Способ изготовления меры толщины покрытия Советский патент 1985 года по МПК G01B7/06 

1

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам поверки толщиномеров покрытий.

Цель изобретения - упрощение технологии изготовления покрытий переменной толщины.

На фиг.1 представлена мера толщины покрытия, вид спереди; на фиг.2 - мера с цшшндрической базовой поверхностью, подложки, вид сверху; на фиг.З - мера со сферической базовой поверхностью подложки, вид сверху.

Изготовленная предлагаемьв способом мера толщины покрытия содерMiT подлояску 1 и покрытие 2. Базова поверхность подложки 1 под покрытие 2 вьшолнена цили1адрической (фиг.2) или сферической (фиг.З) с радиусом кривизны R . В середине части подложки 1 может быть вьшолнен плоский участок 3 для настройки на ноль толщиномеров покрытия, тогда покрытие 2 нанесено на базовУк поверхность подложки 1 так, что верхняя поверхность покрытия 2 совпадает с поверхностью участка 3. Прочие размеры меры определяются, исходя из размеров и характеристик датчиков поверяемых толщиномеров.

Способ изготовления меры толщины покрытия осуществляется следующим образом.

Изготавливают из нужного материала подложку. Базовую поверхность подлоркки выполняют тдапиндрической или сферической и осуществляют до.водку указанной поверхности - об-. рабатывают по следзаощим требованиям: шероховатость по парамет9372

ру R4 0,16 мкм и допускаемая нецилиндричность (несферичность) 0,10,2 мкм. При выполнении этих требований можно измерять с высокой точностью радиус кривизны обработанной поверхности, например, с помощью интерференционных способов измерения длины.

После операций доводки базовой

поверхности подложки на всю эту поверхность без изоляции некоторых ее частей наносят гальваническим или каким-либо другим способом покрытие 2. После нанесения покрытия 2

рабочую поверхность меры (покрытие и цилиндрической формы поверхность подложки или сферической формы поверхность подложки) доводят плоскопараллельной противолежащей поверхности подложки меры. После, данных операций мера толщины покрытия готова к применению, так как одновременно с доводкой она также аттестуется по толщине с использованием

формулы

,

де h; - толщина покрытия в точке

на расстоянии S от оси симметрии меры;

R 0-радиус кривизны верхней поверхности подложки;

-расстояние ребра покрытия от оси симметрии меры;

е-расстояние от оси симметрии меры до точки, где определяется толщина покрытия .

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ №РЫ ТОШЩНЫ ПОКРЫТИЯ, заключающийся -в доводке базовой поверхности подложки, нанесении покрытия и аттестации толщины покрытия, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления покрытий переменной толщшш, базовую поверхность подножки выполняют цилиндрической или сферической, покрытие наносят на всю поверхность и затем обрабатывают базовую и противолежащую ей поверхности до обеспечения их плоскопараллельности.