Ахроматическое просветляющее покрытие Советский патент 1991 года по МПК G02B5/28 

Изобретение относится к интерференционным покрытиям, применяемым в оптическом приборостроении.

Целью изобретения является упрощение конструкции, снижение коэффициента отражения и повышение его равномерности 1по спектру для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до 2,55 показателем преломления.

Предлагаемое ахроматическое просветляющее покрытие для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до 2,55 показателем преломления состоит из четырех чередующихся диэлектрических слоев с высоким и низким показателями преломления с оптическими толщинами, считая от подложки, ;idi (0,91 ±0,01) До/4; Јd2 773d3 (1.83±0,03) Яо/4 из веществ с показателями преломления rj- 773

2,11±0,01, rj2 TJA 1,37±0,01, где di. d2, d3 и d4 - геометрические толщины слоев.

Покрытие изготавливается с использованием только двух пленкообразующих веществ, обеспечивает снижение коэффициента отражения в спектральной -области До/Я 0,78 - 1,40 до величины менее 0,4% при оптимальных значениях оптических толщин и показателей преломления слоев и до величины менее 0,6% для всех возможных вариаций параметров слоев из области их допустимых значений, повышение равномерности коэффициента отражения в спектральной области просветления Нмакс - RMHH 0,33%. При этом значение среднего коэффициента отражения снижается до 0,225%.

На фиг.1 приведены спектральные зависимости коэффициента отражения оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии показателем преломления от значения

сл

с

3

о ел

fe

2,77 до 2,55, на поверхности i которых на- неЬено предлагаемое покрытие с оптическими толщинами слоев yidi - r/4d4 0,91 Ао/4, tjz d2 /3d3 1 83 Ло/4 и пока- эателями преломления г/ч 2,10, rfi 1,38, )Јз 2,12, TJA 1,38 (кривая 1); /i 2,10, ,36, /з 2,10, 94 1,38 (кривая 2); ,12, 772 1,36, 773 2,10, 44 1,36 (кривая 3); /i 2,12, 772 1,38, /з 2,12, 774 1,38 (кривая 4). На фиг.2 приведены спектральные зависимости коэффициента отражения с-птических элементов из веществ с изменя- кащимся по закону нормальной дисперсии показателем преломления от значения 2,77 до 2,55 , на поверхности которых нанесено предлагаемое покрытие с показателями Преломления слоев iji -грз 2,11; tji щ 1,37 и оптическими толщинами /tdi Ю,92Ао/4; ,86Ao/4; 73d3 1,86 Ао/4; 7/4d4 0,9 (кривая 1); ;idi 0,92 Ао/4; rfefc 1.8 До/4; ,8 До/4; /4d4 Ю,9 До/4 (кривая 2); 0,9 Ао/4; d2 1,8 До/4; 7/3da 1,86 До/4; /4d4 0,92 Ао/4 (кривая 3); /idi 0,92 До/4; 1,86 До/4; JJS ds 1,86 До/4; 4d4 0,92 До/4 (кривая 4).

Четырехслойное просветляющее интерференционное покрытие было изготовлено путем вакуумного оса кдения на оптические элементы из кристаллов карбида кремния SIC-6H слоев, испаряемых элек0

5

0

5

0

тронно-лучевым способом веществ из двуокиси циркония в качестве пленкообразующего вещества с высоким показателем преломления и фтористого магния в качестве пленкообразующего вещества с низким показателем преломления, При этом использовался фотометрический контроль оптической толщины осаждаемых пленок,

Формула изобретения Ахроматическое просветляющее покрытие, состоящее из четырех диэлектрических слоев, причем слой, прилегающий к подложке, выполнен из вещества с высоким показателем преломления, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, снижения коэффициента отражения и повышения его равномерности по спектру для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до 2,55 показателем преломления, оптические толщины чередующихся слоев с высоким и низким показателями преломления составляют, считая от подложки, idi /4сМ (0,91 ±0,01) До/4; pd2 3d3 (1,83±0,03) До/4, а их показатели преломления равны ,11 ±0,01, Ј ,37±0,01, rfledi, d2, ds, d4 геометрические толщины слоев, а До - длина волны середины спектральной области просветления.

Изобретение относится к интерференционным покрытиям, применяемым в оптическом приборостроении, и позволяет упростить конструкцию, снизить коэффициент отражения и повысить его равномерность по спектру для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до 2,55 показателем преломления. Покрытие состоит из четырех слоев. Оптические толщины слоев, считая от подложки, /idi } 4d4 (0,91 ±0.01) ; 7720)2 ftd3 1о

Фиг„ I

Ял НМ