Просветляющее покрытие для двух длин волн Советский патент 1991 года по МПК G02B1/10 G02B5/28 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для просветления оптических элементов эксимерных лазеров, осветлительных систем объектов с большими апертурами, работающих одновременно в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра.

Целью изобретения является обеспечение коэффициента отражения R 0,8% в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин - волн, связанных

л У

соотношением 2,2 т- 3,3 для оптических элементов с показателем преломления п-1 ,45-2,2.

На фиг. 1 представлены спектральные кривые отражения покрытия, выполненного на основе криолита и фтористого лития, полученные экспериментальным путем на стеклах с показателями преломления п 1,52 (кривая 1), п - 1,62 (кривая 2), п 1,8 (кривая 3);

на фиг. 2 - кривые отражения на основе фтористого магния и криолита, полученные на стеклах с показателями преломления п - 1,52 (кривая 1), п 1,62 (кривая 2) и п 1,8 (кривая 3); на фиг. 3 - спектральные кривые отражения для различных углов падения излучения.

Реализация покрытия осуществлялась вакуумным напылением на установке A700Q фирмы Leibold Heraens, оборудованной системой безмасляной откачки типа Turbovac 1500, прецизионным фотометрическим контролем OMS - 2000 в комплекте с расширителем диапазона работы (дейтериевая лампа, фотоумножитель, комплект интерференционных фильтров для УФ-области спектра).

Контроль оптической толщины слоев в процессе напыления производился по контрольному образцу с помощью OHS - 2000

О

&

Ч)

ю

регистрацией изменения величины отраженного сигнала.

Контрольный образец представляет собой плоскопараллельную пластину, полированную с одной стороны диаметром 42 мм, толщиной 2 мм из стекла К8 с показателем преломления 1,52. Подложку предварительно прогревали до Т 300°С в течение 2 ч, В качестве испарителей использовали мощностью 6 кВт с двумя четырехпозици- онными тиглями. Фториды испарялись электронным лучом, расфокусированным по размерам ячейки тигля. Ток эмиссии 20 - 50 мА, скорость напыления 4-5 А/с. Каждый слой контролировался по своему контрольному стеклу Свидетелю.

В одном из вариантов изготовления покрытия в качестве слоя, граничащего с подложкой, использовали криолит, в качестве второго слоя - фтористый литий. Покрытия наносили на подложки из различных марок стекла с показателями преломления 1,45 - 2,2.

0

5

0

В другом варианте в качестве первого слоя, прилегающего к подложке, использовали фтористый магний, в качестве второго слоя, граничащего с воздухом, - криолит. Формула изобретения Просветляющее покрытие для двух длин волн, выполненное в виде чередующихся четвертьволновых относительно До слоев, с высоким пв и низким пн показателями

2 Л2 А2

преломления, где До -

Я,

Ai +A2

и Азчдлины волн, на которых отражение минимально, причем к подложке прилегает слой с высоким показателем преломления, отличающееся тем, что, с целью обеспечения коэффициента отражения R S 0,8% в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин волн, связанных

Jtn

для оптичесоотношением

2,2 3,3 Ai

ских элементов с показателем преломления п 1,45 - 2,2, покрытие выполнено двухслойным, причем пв 1,38 - 0,01, пн 1,34 ±0,01.

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для просветления оптических элементов эксимерных лазеров, осветительных систем объективов с большими апертурами, работающих одновременно в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Изобретение позволяет обеспечить коэффициент отражения R 0,8% в ультрафиолетовой и видимой областях спектра для длин волн, связанных соотношением 2,2 A2/Ai 3,3 для оптических элементов с показателем преломления п 1,45 - 2,2. Покрытие выполнено двухслойным в виде чередующихся четвертьволновых относительно АО слоев, где АО , первый из которых, прилегаAi +A2 ющий к подложке, имеет показатель преломления РВ 1,38 ± 0,01, а второй пн 1,34 ±0,01. Зил. fe

т ш

500 600 700 Фиг. 1

МО Л9цн

200

Ш

500 600 Фиг.2

7Ю 600 Л,пп

600 700 Фиг.З

800

Л,пя