Устройство для регулирования температуры Советский патент 1985 года по МПК G05D23/19 

СП

00 со

со

vl Изобретение относится к автоматик и может исподьэоваться в автоматических электронагревательных установках для проведения технологических процессов в микроэлектронике. Цель изобретения - повьшение точности устройства. На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства. Устройство содержит нагреваемый объект 1, нагреватель 2, последовательно соединенные датчик 3 температуры нагревателя и первый преобр зователь 4, последовательно соединенные датчик 5 температуры нагревае мого объекта 1, второй преобразователь 6, коммутатор 7, аналого-цифровой преобразователь 8, демультиплексор 9, первый блек 10 сравнения, ре гулятор 11, сумматор 12, второй блок 13 сравнения и блок I4 управления, выход которого подключен к нагревателю 2, при этом выход сумматора 12 подключен через блок 15 памяти к своему второму входу, задатчик 16 температуры подключен к второму входу первого блока 10 сравнения, второй выход демультиплексора 9 подключен к второму входу блока 13 сравнения, а выход преобразователя 4 подключен к второму входу коммутатора 7. Устройство работает следующим образом. С выхода датчик 3 температуры нагревателя 2 снимается напряжение постоянного тока UT«+ и где - напряжение, пропорциональ ное температуре Т„ нагревателя 2; и --напряжение, пропорциональ ное температуре холодных концов датчика 3 температуры нагревателя. В качестве датчиков, температуры 3 и 5 в рассматриваемом случае используются термопарные датчики температу ры. Напряжение подается на вход первого преобразователя 4, который осуществляет компенсацию напряжения UTX... Коммутатор 7 осуществляет поочередное подключение к входу аналогоцифрового преобразователя 8 выходных сигналов первого и второго преобра- ; зователей 4 и 6. Аналого-цифровой преобразователь 8 в одном из тактов п своей работы осуществляет преобразование Б код N выходного напряжения измерительного преобразователя 4 . Код ,, пройдя через демультиплексор 9, подается на вход блока 13 сравнения, на второй вход которого с выхода сумматора 12 подается код Щнзп пропорциональный заданному значению температуры Т„, нагревателя 2. Блок 13 сравнения вырабатывает код лМ , пропорциональный рассогласованию заданной и действительной температур нагревателя 2. Блок 14 управления вырабатывает в соответствии с принятым законом регулирования управляющее воздействие К. . ... т„ , т де Кр, Т,,, Т - постоянные коэффициенты;п - номер такта; Т - время дискретизации. Воздействие Р„ пропорционально изменяет температуру Т, нагревателя 2 так, чтобы выполнялось условие в.другом такте работы аналогоцифровой преобразователь 8 осуществляет преобразование в код N выходного напряжения преобразователя 6, которое пропорционально температуре нагреваемого объекта 1. Код N подается на вход блока 10 сравнения, на другой вход которого подается код NTHOJC выхода задатчика 16 температуры. Этот код, пропорционален заданному значению тейпературы Тц(,з нагреваемого объекта 1, Блок 10 сравнения вырабатывает код iN пропорциональный рассогласованию заданной и действительной температур нагреваемого объекта 1. Регулятор 11 принимает код и определяет в соответствии с принятым законом (например ,пропорционально-интегрально-дифферёнциальным ) изменение ,,. ,., - постоянные коэффигде к циенты;

311589974

n - номер такта;вследствие внешних вознущений; при, Т - время дискретиза-водит к соответствующему изменению

цин .температуры нагревателя 2, и, как

Это изменение суммируется в ,следствие, температуры объекта 1.

маторе 12 с предвдущим значением N,H5. SВ результате осуществляется полная

поступающим с выхода блока 15 памяти.компенсация изменения температуры

Результат суммирования подается ианагреваемого объекта 1, вызванного

вход блока 13 сравнения в качествевнешним возмущением.

ТНЭп

Таким образом, осуществляется кор-ю Экономический эффект изобретения

ректировка заданного значения тем-достигается за счет более точного

пературы на нагреватель 2 с тем,регулирования температуры, что причтобы выполнялось условие Т„о водит к повышению воспроизводимости

Лобое отключение температуры на-и процента выхода годных изделий микгреваемого объекта 1 (например, (5 .роэлектроники.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ, содержащее последовательно соединенные блок управления и нагреватель, датчик температуры объекта и датчик температуры нагревателя, два преобразователя, первый и второй блоки сравнения, задатчик температуры, выходы датчиков подключены к входам соответствющих преобразователей, задатчик температуры КЕСОШЗЯ.) IS --- ::х:-- ... ia ..-, , ... . М V: i ; j;-:;, t.-. подключен к одному входу первого блока сравнения, о тличающее с я тем, что, с целью повышенияточности, в него введены последовательно соединенные коммутатор, аналого-цифровой преобразователь и демультиплексор, регулятор, сумматор, блок памяти, причем выход первого блока сравнения через регулятор подключен к одному входу сумматора, выход которого связан с одним из входов второго блока сравнения и через блок памяти с другим входом сумматора, входы коммутатора связаны с выходами соответствующих преобразователей, первый выход демультиплексора подключен к другому входу второго блока (Л сравнения, а второй выход - к другос: му входу первого блока сравнения, а выход второго блока сравнения связан с входом блока управления.