Просветляющее интерференционное покрытие Советский патент 1984 года по МПК G02B5/28 G02B1/11 

X

:с

4 1 I Изобретение относится к интерференционным покрытиям для оптических деталей, применяемык в оптическом приборостроении, в частности, в кино- и фотоаппаратуре. . Известно просветлякяцее покрытие, состоящее из четырех слоев с череду ющимися высоким 2,1-2,3, и низким 1,38-1,45 показателями преломления, оптические толщины которых выбраны из соотношения 1 1,96, 0,39j 0,19, считая от воздуха, причем тол щина первого слоя составляет 0,2H, 1. Однако это покрытие может быть использовано только для просветления в видимой области спектра (Ц 400....700 нм) стекол с низкими показателями преломления ( hg 1,45 ... . 1,62) ., Для просветления стекол с высокими показателями преломления (5 1,62....1,8) такое покрытие является неэффективным. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является про светляющее интерференционное покрытие для оптических элементов с показателем преломления 1,45-1,8, сос тоящее из диэлектрических слоев с чередующимися высоким и низким показателями преломлени;я, причем слой граничащий с воздухом, выполнен из вещества с низким показателем пр ломления 21 . Недостатком известного покрытия является сравнительная сложность конструкции семислойного покрытия, а также недостаточно широкий рабочий просветляегФй диапазон и, соответственно, высокий коэффициент отражения во всей видимой области спектра, что ограничивает возможнос ти его применения. Цель изобретения - снижение коэф фициента отражения в спектральной области (0,75-1,25) Л,, и упрощени конструкции покрытия. Поставленная цель достигается тем, что в просветляющем интерфере ционном покрытии для оптических эл ментов с показателем преломления 1,45-1,8, состоящем из диэлектриче ких слоев с чередующимися высоким и низким показателями преломления, причем слой, граничащий с воздухом выполнен из вещества с низким Йока зателем преломления, покрыти е выпол нено иЭ четырех слоев, оптические 42 толщины которых, считая от воздуха, выбраны из соотношения п (3 0,455х X .Mid 2 3,76 3,76 X X л 4 d4 . 0.25 Я о где |1,П2,,И,п;{ - показатели преломления слоев, (3 ,( г ом трические толщины слоев; длина волны, соответствующая середи- не просветляемого диапазона, а показатели преломления слоев рацныП, Пз 1,37-1,39 П2 и 1,94-2,0., На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое просветляющее покрытие; на фиг. 2 - спектральный коэффициент отражения, измеренный на микроспектрорефлексометре МСФП-2 на фиг. 3 - спектральные характеристики покрытия для подложки СПс 1,62 при различных показателях преломления слоев: кривая 1 при ns j 1,94, Пч 1,38, кривая 2 при ;Пд 2,0, Пн - , кривая 3 Пд 1,96, «н 1,39i кривая 4 при Пв 1,96, IH 1,37. Просветляющее интерференционное покрытие состоит из слоя t с показателем преломления П .1,37... 1,39, слоя 2 с показателем преломления 112 ...2,0, слоя 3 с показате-г лем преломления Л, 1,37...1,39. слоя 4 с показателями преломления .п 1,94...2,О, нанесенных на просветляемый элемент 5 с показателем преломления Лд и толщинами слоeg.,..считая от воздуха, nidt,0,455x ,,76 0, , где Лд -длина-волны, соответствующая середине просветляемого диапазона. Покрытие изготавливалось напыпением в вакууме резистивным путем из вольфрамовых лодочек с использованием фотометрического контроля коэффициента отражения. После вакуумного цикла покрытия подвергались термообработке на воздухе при Т 350°С в течение двух часов. Интегральный коэффициент остаточного отражения просветленных оптических деталей в области спектра. нм, измеренньй на рефлексометре ЭА-101, приведен в таблице,

I К8 1 ЛФ7 I БФ16 Г

Сорт стекла

III- I «e-eeei I Показатель 1,5181,578 преломления Интегральный коэффициент остаточногоотражения, %

ТФЗ 0,30 1.671 1,717 6,32

ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ для оптических элементов с показателем преломления 1,45-1,8, состоящее из диэлектрических слоев с чередующимися высоким и низким показателями преломления, причем слой, . граничащийг с возд5гхом, . выполнен из веществас низким показаг; телем преломления, о т л и ч а ю щ e КСРСОЮЗНАЯ in i EfltJO. -« Т1ЕХН ЧЕ :КАЯ ЯИКЛИОТЕКА ,е с я тем, что, с целью снижения коэффициента отражения в спектральной области

Из этих графиков фиг. 3 следует что спектральная характеристика покрытия при варьировании показателей преломления слоев в заданных пределах изменяется незначитель«0 .

Как видно из приведенных характеристик, просветляющее покрытие эффективно снижает отражение в широкой области спектра для различных марок оптических стекол, использунлцихся

;В оптическом Щ)б6ростроении, в част:ности в кино- и фотоаппарату1)е.

Кроме того, предлагаемое покрытие позволяет унифицировать технологию просветления (просветление стекол с различными показателями преломления одновременно, за один технологический процесс), а также, в связи с тем, что характеристики покрытия устойчивы к отклонениям параметров слоев, снижаются требования к поддержанию стабильности па раметров техпроцесс

fi7...

as

0.6

0,tf

0.

0.5

0.6

0,7 Cpu&.d