Способ контроля герметичности полых изделий Советский патент 1985 года по МПК G01M3/40 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к контролю герметичности стеклянных оболочек со впаянным электродом, и может быть использовано при производстве кинескопов, радиоламп, преимущественно больших размеров, осциллографических трубок и других электровакуумных приборов. Известен способ контроля герметич ности полых ияделий, заключающийся в том, что помещают изделие в вакуум НУю камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере электрический разряд и по свечению -пробного газа в зоне разряда судят о герметич ности L1 J. Недостатками данного способа явля ются его сложность и низкая производительность, обусловленные неоиходимбстью помещения изделия в ва суумную камеру и заполнения его пробным 1азом, что затрудняет использование способа в поточном производстве Наиболее близким .к изобретению по технической сущности и достигаемо .г-гу результату является способ контро ля герметичности полых изделий, заклычаюищйся в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности. Ва куум создают в камере, где размеще.но изделие, а полость изделия заполндют пробным газом. Поток электронов создают с помощью электронолучевой пушик, установленной в камере, и сканируют им по поверхности изделия путем перемещения последнего 23. Недостатками известного способа таюке являются его сложность и низка производительность, обусловленная не обходимостью использования сложного электроннолучевого оборудования, дли тельного сканирования поверхности из делия потоком электронов, а также заполнения изделия пробным газом. Кроме того, способ не применим для контроля стеклянных оболочек электро вакуумных приборов, так как они легко разрушаются при избыточном давлении внутри оболочки, а также для регистрации мйкротечей, Цель изобретения - упрощение и повышение производительности контроля стеклянных оболочек со впаянным электродом. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу контроля герметичности полых изделий, заключающемуя в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности, вакуум создают в полости оболочки, а поток электронов создают с помощью автоэмиссионного катода в форме шарового сегмента, который вводят в полость оболочки чтобы сферическая поверхность сегмента бьта обращена к контролируемой поверхности, и прикладывают раз-: ность потенциалов к автоэмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду. На чертеже изображена схема, реализующая предлагаемый способ. Контролируемая стеклянная оболочка 1 со сварным швом 2 и впаянным электродом 3 установлена в посадочном гнезде 4 откачного поста (не показан). В гнезде 4 закреплен автоэмиссионный катод 5 в форме шарового сегмента на стойке 6. Впаянньм электрод 3 и катод 5 подключены к источнику 7 постоянного напряжения. Гнездо 4 и стойка 6 выполнены из элейтропроводного материала, а уплотняющий край гнезда 4, контактирующий с оболочкой 1, выполнен из вакуумной резины. Способ контроля герметичности полых изделий реализуется следующим . образом. Стеклянную оболочку 1 устанавливают на посадочном гнезде 4 и вакуумируют полость оболочки 1 до давления менее 0,1 Па. С помощью источника 7 постоянного напряжения прикладывают разность потенциалов к катоду 5 и впаянному электроду 3. В результате автоэлектронной эмиссии с поверхности катода 5 контролируемая поверхность оболочки 1 подвергается . воздействию электронного потока, при этом стекло оболочки 1 люминес- цирует слабым желто-зеленым светом. При наличии микрощели по шву 2 или вокруг электрода 3 в оболочку втекает струйка воздуха из окружающей внешнюю поверхность контролируемой оболочки атмосферы, который под воздействием электронного потока 3 ярко люминесцируют розовым светом вблизи микрощели. Место натекания определяют по месту свечения. Автоэмиссионный катод 5 вводят в оболочку таким образом, что сфери ческая поверхность шарового сегмента обращена к наиболее вероятным местам негерметичности контролируемой поверхности - сварному шву 2 и электроду 3, при этом радиус сферы, высота сегмента и вьюота стойки 6 выбираются такими, чтобы линия от л бой точки шва 2 и от любой точки ко такта вывода электрода 3 со стеклом оболочки 1 До ближайшей точки сфери ческой поверхности катода 5 была пе пендикуларна касательной в этой точке поверхности, так как электроны вылетают с поверхности катода 5 перпендикулярно касательной к ней 564 в дайной точке, н при таком условии имеет место оптимальное воздействие потока электронов на поверхность оболочки, обеспечивается максимальная чувствительность. В качестве пробного газа служит атмосферный воздух, чт упрощает процесс контроля. Предлагаемый способ легко реализуется в условиях производства электровакуумных приборов с использованием имеющегося оборудования при незначительной его доработке, например, на конвейерной машине алюминирования, при этом простота и высокая производительность способа позволяет использовать его в условиях поточного производства без снижения производительности производственного процесса.

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЁТИЧНОСI ТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ, заключающийся в том,. что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контроли- / руемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности, отличающийся тем, что, с целью зшрощения и повышения производительности контроля стекляннь1х оболочек со впаянным электродом, вакуум создают в полости оболочки, а поток электронов создают с помощью автоэмиссионного катода в форме шарового сегмента, который вводят в полость оболочки так, чтобы сферическая поверхность сегмента бьша обращена к контролируемой поверхности, и прикладывают разность потенциалов к автозмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду. (Л с ий ел ьэ ел 65