Устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов Советский патент 1984 года по МПК H01C17/00 

Изобретение относится к микро.электронике, в частности может быт использовано как при изготовлении, так и функциональной подгонке пленочных резисторов. По основному авт. св. № 511634 известно устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов содержащее рабочий электрод, выполненный в виде ампулы, заполненной электролитом, -с наконечником, изготовленным из пористого материала с капиллярной структурой ij . Однако эха конструкция не обеспе чивает надежной работы устройства и качественной подгонки сопротивления пленочных резисторов. Это связано с тем, что при работе устройства труднодостижимо равномерное поступление электролита через порис тый наконечник к резистору за счет капиллярных явлений, так как электролит находится в замкнутом объеме Кроме того, во время эксплуатации из-за переворачивания устройства в электролите могут образовать ся воздушные пузыри, разрывающие цепь катод - электролит, что прерывает процесс подгонки. Конструкция устройства не допускает надежного закрепления наконечника на выходном отверстии ампулы, поэтому в процессе подгонки (когда наконечник служи опорой для всего устройства) наконе ник смещается, электролит поступает в избытке, в результате нарушается локальность, а следовательно, точность и качество подгонки. Все это затрудняет эксплуатацию устройства, снижает надежность его работы и не позволяет достигнуть высокого качества подгонки сопротивления пленочных резисторов. Цель изобретения - повышение надежности в работе и качества подгонки. Поставленная цель достигается . тем, что в устройстве для подгонки сопротивления пленочных резисторов ампула выполнена с отверстием, расположенным выше уровня электролита, а катод - с возможностью жесткого взаимодействия с наконечником. На чертеже представлено устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов. Устройство содержит ампулу 1, заполненную электролитом 2, катод 3, наконечник 4 для крепления катода 3, держатель 5 и отверстие 6, соединяющее амплулу 1 с атмосферой. При работе наличие отверстия б, соединяющего ампулу 1 с атмосферой, надежно обеспечивает равномерное поступление электролита 2 в зону подгонки. Использование катода 3 в качестве упора для наконечника 4 обеспечивает надежное крепление последнего в процессе работы. Кроме того, указанное расположение катода 3 устраняет влияние воздушных пузырей на процесс подгонки, снижает рабочее напряжение. Все это значительно повышает надежность работы устройства и качество подгонки. Технико-экономический эффект от предлагаемого изобретения состоит в; повышении надежности в работе и повышении качества изготовления прецизионных резисторов в гибридных интегральных схемах.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ по авт. св. № 511634, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности в работе и качества подгонки, ампула выполнена с отверстием, расположенным выше уровня электролита, а катод - с возможностью жесткого взаимодействия с наконечником.