Растровый оже-микроанализатор Советский патент 1985 года по МПК H01J37/256 

1

со о со

Изобретение относится к электронно-зондовым приборам, в которых вторичные элементы, в том числе и ожеэлектроны, возникающие в результате бомбардировки первичным электронным пучком поверхности исследуемого образца, используются для получения количественной и качественной информации о химическом составе поверхности образца как в режиме сканирования, так и при точечном анализе.

Цель изобретения - увеличениепредельного разрежения за счет увеличения допустимой температурыпрогрева камеры образцов.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Металлическая мембрана 1 приварена к наружной стенке электромагнитной линзы 2 формирующей системы и к внутреннему стакану 3 верхней крышки 4 камеры 5 образцов. Через кронштейны 6 проходят охлаждаемые полые болты 7 со штуцерами на концах. Болты проходят внутри опорных теплоизолирующих элементов, например керамических втулок 8, и ввинчены в выступы крышки 4, обеспечивая тем самым фиксацию колонны 9 в пространстве и передачу ее веса помимо мембравы через втулки 8 на камеру образцов В камере образцов расположен аналиратор 10 и объектодержатель 11. Патрубки 12 служат для соединения с вакуумной системой5 а штуцеры 13 для соединения с системой охлаждения

Устройство работает следующим образом.

В колонне 9 формируется электронный пучок, возбуждающий вторичные электроны с поверхности образца, которые анализируются по энергиям аналзатором 10. При прогреве камеры 5 образцов происходит передача тепла

электромагнитной колонне 9, что может отрицательно влиять на электронно-оптические параметры формирующей системы. Тонкая кольцевая вакуумно-плотная металлическая мембрана 1, разделяющая полости колонны и камеры образцов, сводит к минимуму передачу i тепла от камеры к колонне. Фиксация положения колонны 9 и передача ее веса на камеру 5 образцов обеспечивается через кронштейны 6, жестко связанные с колонной, и через расположенные на некотором расстоянии от колонны опорНые теплоизолирукяцие элементы втулки 8, черезкоторые проходят полые охлаждаемые болты 7, ввинчиваемые в крьш1ку камеры 5 образцов. Материалы теплоизолирующих втулок 8 выбираются та, чтобы минимизировать передачу тепла к колонне 9 и создать необходимый градиент температуры между ней и камерой образцов. Этому же способствует использование охлаждающей воды в период прогрева для охлаждения электромагнитных линз 2 и полых болтов 7.

Наличие мембраны уменьшает переток тепла к колонне при прогреве камеры образцов, а дополнительное охлаждение колонны и полых стягиваюпщх болтов проточной водой способствует увеличению градиента температуры между камерой и колонной. Такая конструктивная схема позволяет прогревать камеру до 250-350 С при сохранении температуры колонны не более 60-80 с. Повьш1ение температуры прогрева камеры увеличивает более, чем на порядок коэффициент диффузии газов с внутренних вакуумных поверхностей, уменьшая время обезгаживания и, следовательно, время откачки прибора, а также давление в нем остаточных газов.

1. РАСТРОВЫЙ ОЖЕ-МИКРОАНАЛИЗАТОР, содержащий соединенные между собой по корпусу колонну с электромагнитной формирующей системой и камеру образцов, отличающийся тем, что, с целью увеличения предельного разрежения за счет увеличения допустимой температуры прогрева камеры образцов, внутренние полости колонны и камеры образцов разделены металлической мембраной. 2. Оже-микроанализаТор по п. 1, отличающийся тем, что соединение колонны и камеры выполнено по их периферии через теплоизолирующие элементы.