Цилиндрическая щетка Советский патент 1993 года по МПК A46B7/10 

(Л

С

Использование: очистная техника. Сущность изобретения: цилиндрическая щетка содержит соосно установленные парные держатели с радиально закрепленным между ними ворсом и средство для соединения держателей между собой, выполненное в виде установленного между держателями цилиндра, внешняя поверхность которого имеет кольцевую канавку, а на внутренней поверхности с одной стороны торца выполнена конусообразная кольцевая выемка, ас другой стороны торца выполнен конусообразный кольцевой выступ. Каждый из держателей выполнен в виде шайбы с конусообразным кольцевым выступом на одной торцевой поверхности и конусообразной кольцевой выемкой на другой торцевой поверхности, Держатели установлены так, что конусообразный выступ одной шайбы размещен в выемке цилиндра, а в конусообразной выемке другой шайбы размещен выступ цилиндра. 1 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к очистной технике и предназначено для использования в прецизионном оборудовании электронного машиностроения для отмывки пластин, например полупроводниковых.

Задача, на решение которой направлено заявляемое изобретение, - создание малогабаритной цилиндрической щетки, простой конструкции, долговечной, обеспечивающей высокое качество очистки при работе в агрессивных средах (перекисно-водородно- аммиачных растворах, кислотах и щелочах).

При этом в данном изобретении должно быть обеспечено достижение следующих технических результатов: щетка должна легко собираться и разбираться, на рабочей поверхности щетки расстояние между ворсинками должны быть одинаковыми, ворс

должен быть прочно и надежно закреплен в щетке и выпадать на очищаемую поверхность, все детали щетки должны быть долговечным npw работе в агрессивных средах.

На фиг. 1 представлен общий вид цилиндрической щетки в разрезе: на фиг. 2 - общий вид парных держателей и цилиндра между ними в разрезе; на фиг. 3 - общий вид парных держателей и цилиндра между ними в аксонометрии: на фиг. 4 -цилиндр; на фиг. 5 - держатель; на фиг. 6 - щеточная секция после формирования ворса; на фиг. 7 - общий вид установки гидромеханической очистки пластин в разрезе.

Предлагаемая цилиндрическая щетка содержит (фиг. 1, 2) установленные на оси 1 парные держатели 2 и 3 с радиально закрепленным между ними ворсом 4 и средство

|сх

;Сл JGO

о

СО

для соединения держателей между собой, Средство для соединения держателей между собой выполнено в виде установленного между держателями 2 и 3 цилиндра 5 (фиг. 3), внешняя поверхность которого имеет кольцевую канавку 6, а на внутренней поверхности с одной стороны его торца выполнена кольцевая конусообразная выемка 7, а с другой стороны торца выполнен кольцевой конусообразный выступ 8. При этом каждый из держателей 2 и 3 выполнен в виде шайбы 9 с конусообразным выступом 10 на одной ее торцевой поверхности.

Причем держатели 2 и 3 установлены так, что конусообразный выступ 10 одной шайбы (держатель 3) размещен в выемке 7 цилиндра 5, а в конусообразной выемке 11 другой шайбы (держатель 2) размещен выступ 8 цилиндра 5.

На одном конце оси 1 выполнен неподвижный упор 12, а на другом конце - диск 13 и штифт 14.

Сборку данной щетки осуществляют следующим образом.

Перед сборкой щетки формируют ворс на цилиндре 5, в канавку которого предварительно устанавливают два технологических диска 15. При этом пазы дисков 15 вставляют в канавку цилиндра под углом 180°. Намотку (формирование) ворса производят механизировано на станке (не показано).

Затем на ось 1 со стороны диска 13 (фиг. 1) по всей длине оси устанавливают детали в следующем порядке: держатель 2, щеточная секция (цилиндр 5 с ворсом 4 и технологическими дисками 15). После сборки держателей и щеточных секций по всей длине оси устанавливают диск 13, собранный пакет сжимают осевым усилием, сверлят отверстие в деталях 13 и I и устанавливают штифт 14. После установки штифта его концы оплавляют как показано на фиг. 1.1

Работает цилиндрическая щетка следующим образом.

Щетку помещают в установку 16 гидромеханической очистки пластин (фиг. 7). Для этого ось 1 щетки устанавливают в зажимах 17, соединенных с приводом вращения (не показан). На пластину 18 подают моющий раствор из магистрали 19. Щетка вращается вокруг своей оси и осуществляет очистку поверхности пластины 18.

Преимущества данной конструкции щетки следующие.

Очевидна простота предлагаемой конструкции щетки, обеспечиваемая за счет того, что средство соединения держателей между собой выполнено а виде одной детали цилиндра и установлено между держателями предлагаемой формы.

Простота конструкции деталей данной щетки и их взаимное соединение по типу

пирамиды позволяет создавать малогабаритные щетки.

При этом не наблюдается ухудшения

. или исчезновения функциональных свойств

этих деталей. Напротив, расширяется об0 лэсть применения такой конструкции щетки, а именно, такая щетка используется в прецизионном оборудовании очистки и отмывки пластин с использованием химически активных жидкостей (электронная

5 промышленность). За счет предотвращения разрушения в перекисноводородно-амми- ачных средах значительно повышается срок службы предлагаемой щетки.

Кроме того, благодаря тому, что щетка

0 выполнена из неметалла, исключается появление излишних химически активных загрязнений в области обработки пластин. Таким образом, основными достоинствами данной конструкции щетки являются надеж5 ное крепление ворса в конусных соединениях, держателей и соединителей, компоновка узлов крепления ворса непосредственно у поверхности оси, которая определяет уменьшение размерл наружного диаметра

0 щетки, совмещение, функций соединительных узло.в, упругих .- лементов и держателей в двух деталях - их йбе и диске, применение химически стойкю, материалов в деталях щетки позволяет fi; успешно применять для

5 очистки полупро одниковых пластин в пе- рекисноводород о-аммиачных растворах.

За счет тоге, что предлагаемая конструкция щетки предусматривает выполнение одинаковыми р;, змеры ширины цилиндра 5,

0 а также ширит держателей, а также за счет того, что эти д. эли размещены так, что не содержат разм щенных между ними дополнительных к ;нструктивных элементов, обеспечиваете: i не только равномерное рас5 положение во;i:a, ной повышена предельно возможная шитность расположения. Это обеспечивает v шномерность обработки поверхности пла( ин, что значительно увеличивает качестве 1чистки,

0 Формуле изобрете ни я

5 между собой, .отличающаяся тем, что средство соединен i держателей выполнено в виде ycтaнocлe i ого между держателями цилиндра, еж чняя поверхность которого имеет коль.эвую канавку, а на внутренней поверхнои i с одной стороны

торца выполнена конусообразная кольцевая выемка, а с другой стороны торца - конусообразный кольцевой выступ, при этом каждый из держателей выполнен в виде шайбы с конусообразным кольцевым выступом на одной торцевой поверхности и конусообразной кольцевой выемкой на другой торцевой поверхности, причем держате153

ли установлены так, что конусообразный выступ одной шайбы размещен в выемке цилиндра, а в конусообразной зыемке другой шайбы размещен выступ цилиндра.

4

П 13

Фиг.1

$

Фиг.1

со

n

CD OO

tv-э

ФигЛ

Фиг. 5

ГП

л

со

со

#

,f//////S/.

о

I

to