Интерферометр Советский патент 1984 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным измерителям линейных и угловых смещений объекта. По основному авт.св. № 879289 известен интерферометр, содержащий пос ледовательно расположенные источник монохроматического излучения и свето делительный блок, оптически свя(занны с ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется на объекте, , и регистрирующий блок. Светоделитель ный блок выполнен в форме параллелепипеда, на одну из меньших граней которого нанесено полупрозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и од ну из больших граней, обращенную к уголковым отражателям, - зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучений, отраженное от другого уголкового оТтажателя, па дает на меньшую зеркальную грань 1 Недостатком известного интерферометра является недостаточно высокая точность из-за существенного влияния низкого уровня контрастности интерференционной картины, обусловленного расходимостью интерферирующих пучков .Цель изобретения - повышение точности за счет увеличения контрастности интерференционной картины путем обеспечения параллельности лучей, выходящих из светоделительного блока Поставленная цель достигается тем, что интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического йэ лучения и светоделительный олок, оптически связанные с ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется -на объекте, и регистрирующий блок а светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на одну из меньших граней которого нанесено пол прозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную к уголковым отражателям, зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучение, отраженное от другого уголкового отражателя падает на меньшую зеркальную грань, снабжен призмой AP-9Q, установлеНной между регистрирующим блоком и параллелепипедом, гипотенузная грань призмы АР-90 совмещена с

или об угловом положении объекта (при установке обеих уголковых отражателей на поворачивающемся объекте) .

Выполнение светоделительного блока в виде параллелепипеда и призмы АР-90 позволило обеспечить требуемую параллельность направляемых к отражателям Гранью параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение призмы параллельно главному сечению параллелепипеда. На чертеже изображена оптическая схема интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, светоделительный блок 2, выполненный в виде параллелепипеда, призму 3 АР-90, уголковые отражатели 4 и 5 и регистрирующий блок 6 в виде фотоэлектронного y Iнoжитeля. Призма 3 АР-90 установлена между регистрируквдим блоком 6 и параллеле пипедом, гипотенузная грань призмы АР-90 совмещена с меньшей гранью 7 параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение призмы 3 параллельно главному сечению параллелепипеда. Интерферометр работает следующим образом. Световой поток от источника 1 монохроматического излучения делится на два пучка светоделительной гранью 7 параллелепипеда. Один из образовавшихся пучков, прошедший грань 7 параллелепипеда в прямом направлении и призму 3, остается параллельным входящему пучку и попадает на уголковый отражатель 4; второй пучок, отраженный гранью 7, направляется к уголковому отражателю 5 второй меньшей гранью 8 параллелепипеда. Оба отражателя 4 и 5 направляют световой поток к отражающей поверхности 9 параллелепипеда, отразившись от которой и пройдя отражатели 4 и 5 в обратном направлении, световые пучки объединяются на светоделительной грани 7 параллелепипеда и направляются на фотоэлектронный умножитель. При Изменении разности хода в интерферометре благодаря двухлучевой интерференции происходит амплитудная модуляция светового потока, падающего на фотоэлектронный умножитель и по изменениям фототока судят о перемещении одного из отражателей 4 или 5 (в случае измерения линейного перемещения)

311069844

световых пучков, не снижая, при этом светоделительного блока исключено достигнутой стабильности оптической влияние расходимостиинтерф(ерирую1цих схемы интерферометра.лучей и, как следствие, достигнуто

В предлагаемом интерферометре 5 Ционной картины, приводящее к повышеблагодаря указанному вьше выдолнению нию точности.повьпиение контрастности интерферен

ИНТЕРФЕРОМЕТР по авт.св. № 879289, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности, он снабжен призмой АР-90, установленной между регистрирующим блоком и параллелепипедом, гипотенузная грань призмы АР-90 совмещена с гранью параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение призмы параллельно главному сечению параллелепипеда. сл С5 со оо 4