Устройство для очистки поверхности изделий Советский патент 1985 года по МПК H05K3/26 B08B1/04 A46B7/10 

1 j Изобретение относится к средствам для механ1 еской очистки загрязненных поверхностей и может быть использовано в различных отраслях промьшшенности, в частности к полупроводниковом производстве для очистки пластин и заготовок фотошаблонов. Известно устройство для очистки поверхности изделий, содержащее щетку в виде цилиндрического каркаса с закрепленным на его боковой поверхности ворсом, кинематически связанную с приводным механизмом ее вращения. Внутренняя полость каркаса щетки соединена с магистралью сжатого газа. Ворсовое покрытие закреплено на элементе, выполненном из упругого материала П. Недостатком данного устройства является низкое качество очистки . ввиду того, что давление щетки на очищаемую поверхность неодинаково по всей длине щетки, по краям оно остается неизменным, а в средней ее части увеличивается. Это обусловлено тем, что давление щетки увеличено в середине ее длины ввиду эластичности упругого элемента щетки и наличием центробелсных сил. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является уст ройство для очистки поверхности изделий, содержащее соединенную с меха низмом вращения щетку, выполненную в виде цилиндрического каркаса, в кото ром расположены кольцевые держатели ворса и пневмокамера, соеднненная с магистралью подачи сжатого газа 2j . Недостатком известного устройства является сложность конструкции, обус ловленная тем, что пневмокамеры выполнены из набора отдельных камер, а каркас имеет сложную форму с отсеками для их размещения. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства. Цель достигается тем, что в устройстве для очистки поверхности изделий, содержащем соединенную с ме ханизмом вращения щетку, выполненную в виде цилиндрического каркаса, в котором расположены кольцевые держатели ворса и пневмокамера, соединенная с магистралью подачи сжатого газа, каркас щетки выполнен в вцде сильфона, а кольцевые держатели ворса установлены во впадинах наружной поверхности сильфона. 002 На чертеже изображено предлагаемое устройство, разрез. Устройство содержит ванну I, центрифу гу 2 с вакуумным держателем 3 изделия 4 и установленную на основании 5 щетку 6, соединенную с механизмом 7 ее вращения (приводом). Щетка 6 содержит цилиндрический каркас, выполненный в виде сильйюна 8, внутренняя полость которого образует пневмокамеру, соединенную через регулятор 9 давления с магистралью IО подачи сжатого газа. Ворс 11 щетки 6 закреплен на кольцевых держателях 12, вьтолненных из упругого материала и установленных во впадинах наружной поверхности сильфона 8. Устройство работает следующим образом. Изделие 4 закрепляют на держателе 3 и вктшчают привод (не показан) центрифуги 2 и привод 7 щетки 6. Щетка 6 при вращении очищает изделие 4 по всей поверхности. В зону обработки подают моющий раствор, который вместей с продуктами, загрязненный, стекает в ванну I, откуда удаляется после окончания цикла обработки, Давление ворса 11 щетки 6 на очищаемую поверхность регулируется путем изменения давления сжатого газа в полости сильфона 8, подаваемого через регулятор 9 давления из магистрали 10. При увеличении давления в полости сильфона 8 его длина увеличивается и одновременно увеличивается диаметр впадин сильфона 8 и кольцевых держателей 12, на которых закреплен ворс 11. При этом давление ворса на обрабатьшаемое изделие увеличивается. При уменьщении давления в полости сильфона 8 под действием сил упругости, возникающих в стенке сильфона и в материале кольцевых держателей 12, длина сильфона и диаметр его впадин и кольцевых держателей 12 уменьшаются. При этом давление ворса 11 на очищаемую поверхность изделия 4 уменьшается. Из,менение в процессе очистки давления ворса щетки на очищаемую поверхность позволяет добиться высокого качества очистки изделий, имеющих различную степень загрязнения. При этом за счет увеличения давления ворса щетки на очищаемую поверхность время обработки более загрязненных изделий не увеличивается по сравнению с вре31133700

менем, необходимым для очистки менее рукцию щетки путем совмещения функций загрязненных изделий.каркаса и пневмокамеры в одном элеВыполнение каркаса щетки в виде менте без ухудшения качества обрасильфона позволяет упростить ;конст- ботки изделий.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ, содержащее соединенную с механизмом вращения щетку, вьтолненную в виде цилиндрического каркаса, в котором расположены кольцевые держатели ворса и пневмокамера, соединенная с магистралью подачи сжатого газа, отличающееся тем, что, с целью упрощения его конструкции, каркас щетки выполнен в виде сильфона, а кольцевые держатели ворса установлены во впадинах наружной поверхности сильфона. со 00