Магниторазрядный насос Советский патент 1984 года по МПК H01J41/00 H01J41/12 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к магниторазрядным насосам, и может найти применение при откачке электровакуумных приборов и других объемов различного назначения. Известен магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему и герм тичный корпус с размещенными в нем катодами из геттерного материала и расположенным между ними ячеистым анодом с ячейками в виде полых ци/ индров lj , в таких насосах при давлении выш 10 мм рт.ст. происходит сильное распыпение катода.и в местах пересе чения осей ячеек анода с катодами в последних образуются кратеры. Сро службы магниторазрядного насоса поэтому определяется толщиной катодны пластин, увеличение которых приводи к увеличению массы насоса и повьшен его стоимости. Известен также магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными .в нем катодами, вьптолненными из геттерного материала, и расположенным между ними ячеистым анодом, яче ки которого вьшолнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров. Срок службы таких насосов повьщген за счет обеспечения возможности перемещения анодных ячеек в направлении, перпендикулярном их оси,что позволяет располагать под ячейками новые участки катода, еще не обработанные разрядом 2 . Недостатками этого насоса являгются невысокая скорость откачки и невозможность ее стабилизации в процессе работы насоса, когда давление откачивающего газа меняется в широких пределах. Целью изобретения является позышение и стабилизация скорости откач ки. Указанная цель достигается тем, что в магниторазрядном насосе, содержащем магнитную систему и герме тичный корпус с размещенными в нем катодами, выполненными .из геттерно материала, и расположенным между ними ячеистым анодом, ячейки которого вьтолнены в виде полых цилинд ров, установленных с возможностью ремещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при зтом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превьшает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности. На фиг.1 показан насос, общий вид на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - ячейка анода. Магниторазрядный насос содержит герметичный корпус 1, катоды 2, анод 3 в виде цилиндрических ячеек, выполненных из биметалла, магнитную систему 4, электрический, ввод 5 и откачной патрубок 6. При этом анод 3 установлен между катодами 2 с возможностью перемещения относительно катодов в направлении, перпендикулярном оси ячеек анода. Насос работает следующим образом. При подаче на анод 3 высокого положительного потенциала в насосе возбуждается разряд Пеннинга в скрещенных электрическом и магнитном полях и в результате ионной бомбардировки происходит распыление катодов , вьтолненньк из геттерного материала.Образующаяся при зтом пленка геттера связьшает остаточные газы. При запуске, насоса (работа при повьщ1енном давлении) ячейки анода имеют большой диаметр. В процессе, работы насоса в режиме запуска в разряде вьщеляется мощность в виде тепла, в результате чего анод 3 разогревается до температуры, которая может достигать . Под влиянием этого нагрева биметаллические ячейки деформируются (фиг.З), что приводит к уменьшению их в диаметре, и быстрота действия в этой области давления получается максимальной. По мере понижения давления в насосе уменьшается разрядный ток и вьщеляемая мощность, что приводит к понижению температуры на аноде и увеличению диаметра ячеек вплоть до исходного Таким образом, и в этой области давления достигается максимальная скорость откачки. В результате уменьшения и увеличения диаметра ячейки центр ячейки смещается (фиг.З), смещается и зона

интенсивного распыления на катодах, обеспечивая тем самым увеличение срока службы насоса. Распыляемый с. катодом геттер оседает на поверхность анода, образуя пленку, способную сорбировать газы.

Таким образом, предлагаемая конструкция насоса позволяет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений без ухудшения срока службы по сравнению с известной.

МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, вьптолненными из геттерного материала, и расположенным между ними ячеистым анодом, ячейки которого вьтолнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, отличающийся тем, что, с целью повышения и стабилизации быстроты откачки, ячейки анода вьшолнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превьш1ает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности. 00 00 о со

Фиг. 2

Фиг. 2