Конденсатор с электростатическим возбуждением Советский патент 1984 года по МПК H01G4/224 

Изобретение относится электроизмерительной технике и касается конструкции изготовления конденсатора с электростатическим возбужде нием, который может быть использован в электрометрических усилителя для преобразования слабых и сверхслабых сигналов постоянного тока в переменные и в приборах для изме рения электростатических полей. В конструкции конденсатора с электростатическим возбуждением электроды, нанесенные на рабочие поверхности изоляторов и мембран, помещены в вакуумированный баллон, изготовленный из стёкла или металл Баллон имеет откачное отверстие, к которому приваривается штенгель для вакуумирования и последующей герметизации ij.. Использование металлического бал лона приводит к увеличению паразитных емкостей и, следовательно, к .снижению эффективного коэффициента преобразования и уменьшению чувствительности. Кроме того, конструкци таких конденсаторов содержат вспомо гательные элементы, такие как токовводы, дополнительные изоляторы и э элементы крепления, что дополнитель но приводит к увеличению паразитных емкостей и токов, и к снижению чувствительности . Наиболее близким к изобретению по технической сущности является конденсатор с электростатическим возбуждением, содержащий вакуумиро ванный корпус с размещенными в нем электродами, расположенными на мемб ране и изоляторах . Недостатком известной конструкции является наличие откачного отверстия и, следовательно, дополнительного объема стекла, образованного приваренным к нему штенгелем. Место приварки штенгеля является ко центратором механических напряжений что приводит к увеличению паразитных токов и снижению чувствительнос ти измерительного устройства. . Цель изобретения - улучшение электрических характеристик конденсатора. Цель достигается тем, что конден сатор с электростатическим возбужде нием, содержащий вакуумированный ко пус с размещенными в нем электродами, расположенными на мембране и изоляторах, снабжен, кольцевыми металлическими прокладками, расположе ными на электродаз4 между изолятора ми и мембраной, причемизоляторы выполнены вакуумплотными. На фиг. 1 йзображен конденсатор разрез на фиг. 2 - разрез Л-А на ф1рг. 1. Конденсатор с электростатическим возбуждением содержит корпус, выпол .ненный из двух цилиндрических изоляторов 1 и 2, меяоду которыми находится мембрана 3. На рабочие поверхности изоляторов и мембраны нанесены танталовые пленочные электроды 4 и 5. На соприкасающиеся поверхности 6 и 7 изоляторов и мембраны нанесены кольцевые металлические прокладки 8, которые выполняют роль вакуумного уплотнения и роль электрического контакта пленочного электрода 5, нанесенного на мембрану, с выводом 9. Выводы 9 и 10.. выполнены из титана и впаянь} в изоляторы. Изоляторы и мембрана изготовлены из сапфира. В качестве материала кольцевых прокладок 8 использован индий с подслоем хрома. Кольцевые металлические пленки наносятся на соприкасающиеся поверхности после нанесения электродов 4 и 5. После нанесения кольцевых металлических прокладок 8 изоляторы 1 и 2 и мембрана 3 помещаю- ся в вакуумируемую камеру и располагаются таким образом, чтобы между ними оставался зазор 2-3 мм. После откачки, камеры изоляторы и мембрана прогреваются до 200-ЗОО С и выдерживаются при этой температуре в течение 6-10 ч с целью обезгаживания, затем изоляторы сжимаются по осевой линии с усилием 5-8 кг. При этом происходит спай изоляторов с мембрайой по соприкасающимся поверхностям 6 и 7, затем производят охлаждение конденсатора в камере, снимают нагрузку, вакуумируемую камеру разгерметизируют и вынимают готовый конденсатор, электроды: которого находятся в вакууме. Таким образом, сборка, обезгаживание и герметизация конденсатора осуществляется в вакууме, после чего конденсатор не требует дополнительног.о вакуумирования. Изготовленный таким образом конденсатор не имеет дополнительного вакуумируемого баллона или откачных отверстий, к которым припаивается штенгель, что прчводит ,к увеличению чувствительности. Технологические операции нанесения электродов и кольцевых пленок, а также сжатие изоляторов, производятся в одной и той же вакуумной установке, чтоупрощает технологию изготовления конденсатора по сложности и количеству операций, а также по количест.ву используемого разнородного оборудования. Испытания образцов в электрометрической аппаратуре пок азбши, что использование предлагаемого конденсатора повышает чувствительность аппаратуры в 1,5-2 раза.

КОНДЕНСАТОР С ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКШ-t ВОЗБУЖДЕНИЕМ, содержащий . вакуумированный корпус с размещенными в нем электродами расположенными на мембране и изоляторах, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик конденсатора, он снабжен кольцевыми металлич ескими прокладками, расположенными на электродах между изоляторами и мембраной, причем изоляторы выполнены вакуумплотными.