Ртутный зонд Советский патент 1984 года по МПК H01L21/66 

СП

со 05 00 11 Изобретение относится к электронной промьшшенности, в частности к уст ройствам для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур. Известен ртутный зонд, содержащий корпус, камеры с каналом для подвода ртути к измеряемому образцу и устройство для перемещения ртути СП. Недостатком этого устройства является низкая разрешающая способность из-за нестабильности площади контакта ртуть-образец. Известен ртутный зонд, содержащий корпус, камеру для размещения ртути, кагтилляр и механизм для перемещения ртути С21. Использование капилляра для созда ния контакта ртуть-образец позволяет повысить разрешающую способность устройства, однако постоянное загряз нение приводит к появлению погрешности измерений из-за нестабильности реальной площади контакта ртуть-обраги ц. Цель изобретения - повьш1ение точности измерений путем обеспечения очистки капли ртути,. Поставленная цель достигается тем что в устройстве, содержащем корпус, камеру для размещения ртути, капилляр и механизм для перемещения ртути в корпусе вьтолнена дополнительная камера- с двумя каналами, один из которых снабжен клапаном и соединен с основной камерой, а другой соединен с капилляром. На чертеже изображен ртутный зон Ртутный зонд содержит корпус 1,выполненный из электроизоляционного мате риала, внутри которого имеется камера 2 с капилляром 3. Для подключен внешней электрической схемы камера 2 снабжена контактом 4. В корпусе 1 вы полнена дополнительная камера 7, в верхней части которого выполнен клапан 8 в виде плавающего шарика. Устройство для подачи ртути содержит мембрану 9, прижат Мо к кор3пусу 1 посредством оправы IP, накидной гайки 11 и шайбы 12, штоки 13 и 14, коромысла с грузиками 15 и 16. Устройство работает следующим образом. Ртутный зонд устаналивают на поверхность измеряемого образца (на чертеже не показан), плавно опускают коромысло 15, при этом шток 13 перемещается вниз и прогибает мембрану 9, которая выталкивает ртуть из камеры 2 в капилляр 3. В это время клапан 8 в канале 7 препйтствует перемещению ртути в дополнительную камеру 5. В процессе капилляра 3 ртутью, при еще неполном заполнении, отпускают коромысло с грузиком 16, под действием которого шток 14 перемещается вниз и прогибает мембрану 9 над дополнительной камерой 5, из которой по каналу 7 часть ртути поступает в основной резервуар, при этом капилляр заполняется ртутью полностью до соприкосновения ее с поверхностью- измеряемого образца. После проведенияизмерений электрофизичес;ких параметров образца освобождается шток 14 от воздействия коромысла с грузиком 16, при этом канал 7 запирается шариком, и ртуть по каналу 6 отсасывается из капилляра 3 в дополнительную камеру 5, затем освобождается шток 13 от воздействия коромысла с грузиком 15, при этом шарик открывает канал 7 и ртуть из дополнительной камеры поступает в основную камеру 2. При повторении операций происходит постоянное обновление ртути в капилляре - загрязненная поступает в нижнюю часть дополнительной камеры, а чистая ртуть в основной камере пополняется из верхней части дополнительной, что обеспечивает при многократньпс измерениях контактирование поверхностью образца только чистой тути, вследствие чего повышается точость измерений из-за уменьшения колеаний площади контакта ртуть-образец.

РТУТНЫЙ ЗОНД, содержащий корпус, камеру для размещения ртути, капилляр и механизм для перемещения ртути, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений Ьутем обеспечения очистки капли ртути, в корпусе выполнена дополнительная камера с двумя каналами, один из которых снабжен клапаном и соединен с основной камерой, а другой соединен с капилляром.