8 управления и высоковольтный источник 9 постоянного напряжения. Вспомогательный электрод (фиг. 2), состоит из кольца и закрепленной на нем сетки, изготовленной из материала с низким коэффициентом распылён ия. Колба 1 заполнена инертным газом, находящимся при давлении 10 -КГ мм рт. ст. (13,3-1,3 Па). Зажигание тлеющего разряда между полым катодом 2 и анодом 3 приводит к образованию плазмы. Возникающее здесь излучение через окно 6 выходит за пределы колбы и направляется на объект (па фиг. 1 показано пунктиром). На пути излучения установлена пластинка 7, отклоняющая часть лучей в блок 8, где происходит сравнение его интенсивности с требуемым предельным уровнем. В процессе работы устройства окно б покрывается тонкой пленкой продуктов распыления электродов, поглощающей УФ-излучение, что приводит к умепьщению интенсивности прощедщего через окно излучения. При достижении предельного уровня излучения блок 8 включает высоковольтный источник 9 постоянного Напряжения, подающий отрицательный потенциал (2-5 кВ), соответствующий максимальной скорости распыления загрязнения, на вспомогательный электрод. При этом положительные ионы, находящиеся в объеме колбы, ускоряются в направлении вспомогательного электрода, по инерции пролетают его и производят распыление тонкой пленки, загрязняющей окно. Вследствие этого интенсивность УФ-излучения, прощедщего через окно, возрастает. Блок 8 это фиксирует и отключает высоковольтный источник постоянного напряжения. Таким образом, наличие вспомогательного сеточного электрода позволяет проводить очистку окна в процессе эксплуатации лампы, что стабилизирует интенсивность выходного УФ-излучения. Уровень стабильности УФ-излучения предлагаемого уетройства для создания уль.трафиолетового излучения увеличивается в ереднем в три-четыре раза.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, содержащее колбу с выходным окном из оптически прозрачного материала, герметично установленные внутри нее иолый катод, экран и анод, и кольцевой вспомогательный электрод, расположенный перед окном и подключенный к источнику питания, управление которого осуществляется оптической обратной связью, отличающееся те.м, что, с целью стабилизации интенсивности выходного ультрафиолетового излучения в процессе работы лампы, вспомогательный электрод выполнен в виде сетки и расположеп внутр колбы, а в качестве источника питания 11СГ1о:1ьзован высоковольтный источник постоянного папряжепия. 2. Устройство но п. 1, отличающееся тем, что сетка вспомогательного электрода изготовлена из материала с низким коэффициентом распыления. (Л Г v-Cs: чNS J 7 /