Устройство для магнитооптических исследований доменосодержащих пленок Советский патент 1984 года по МПК G01R33/12 

Изобретение относится к области магнитных измерений и предназначено для исследования магнитных характеристик пленок. Известно устройство для измерени магнитных свойств ферромагнитных пленок, содержащее оптическую систе му, источник магнитного поля и регистрирующее устройство П. Однако данное устройство характе ризуется низкой чувствительностью. Наиболее близким к предложенному по технической сущности является ус ройство для магнитооптических иссле дований доменосодержащих пленок, содержащее установленные на одной оси, оптически связанные источник немонохроматического излучения, поля ризационный микроскоп и блок генерации магнитного поля, размещенньй вну ри микроскопа, а также коллиматор Г2 Однако известное устройство харак теризуется ограниченным нижним пределом толщины исследуемых образцов, в смязи с тем, что наблюдаемая струк тура имеет слабую контрастность, которая резко падает с уменьщением тол щины образца. Кроме того, уменьшение толщины образца затрудняет наблюдени оператором микроскопических изменеНИИ в структуре образца. Цель изобретения - расширение риапазона толщин исследуемых пленок Поставленная цель достигается теМ} что в устройство для магнитооп тических исследований доменосодержащих пленок, содержащее установленные на одной оси, оптически связанные источник излучения и поляризационный микроскоп, а также блок генерации магнитного поля, размещенный внутри микроскопа, дополнительно введены установленные на общей оси между источником излучения и входом поляризационного микроскопа оптически связанные фокусирующая линза, рассеивающий диск и корректирующая линза, а также установленная на общей оси телевизионная установка, вход которой оптически связан с выходом поляризационного микроскопа, при зтом в качестве источника излучения используется источник монохроматического направленного излучения. На чертеже представлена структур ная схема, поясняющая работу устрОЙСТВеТ. 372 5 стройство для магнитооптических исследований доменосодержащих пленок содержит установленные на одной оси, оптически связанные источник 1 направленного монохроматического излучения, поляризационный микроскоп 2 и блок 3 генерации магнитного поля, размещенный внутри микроскопа 2, установленные на одной оси между источником 1 и входом поляризационного микросокпа 2, оптически связанные фокусирующая линза 4, рассеивающий диск 5 и коррект.ирукицая линза 6, а также установленную на общей оси телевизионную установку 7, вход которой оптически связан с фотовыходом поляризационного микроскопа 2, а также образец 8, Работа устройства основала на магнитооптическом эффекте Фарадея и осуществляется следующим образом. Световой поток от источника 1 направленного монохроматического излучения собирается фокусирующей линзой 4 в плоскости вращающегося рассеив.ающего диска 5, Применение фокусирующей линзы 4 позволяет более рационально использовать свето-вой поток, а также улучшить его равномерность, которая достигается при помощи вращения рассеивающего диска 5, изготовленного из прозрачного материала с матированной поверхностью. Затем световой поток проходит через корректирующую линзу 6, которая собирает расходящийся после прохождения рассеивающего диска 5 поток света и направляет в микроскоп 2, где он дополнительно фокусируется в плоскости образца 6, поляриз.х-тся и с шотовыхода микроскопа 2 попадает на вход прикладной телевизионной установки 7, на экране которой наблюдается увеличенное изображе1{ие доменной структуры пленки в виде чередующихся темных и светлых участков, Создавая с помощью узла генерации 2 магнитное поле, оператор наблюдает на экране телевизионной установки 7 изменения доменной структуры пленки под возл,(:йствием внешнего магнитного поля. Используя данное устройство можно исследова ; 1, зависимость периода стр;1йп-структуры от внешнего поля, магнитные дефекты на пленке, процесс коллаггсирования доменон, структуру доменных ГР;И11 Ц,

Использование источника 1 направленного монохроматического излучения, фокусирующей линзы 4, рассеивйющего диска 5, корректирующей линзы 6 позволяет повысить отношение сигнал/шум устройства за счет повьшения контрастности изображения исследуемой пленки.

Вывод увеличенного изображения исследуемой структуры на телеэкран прикладной телевизионной установки снижает утомляемость оператора и увеличивает разрешающую способность устройства. В результате чувствительность устройства повышается в 5 раз, что расширяет диапазон толщин иccлeдye a IX пленок.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ МАГНИТООП ЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ ДОМЕНОСОДЕРЖА ПЛЕНО|, содержащее установленные одной оси, оптически связанные ис точник излучения и поляризационны микроскоп, а тажке блок генерации магнитного поля, размещеннь внутри микроскопа, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона толщин исследуемых пленок, в него Дополнительно введены установленные на общей оси между источником излучения и входом поляризационного микроскопа опГтически связанные фоку-сирующая линза, рассеивающий диск и коррек тирующая линза, а также установленная на общей оси телевизионная установка, вход которой оптически связан с вьгходом поляризационного микроскопа, при этом в качестве источника излучения используется источник монохроматического направленного излучения.