Устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов Советский патент 1976 года по МПК H01C17/00 

1

Изобретение относится к микроэпектронн |ке и может быть использовано на изготов--neimw -прецизионных резисторов. : Известно устройство для подгонки сопро ;Тивления пленочных резисторов, содержащее ;рабочий электрод с наконечником и электро™1ЛИТ.

I

; Однако оно не универсально и предназна

ч8но для подгонки резисторов только на ос& |нове пленки Та. Конструктивные неудобства , возникающие из необходимости укреплять ;кусочек электролита на теле резистора, пре дохранить его от деформации и подЪбк :ное, создают определенные трудности при работе с устройством. Кроме TorOj сложв ность приготовления твердого электролита приводит к низкой технологичности извести ного устройства.

С целью повышения точности подгонки, рабочий электрод .выполнен в виде ампулы, :оаполненной электролитом, а наконечник зьшолнен из пористого материала с кашт чярной структурой.

На чертеже представлена схема предла .гаемого устройства, которое состоит из вм

.. 1 с жидкнГ/; электролитом 2, в кото«рый погружен такгалоБый катоц 3, ампула снабжена накопечипком 4. выполненным из KaKoroi njrcn ппрчстог-о NioTepnana (например, дерево, фгг:); н помаиюна в изолирующий держатель с, поззоляюипш с удобством пользоваться устройством. Наконечник 4 постоянно пропитан зле стролитом 2 и явля- :ется рабочим opгaнc.: устройства.

. На подгоняемый резистор подаю т полЬев, , жительный потенциал. При касанми тела iрезистора наконечником 4, электролит 2 подвергается электролизу, материал пленки резистора интенсиЕНЭ окисляется н либо :покрывается прочной пленкой окисла (для резисторов на основе веитпльных teтaллoв), .либо локально разру;иается (для резисто ров на основе npoHii;; материалов). И то и другое приводит к изменению величины со противле}п-1й резне гора. Контроль величины ; сопро тивления произЕодится -в процессе подгонки.

Устройство без труда вруч} ую позволяет подгонять резисторы с точностью не хуже