1
(21)4382371/31-25
(22)17.П.87
(46) 15.12.89. Бюл. 46
(71)Специальное конструкторско-тех- нологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР
(72)П.П.Добровольский, М.С.Ильиной и Б.А.Чикулаев
,(53) 541.135.5(088.8) . (56) Авторское свидетельство СССР № 974463, кл. Н 01 L 21/66, 1981.
Авторское свидетельство СССР 860360, кл. Н 05 К 1/11, 1981.
(54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗОНД (57) Изобретение относится к измери- тельно технике и может быть использовано для измерения локальных электрофизических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков. Цель изобретения - повьшение точности измерений за счет увеличения точности воспроизведения площади ртутного контакта. Дпя этого исключают влияние различного заполнения объема с ртутью на изменение условий работы механизма перемещения ртути. Зонд содержит корпус с капилляром для ртути и механизм для перемещения ртути. Корпус зонда снабжен регулятором объема, заполняемого ртутью, а механизм перемещения ртути снабжен ограничителем хода. 1 iiri.
г
(Л
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Ртутный манипулятор | 1982 |
|
SU1091261A1 |
| Ртутный зонд | 1982 |
|
SU1105963A1 |
| Измерительный ртутный зонд | 1983 |
|
SU1320757A1 |
| Измерительный ртутный зонд | 1987 |
|
SU1552260A2 |
| Измерительный ртутный зонд | 1979 |
|
SU860360A1 |
| Измерительный ртутный зонд | 1982 |
|
SU1058008A2 |
| Измерительный ртутный зонд | 1981 |
|
SU974463A1 |
| Зонд для исследования полупроводников | 1977 |
|
SU661317A1 |
| ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 2015 |
|
RU2618598C1 |
| Ртутный зонд | 1978 |
|
SU721729A1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения локальных электрофизических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет увеличения точности воспроизведения площади ртутного контакта. Для этого исключают влияние различного заполнения объема с ртутью на изменение условий работы механизма перемещения ртути. Зонд содержит корпус с капилляром для ртути и механизм для перемещения ртути. Корпус зонда снабжен регулятором объема, заполняемого ртутью, а механизм перемещения ртути снабжен ограничителем хода. 1 ил.
Изобретение относится к измери- тельной технике и может быть использовано для измерения локальных электрических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков.
Цель изобретения - повышение точности измерений.
На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.
Измерительный ртутный зонд содержит корпус 1 с капилляром из изолирующего материала, регулятор 2 объема капилляра, контакт 3 к ртути 4, металлический экран 5. Механизм перемещения ртути включает в себя эластичную мембрану 6, шток 7 для создания давления tH .j
-ограничитель 8 хода штока, гайку 9, прижимающую мембрану 6 к корпусу 1. Регулятор объема вьтолнен в виде поршня, которьм может вводиться в резервуар с ртутью вращением его по резьбе, находящейся на экране корпуса зонда,
41змерительный ртутньй зонд работает следующим образом.
Корпус у зонда 1 прижимается к ис- . следуемой поверхности образца открытым концом капилляра. Шток 7 с ограничителем хода перемещается до упора V гайку 9,жестко связ анную с корпусом 1 , причем расстояние перемещения выбирается ограничителем 8 хода таким,
Редактор С,Лисина
Составитель В.Екаев Техред Л.Сердюкова
Заказ 7633/38
Тираж 789
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Корректор С,Черни ..
Подписное
