Камера для электронно-микроскопических и электронно-графических исследований объектов в газовой среде Советский патент 1959 года по МПК H01J37/26 

Известные камеры для электронно-графических и электронно-микроскопических исследований в газовой среде имеют ряд недостатков, связанных с невозможностью варьирования давления в камере без нарушения нормального режима работы электронной пушки, а также невозмол ностью изменения состава газов в камере в ходе эксперимента, что бывает необходимо при кинетических исследованиях.

Описываемая конструкция камеры лишена этих недостатков. Это достигается тем, что окна камеры для входа и выхода электронного пучка выполнены из бесструктурной угольно-коллодиевой пленки, которая в отличие от известных бесструктурных пленок не имеет пористости, что сообщает ей хорошие вакуум-изолируюшие качества. Приготовление такой пленки производится на поверхности жидкости, в которой коллодий не набухает, например ртути- Для придания пленке термоустойчивости она покрывается тонким (около 10 А°) угольным слоем. Использование такой пленки, прозрачно герметизирующей камеру, в сочетании с простой коммутационной системой, позволяющей поочередно соединять камеру либо с вакуумным насосом, либо с баллонами, содержащими тот или иной газ, делает систему полностью изолированной от вакуумной системы электронной пушки.

Новым в предлагаемой камере является использование пленок, приготовленных описанным выше способом, улучшающих качества электронно-микроскопических камер.

Общая |Схема описываемой приставки к электронному микроскопу показана на чертеже.

Пучок электронов, поперечное сечение которого ограничивается диафрагмами 1 и 2, проходит сквозь камеру А (изображена на чертеже

AS 118563 г

отд&чьно). Канал 3 через кран 4 соединяет камеру либо с вакуумным насосом, либо с баллонами 5. Камера А состоит из двух диафрагм 6, зазор между которыми устанавливается с помощью сменного разрезного кольца 7. Отверстия в диафрагмах заклеены пленкой 8. Соосность диафрагм обеспечивается тремя юстировочнымя винтами 9, герметичность - резиновыми прокладками 10 и прижимны1М кольцом //.

Предмет изобретения

Камера для электронно-микроскопических и электронно-графических исследований объектов в газовой среде с отверстиями для прохода электронного пучка, закрытыми тонкими пленками, отличающаяс я тем, что, с целью увеличения герметичности, прочности и долговечности камеры, применяются коллодиевые пленки, приготовленные на поверхности жидкости, в которой коллодий не набухает, например ртути, и покрытые тонким (10-15А°) угольным слоем.

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Редактор Н. С. КутафинаГр. 97

Информационно-издательский отдел.Поди, к печ. 10.III-59 г.

Объем 0,34 п. л.Зак. 14S2Тираж 805Цена 50 коп.

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.