Интерферометр Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещени объектов и их деформаций или для определения показателя переломления Известен интерферометр, содержащи источник света, светоделительный бло уголковый отражатель, связанный с объектом, и блок регистрации flj. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения и светоделительный блок, оптически связанные с ним два уголковых отражателя, один из которы укрепляется на объекте, и регистрирующий блок f2 J. Недостатком известных интерферрметров является их высокая чувствительность к вибрациям и, следователь но, низкая точность. Целью изобретения является повышение точности. Цель достигается тем, что в предлагаемом интерферометре светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на одну из меньших гране которого нанесено полупрозрачное покрытие, на другую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную к уголковьвл отражателям, - зеркальное , светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучение, отраженное от другого уголкового отражателя, падает на меньшую зеркальную грань. На чертеже представлена оптичес,кая схема интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения,светоделительный блок 2, выполненный в виде параллелепипеда, у которого на грань 3 нанесено полупрозрачное покрытие, на грань 4 (параллельную грани 3) и на часть грани 5 (обращенной к уголковым отражателям) зеркальное покрытие, уголковые отражатели 6 и 7, один из которых (отражатель 7) связан с объектом 8, и регистрирующий блок 9. Интерферометр работает следующим образцом. Излучение от источника 1 монохроматического излучения полупрозрачной гранью 3 светоделительного блока 2 разделяется на два пучка, один из которых падает на уголковый

отражатель 7, а другой пучок отражается от грани 4 светоделительного блока 2 и падает на уголковый отражатель б, причем оба пучка, выходящи из светоделительного блока 2, параллельны друг другу. После отражения от каждого из отражателей 6 и 7 соответствующий пучок попадает на зеркальный участок грани 5, отражается от нее и через уголковый отражатель б возвращается в светоделительный бло 2, откуда попадает на регистрирующий блок 9, на входе которого образуется интерференционная картина. При перемещении объекта 8 и связанного с ним уголкового отражателя 7 интерференционная картина на регистрирующем блок 9 также смещается.

Таким образом, поскольку в интерферометре оба пучка проходят через светоделительный блок, в интерферометре, обладающем удвоенной чувствительностью, повышается точность. Формула изобретения

Интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник

монохроматического излучения и светоделительный блок, оптически связанные с ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется на объекте, и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда на одну из меньших граней которого нанесено полупрозрачное покрытие, на другую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную к уголковым отражателям, - зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием а излучение, отраженное от другого уголкового отражателя, падает на меньшую зеркальную грань.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США N 3443871, кл. 356-106, 1969.

2. т. Feingeratechnik. 8 1967, s. 360-364.

И

J

/

f