Способ идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений Советский патент 1984 года по МПК G06K9/00 G06K9/62 

ел ел Изобретение относится к автом&гик и может быть использовано в системах или устройствах контроля фотошаблонгв полупроводниковых приборов. Известен способ ко ;троля шаблонов заключающийся в том, что сканируют световым лучом по поверхности контро лируемого фрагмента изображения (модуля) шаблона, ориентируют шаблон на координатном столе, фокусируют прошедший шаблон световой луч на фотодетектор, преобразуют сигнал с фотодетектора в цифровую форму и вводят его в процессор, в котором его сравнивают с цифровой информацией эталон ного фрагмента, записанной в памяти ЭВМ, выявляют различия между ними и записывают их координаты в запоминаю щее устройство. Для классификации дефектов формируют на экране видеоконтрольного устройства совмещенные изображения контролируемого и эталонного фрагментов в разньк цветах, анализируют различия между ними и принимают решение о наличии дефектов и их критичности О. Недостатком данного способа является сложность технической реализа ции, выражающаяся в необходимости применения ЭВМ с большим объемом памяти, а также необходимость обработк в процессе контроля большого объема информации. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является способ идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений, основанный на том, что сканируют двуьгя лазерными пучками одновременно по поверхнос ти двух соседних фрагментов изображе НИИ фотошаблона, ориентируют фотошаблон на координатном столе так,что бы освещались одинаковые элементы в соседних фрагментах, фокусируют прошедшие через фотошаблон лазерные пуч ки на два фотодетектора,, преобразуют сигналы с фотодетекторов в цифровую форму и вводят в процессор, в которо их сравнивают между собой, выявляют различия между ними и записьгоают их координаты в запоминаюш.ее устройство Для классификации дефектов формируют на экране видеоконтрольного устройства увеличенные изображения сравниваемых фрагментов и изображение разностного сигнала дефектов, анализируя которые оператор принимает решение о степени их критичности Г2. Недостаток известного способа состоит в сложности процесса сравнения фрагментов и выделения дефектов, так как для этого необходимо иметь два идентичных канала, содержащих высокоточную механическую систему перемещения, оптическую и фотоэлектронную системы обработки информации. Целью изобретения является упрощение способа. Указанная цель достигается тем, что согласно способу идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений, основанному на сканировании лазерным лучом изображений двух смежньк фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, формировании видеосигналов, по которым формируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментов в разных цветах и фиксации местоположения дефектного участка по цветовым неоднородностям в результирующем совмещенном изображении первого и второго фрагментов, изображения смежных фрагментов сканируют синхронно с формированием растра частотой, вдвое меньшей частоты строчной развертки растра. Сущность способа заключается в следующем. Сканируют, например, сфокусированным лазерным лучом по поверхности контролируемого изделия, например, фотошаблона, состоящего из ряда одинаковых участков, и синхронно формируют на экране видеоконтрольного устройства (ВКУ) увеличенное изображение сканируемого рисунка. При этом устанавливают амплитуду перемещения лазерного луча, обеспечивающую сканирование последовательно двух соседних одинаковых фрагментов фотошаблона. Ориентируют контролируемый фотошаблон на координатном столе так, чтобы лазерный луч в процессе перемещения освещал одинаковые элементы в смежных фрагментах. Сравнивают два смежных одинаковых фрагмента фотошаблона путем построчного наложения изображений сравниваемых участков. Для этого сканируют лазерным лучом последовательно ва соседних фрагмента с частотой, в ва раза ниже частоты строчной разертки изображения на экране ВКУ. Таое соотношение частот сканирования и развертки изображения позволяет за время сканирования лазерным лучом одного фрагмента сформировать на экране ВКУ одну полную строку, а за время последующего сканирования соседнего фрагмента - сформировать вторую полную строку. Для облегчения процесса выделения различий между сравниваемыми участками, формирование их изображений производят в разньк цветах. При этом для их.построчного наложения на экране ВКУ используют, например, ступенчатую форму кадровой развертки лазерного луча и изображения на экране ВКУ, с длительностью каждой ступеньки, равной времени сканирования лазерным лучом двух сравниваемых участков. Визуальное сравнение поочередно сформированных и попарно наложенных одна на другую строк изображения становится возможным благодаря послесвечению люминофора кинескопа, делающего незаметным для глаза наложение строк разного цвета, вследствие чего происходит смешение их цветов. В случае возникновения отличий между элементами в сравниваемых участках фотошаблона, они проявляются в изменении цветовой и яркостной картины.) соответствующих местах 1 0 изображения. Последующее сравнение одного из ранее проверенных участков фотошаблона с соседним (третьим) позволяет определить, к какому из сравниваемых участков относятся выявленные отличия. Оператор анализирует выявленные отличия и принимает решение о наличии дефектов и их критичности. Предлагаемое техническое решение по сравнению с известным значительно проще в технической реализации, так как отпадает необходимость в сравне нии двух световых потоков, вследствие чего возможно использование одного оптикоэлектронного канала обработки :игнала, при этом упрощается оптическая система и отсутствует электронная система сравнения сигналов. Кроме того, вследствие использования одного канала обработки информации предлагаемое техническое решение более универсально и может найти применение в самых разнообразньк системах контроля микроэлектронных изделий, использующих для формирования изображения принцип построчного сканирования.

СПОСОБ ИДЕНТИФИКАЦИИ ДЕФЕКТОВ В ФОТОШАБЛОНАХ С ПОВТОРЯЮЩШ-ШСЯ ФРАШЕНТАМИ ИЗОБРАЖЕНИЙ, основанный на сканировании лазерным лучом изображения двух смежных фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, формировании видеосигналов, по которым формируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментов в разных цветах, и фиксации местоположения дефектного участка по цветовым неоднородностям в результирующем совмещенном изображении первого и второго фрагментов, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, изображения смежных фрагментов сканируют синхронно с формированием растра частотой, вдвое ме)ьшей частоты строч-sg ной развертки растра. (Л