Измерительный ртутный зонд Советский патент 1987 года по МПК G01R1/06 

1320757

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь- зовань в измерительных устройствах для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводнико вых и диэлектрических материалов и структур на их основе.

Цель изобретения - снижение по- I грешности измерения путем сохранения

постоянства контактного пятна, что достигается исключением выхода ртути за пределы калиброванного отверстия при измерениях условия контактирования и вибрациях.

На чертеже изображен измеритель- ньй ртутный зонд, общий вид.

Измерительный ртутный зонд представляет собой контактное устройство состоящее из корпуса 1 с предметным столиком с чашеобразной полостью, заполненной ртутью 2, механизма прижима (не показан). Сверху корпуса 1 закреплена с помощью кольца 3 гибкая мембрана 4. В центральной части

мембраны 4 с помощью кольца 5 закреп лена втулка 6 с калиброванным отверстием. Над контактным устройством соосно с калиброванным отверстием р.асположен толкатель 7, а между толкателем 7 и втулкой 6 установлен испытуемый образец 8.

Зонд работает следзпощим образом.

После установки измеряемого образца 8 на втулку 6 контактного устройства приводится в движение тол- катель 7 путем осевой подачи его вниз к измеряемому образцу 8. После соприкосновения толкателя 7 с измеряемым образцом 8 втулка 6 начинает опускаться за счет гибкой мембраны 4 а ртуть 2 вдавливается в калиброван

Редактор Е.Копча

Составитель Н.Шмелев Техред М.Ходанич

Заказ 2656/49 Тираж 730Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

ное отверстие втулки 6 вплоть до получения контакта заданной площади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калиброванного отверстия d.

Механизм прижима осуществляет силовое замыкание между толкателем и корпусом через образец, контактный элемент, ртуть и мембрану.

При этом контактный элемент, частично погружаясь в ртуть, выполняет дополнительную функцию штока, уйень- шающего обуяем чашеобразной полости.

В предлагаемом измерительном ртутном зонде исключается возможность выхода ртути за пределы калиброванного отверстия независимо от изменений усилия прижима образца.

Формула изобретения

Измерительный ртутный зонд, содержащий корпус, предметньй столик с чашеобразной полостью, залитой ртутью и закрытой мембраной, сопряженной со штоком с возможнос гью изменения объема полости, диэлектрический контактный элемент с калибровочным отверстием, выполненный из несмачиваемого ртутью материала, рас- положенньй с возможностью заполнения отверстия ртутью при уменьшении объема полости, токоподвод и механизм зажима контролируемого образца,между контактной частью и предметным

столиком, отличающийся тем, что, с целью снижения погрешности измерений путем исключения выхода ртути за пределы калиброванного отверстия, контактирующий элемент

закреплен в мембране с возможностью частичного погружения в ртуть.

Корректор В.Бутяга

Изобретение может быть использовано для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов и структур на их основе. Цель изобретения - снижение погрешности измерения путем сохранения постоянства контактного пятна. При соприкосновении толкателя 7 с измеряемым образцом 8 втулка 6 посредством мембраны 4 опускается. Ртуть 2 вдавливается в калиброванное отверстие втулки 6 до получения контакта заданной площади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калибровочного отверстия d. Контактный элемент, частично погружаясь в ртуть 2, выполняет функцию штока, уменьшающего объем чаши. Предложенная компоновка исключает возможность выхода ртути 2 за пределы калиброванного отверстия независимо от изменений усилия прижима образца 8, 1 ил. SS 53