Вакуумный переключатель Советский патент 1953 года по МПК H01J7/22 

В настоящее время для вакуумных переключений в вакуумных установках различного типа (электронные микроскопы, осциллографы и другие) пользуются кранами с коническими шлифами, или распределительными устройствами клапанного типа.

Однако оба 5ти типа вакуумных переключателей имеют существенные недостатки, а именно; краны с коническими шлифами, особенно многоходовые, ненадежны в работе, требуют частых перетирок и быстро выходят из строя; распределительные устройства клапанного типа, хотя И; более надежные в работе, как правило, имеют большое количество-вакуумных спаев, сложньь в изготовлении, а сборка и разборка их требуют высокой- квалификации.

Для устранения указанных недостаткоз в предлагаемом вакуумном переключателе, выполняемом: с корпусом, имеющим несколько вакуумноразделенных камер, уплотненных резиновыми манжетами, для осуществления сообщения между камерами применен возвратно-поступательно движущийся сердечник, снабженный продольными и радиальными отверстиями. Сердечник применен с целью упростить изготовление и повысить надежность и удобство эксплуатации вакуумного переключателя.

На чертеже представлено устройство описываемого переключателя.

Переключатель имеет корпус J и сердечник 2. Корпус, уплотненный крышками 3 н 4, разделен на камеры 5, 6, 7 и 8 с выходными патрубками, служащими для соединения вакуумного переключателя соответственно с форвакуумным; насосом и форвакуумным баллоном, откачиваемым прибором и диффузионным насосом. Каждая из этих камер, вакуумно. уплотнена манжетйдми 9, которые одновременно служат для уплотнения сердечника-2.

Последний состоит из соединенных между собой: вала W с каналом -// на-одном конце, ступенчатого вала 12 с двумя продольными каналами 3 и 4 различных диаметров и тремя рядами радиальных отверстий 75, J6, 17 и ступенчатого вала 18.