Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа Советский патент 1984 года по МПК H01J37/28 

QO

Oi

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для формирования изображения объекта, исследуемого в растровом электронном микроскопе.

Известны видеоконтрольные устройства (ВКУ) для растровых электронных микроскопов (РЭМ), основанные на модуляции вертикального отклонения луча воспроизводящей электронно-лучевой трубки (ЭЛТ) видеосигналами и содержащие блок управления, генератор разверток и синхронизации, детектор излучения, видеоусилитель и блок индикации. За счет более высокой пространственной разрешающей способности человеческого зрения, по сравнению с контрастной разрещающей способностью, в полученном таким образом изображении фиксируются даже те неоднородности объекта, которые при яркостной модуляции не проявляются. Такие изображения называют псевдорельефными или изображениями с Y-MOдуляцией 1 .

Недостатком известных устройств является то, что в связи с ограниченной частотной полосой электромагнитных отклоняющих систем для воспроизведения псевдорельефного изображения, в ВКУ необходимо вводить дополнительную ЭЛТ с электростатическим управлением либо ограничиваться медленными стандартами и получать сильно утомляющее оператора мелькающее изображение.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является ВКУ для РЭМ, содержащее блок управления, выходы которого соединены с управляющими входами коммутатора разверток, коммутатора видеосигналов, блока памяти и генератора разверток и синхронизации, соединенного своими первым и вторым выходами через коммутатор разверток с системой отклонения электронного луча и блоком индикации, а также вторым выходом - с вторым адресным входом блока памяти, выход которого через видеоусилитель соединен с информационным входом блока индикации, и детектор излучения с предусилителем, соединенный с информационным входом коммутатора видеосигналов, первый выход которого соединен с информационным входом блока памяти, а второй - с входом видеоусилителя 2.

Данное устройство обеспечивает возможность наблюдения немелькающ го изображения микрообъекта на экране блока индикации, работающего в вещательном телевизионном стандарте. Однако оно не может воспроизводить псевдорельефное изображение.

Целью изобретения является получение немелькающего псевдорельефного изображени я.

Указанная цель достигается тем, что видеоконтрольное устройство для растрового

электронного микроскопа содержащее блок управления, выходы которого соединены с управляющими входами коммутатора разверток, коммутатора видеосигналов, блока памяти и генератора разверток и синхронизации, соединенного первым и вторым выходами через коммутатор разверток с системой отклонения электронного луча и блоком индикации, а также вторым выходом - с вторым адресйым входом блока памяти, выход которого через видеоусилитель соединен с информационным входом блока индикации, и детектор излучения с предусилнтелем, соединенный с информационным входом коммутатора видеосигналов, первый выход которого соединен с информационным входом блока памяти, а второй выход - с входом видеоусилителя, снабжено сумматором, а коммутатор видеосигналов содержит дополнительный третий выход, соединенный со вторым входом сумматора, первый вход которого соединен с первым выходом генератора разверток и синхронизации, а выход - с первым адресным входом блока памяти.

На чертеже представлена функциональная блок-схема ВКУ.

Видеоконтрольное устройство содержит генератор 1 разверток и синхронизации, блок 2 управления, блок 3 памяти, коммутатор 4 разверток, колонну 5 растрового электронного микроскопа, детектор 6 излучения с предусилнтелем, коммутатор 7 видеосигналов, сумматор 8, блок 9 индикации, видеоусилитель 10. Внутри колонны 5 микроскопа размещена система 11 отклонения электронного луча. Блок 2 управления своими выходами соединен с управляющими входами коммутаторов 4 и 7 разверток и видеосигналов соответственно, блока 3 памяти и генератора j разверток и синхронизации( соединенного первым и вторым выходами через коммутатор 4 разверток с системой 11 отклонения электронного луча и блока 9 индикации, HJ вторым выходом - также со вторым адреЬным входом блока 3 памяти. На информационный вход блока 9 индикации через видеоусилитель 10 подан сигнал с выхода блока 3 памяти и с второго выхода коммутатора 7 видеосигналов. Информационные входы коммутатора 7 видеосигналов соединены с выходом детектора излучений и с детектором 6. Первый выход коммутатора 7 видеосигналов соединен с информационным входом блока 3 памяти, а третий дополнительный выход - со вторым входом сумматора 8, первый вход которого соединен с первым выходом генератора 1 разверток и синхронизации. Выход сумматора 8 соединен с первым адресным входом блока 3 памяти.

Устройство работает следующим образом.:

Генератор 1 разверток и синхронизации имеет в своем составе синхрогенератор и формирователи пилообразных сигналов

ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащее блок управления, выходы которого соединены с управляющими входами коммутатора разверток, коммутатора ви еосигналов, блока памяти и генератора разверток и синхронизации, соединенного первым и вторым выходами через коммутатор разверток с системой отклонения электронного луча и блоком индикации, а также вторым выходом - с вторым адресным .входом блока памяти, выход которого через видеоусилитель соединен с информационным входом блока индикации, и детектор излучения с предусилителем, соединенный с информационным входом коммутатора видеосигналов, первый выход которого соединен с ин(|)Ормационным входом блока памяти, а второй выход - с входом видеоусилителя, отличающееся тем, что, с целью получения немелькающего псевдорельефного изображения, оно снабжено сумматором, а .коммутатор видеосигналов содержит дополнительный третий выход, соединенный со втошрым входом сумматора, первый вход которого соединен с первым выходом генератора разверток и синхронизации, а выход - с первым адресным входом блока памяти.